专利名称：磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及信息记录磁盘驱动单元，尤指涉及磁头和微驱动器组合及其制造方 法、磁头折片组合(HEAD GIMBAL ASSEMBLY, HGA)以及磁盘驱动单元。
背景技术：
磁盘驱动单元是一种利用磁性介质存储信息的信息存储装置，并有一个可移动的 读/写头置于所述磁性介质之上，以选择性地从磁性介质中读取或向磁性介质写入数据。消费者总是希望此种磁盘驱动设备的存储容量不断增加，同时希望其读写速度更 快更精确。因此，磁盘驱动设备的生产商一直致力于开发具有较高存储容量的磁盘系统，例 如通过减少磁盘上的磁轨宽度和/或磁轨间距的方式来增加磁轨的密度，进而间接增加磁 盘的存储容量。然而，随着磁轨密度的增加，对读/写头的位置控制精度也必须相应提高， 以便在高密度的磁盘中实现更快更精确的读写操作。然而，随着磁轨密度的增加，用已知技 术快速而准确地将读/写头定位于磁盘上的特定的磁轨变得更加困难。因此，磁盘驱动设 备生产商不断寻求提高对读/写头位置控制的方式，以便利用不断增加的磁轨密度所带来 的益处。一种被磁盘驱动设备生产商有效利用的方法是采用磁头和微驱动器组合来提高 读/写头在高密度磁盘上位置控制的精度。图1说明了具有磁头和微驱动器组合的传统 磁盘驱动单元。所述磁盘驱动单元一般包括驱动臂104、音圈马达(VOICE COIL MOTOR, VCM) 108、连接到并安装在所述驱动臂104上的磁头折片组合105、悬置在所述磁头折片组 合105上的磁盘101以及旋转所述磁盘101的主轴马达102。所述磁头折片组合105包括 磁头和微驱动器组合103和用于支撑所述磁头和微驱动器组合103的悬臂件110 (参见图 2).参考图2a，所述磁头和微驱动器组合103包括具有前边和与所述前边相对的尾边 的基底11、形成在所述基底11的尾边的压电(PZT，PIEZOELECTRIC)元件15以及形成在所 述压电元件15上的读/写头12。在如上所述的磁头和微驱动器组合103的结构中，压电元 件15夹在基底11和读/写头12之间。具体地，压电元件15包括形成在基底11尾边的第 一电极层15a、形成在读/写头12上的第二电极层15b以及形成在所述第一电极层15a和 所述第二电极层15b之间的压电层15c。参考图2b，当电压施加到所述第一电极层15a和所述第二电极层15b时，所述压电 元件15被驱动从而产生形变，进而相应调整了读/写头12相对磁盘101的位置。然而，由 于压电元件15位于读/写头12的附近，压电元件15的驱动会产生电荷并形成电压，因此 在例如静电放电(ESD，electrical static discharge)问题产生的情况下使读/写头12 损坏。因此，有必要提供一种改进的磁头和微驱动器组合及其制造方法、磁头折片组合 和磁盘驱动单元来解决上述问题。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一种磁头和微驱动器组合，所述磁头和微驱动器组合 能避免读/写头损坏并取得较好的工作性能。本发明的另一目的在于提供一种具有磁头和微驱动器组合的磁头折片组合，所述 磁头折片组合能避免读/写头损坏并能取得较好的工作性能。本发明的又一目的在于提供一种磁盘驱动单元，所述磁盘驱动单元能避免读/写 头损坏并能取得较好的工作性能。本发明的再一个目的在于提供一种制造磁头和微驱动器组合的方法，所述方法制 造的磁头和微驱动器组合能避免读/写头损坏并能取得较好的工作性能。为了实现上述目的，本发明提供了一种磁头和微驱动器组合，所述磁头和微驱动 器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写 头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离 层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，当所述 压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头 的基底绕所述基底的中心旋转。较佳地，所述基底与所述读/写头以及所述压电微驱动器一体成型。在本发明中，所述两个间隔的隔离层分别连接所述压电微驱动器的两端和所述基 底的前边。较佳地，所述压电微驱动器包括形成于所述基底的前边的第一电极层、形成于所 述第一电极层上的压电层以及分别形成于所述压电层上并相互间隔的两个第二电极层。一种磁头折片组合包括磁头和微驱动器组合；以及用于支撑所述磁头和微驱动器 组合的悬臂件，其中所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的 基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所 述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与 所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底 产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。较佳地，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件具有用于支撑所述磁头和微驱动器 组合的舌片区域，所述舌片区域具有外部舌片、形成于所述外部舌片内的内部舌片以及分 别连接所述内部舌片的对称位置和所述外部舌片的一对曲臂。同样较佳地，所述磁头和微驱动器组合通过隔离层机械连接于所述内部舌片。同样较佳地，所述压电微驱动器上形成有两个触点，所述外部舌片上形成有与所 述压电微驱动器的两个触点对应的两个压电连接触点，所述压电微驱动器的两个触点分别 与所述外部舌片的两个压电连接触点连接。在本发明中，所述挠性件包括位于所述外部舌片相对两侧的一对外触发板，所述 一对外触发板分别向所述外部舌片延伸并与所述外部舌片连接。一种磁盘驱动单元包括磁头折片组合；和所述磁头折片组合相连的驱动臂；磁 盘；用于旋转所述磁盘的主轴马达。其中，所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所 述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其中所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接 以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，当所述压电微驱动器被驱动从而 通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心 旋转。一种制造磁头和微驱动器组合的方法包括如下步骤提供一晶圆，所述晶圆具有 尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写头形成于所述晶圆的尾边；在所述晶圆的前边 的每两条间隔线上层压一层隔离层；在所述隔离层上形成压电微驱动器；把所述晶圆切割 成多个长形条，每个长形条上具有成排的读/写头；对所述每个长形条进行图案以形成每 个读/写头的空气承载面；以及把所述每个长形条切割成单独的磁头和微驱动器组合。在本发明中，所述在隔离层上形成压电微驱动器的步骤包括在所述隔离层上形 成第一电极层；在所述第一电极层上形成压电层；以及在所述压电层上形成两个第二电极 层，所述两个第二电极层相互间隔。与现有技术相比，由于本发明的压电微驱动器形成在基底的前边，同时读/写头 形成在所述基底的尾边，因此，当压电微驱动器被驱动时，读/写头上不会产生电压，静电 放电问题不会发生，这相应地保护了读/写头免于受损。通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明 的实施例。
图1为传统磁盘驱动单元的立体图。图2a为如图1所示磁盘驱动单元中的磁头和微驱动器组合的立体图。图2b为图2a所示磁头和微驱动器组合与磁盘一起工作时的侧视图。图3为本发明具有磁头和微驱动器组合的磁头折片组合的俯视图。图4a为图3所示磁头折片组合的局部立体图。图4b为图3所示磁头折片组合的局部分解图。图4c为图3所示磁头折片组合的局部俯视图。图5a为图3所示磁头和微驱动器组合的立体图。图5b为图5a所示磁头和微驱动器组合的俯视图。图6a展示了图5a所示磁头和微驱动器组合中的PZT微驱动器的极化方向和输入 电压的一种方式。图6b展示了图5a所示磁头和微驱动器组合中的PZT微驱动器的极化方向和输入 电压的另一种方式。图7为图5a所示磁头和微驱动器组合与磁盘一起工作时的侧视图。图8a展示了图5a所示磁头和微驱动器组合的位移仿真数据。图8b展示了图3所示磁头折片组合的共振性能。图9为本发明的制造磁头和微驱动器组合的方法的流程图。图lOa-lOi具体展示了如何利用图9所示方法制造磁头和微驱动器组合。图11为本发明磁盘驱动单元的立体图。
具体实施例方式下面将参考附图阐述本发明几个不同的最佳实施例，其中不同图中相同的标号代 表相同的部件。如上所述，本发明涉及的是一种磁头和微驱动器组合。所述磁头和微驱动器 组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头； 以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其中，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔 离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器和所述基底的前边之间形成空隙，当所 述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写 头的基底绕所述基底的中心旋转。所述磁头和微驱动器组合的整体结构避免了压电微驱动 器被驱动时在读/写头上产生电压并相应地保护读/写头免于受损。图3展示了本发明的磁头折片组合1105的一个实施例。参考图3，所述磁头折片 组合1105主要包括磁头和微驱动器组合400以及承载或者支撑所述磁头和微驱动器组合 400的悬臂件。所述悬臂件包括装配在一起的基板401、枢接件402、挠性件403以及负载杆 404。所述负载杆404通过所述枢接件402连接到所述基板401上，所述挠性件403穿过所 述枢接件402到达所述负载杆404。所述负载杆404的一端连接连接到铰接于驱动臂(图 未示)的所述基板401上，所述负载杆404的另一端支撑所述挠性件403的舌片区域。所 述挠性件403的舌片区域为所述磁头和微驱动器组合400提供挠性。为了平稳均勻地把负 载力从所述负载杆404转移到所述磁头和微驱动器组合400上，所述负载杆404提供一凸 点520 (如图7所示)来支撑所述舌片区域之磁头和微驱动器组合400安装的位置。所述 挠性件403同时在其顶端形成一悬浮区域455以便于所述磁头和微驱动器组合400上的读 /写头501的电连接。参考图4a_4c，所述舌片区域支撑所述磁头和微驱动器组合400并具有外部舌片 607、形成于所述外部舌片607内的内部舌片608以及分别连接所述内部舌片608的对称位 置和所述外部舌片607的一对曲臂409、610。所述曲臂409，610与所述外部舌片607以及 所述内部舌片608 —起形成了一对空隙411、412，其中所述空隙411形成在外部舌片607和 曲臂409之间以及曲臂610和内部舌片608之间，所述空隙412形成在外部舌片607和曲 臂610之间以及曲臂409和内部舌片608之间。基于如上所述结构，挠性舌片区域形成了 一种弹性结构用于支撑所述磁头和微驱动器组合400，因此不会有作用力传递到所述挠性 件403上，从而使所述磁头折片组合具有较好的动态性能、较低的折片刚度和较好的伺服 带宽。另外，在所述外部舌片607的相对两侧形成有一对外触发板611a、611b，所述外触 发板611a、611b分别向外部舌片607延伸并在两弱点612a、612b处与外部舌片607连接。 所述外触发板611a、611b的引入使挠性件403的舌片区域具有足够的刚度来支撑所述磁头 和微驱动器组合400。详细参照图4b，所述外部舌片607上形成有两个压电连接触点607a、607b，所述 悬浮区域455上形成有多个读/写头连接触点416。所述挠性件403上置有一组内部线缆 411a、411b和一组外部线缆410a、410b。所述内部线缆411a、411b分别先沿着所述外触发 板611a、611b延伸到所述弱点612a、612b，再沿着外部舌片607延伸到所述压电连接触点 607a、607b上，所述外部线缆410a、410b沿着悬浮区域455延伸到读/写头连接触点416。参考图5a_5b，所述磁头和微驱动器组合400包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底425、形成于所述基底425的尾边的读/写头501以及形成于所述基底425的前 边的压电微驱动器420。由于压电微驱动器420形成在基底425的前边，同时读/写头501 形成在基底425的尾边，因此，当压电微驱动器420被驱动时，读/写头501上不会产生电 压，静电放电问题不会发生，这相应地保护了读/写头501免于受损。较佳地，所述基底425与所述读/写头501以及所述压电微驱动器420 —体成型。 在本实施例中，压电微驱动器420通过两个间隔的隔离层516、517，例如粘结剂层或者聚合 物层与所述基底425的前边连接，由此相应地在所述压电微驱动器420与所述基底425的 前边之间形成空隙514。这种磁头和微驱动器组合400利用空隙514做辅助的设计，使所述 压电微驱动器420被驱动从而通过所述空隙514对所述基底425产生一旋转扭矩，进而使 具有所述读/写头501的基底425能绕所述基底425的中心旋转。具体地，所述压电微驱 动器420包括形成于所述基底425的前边的第一电极层505、形成于所述第一电极层505上 的压电层506以及分别形成于所述压电层506上并相互间隔的两个第二电极层507a、507b， 由此形成两部分压电元件。所述第一电极层505通过两个间隔的隔离层516、517例如粘 结剂层或者聚合物层与所述基底425的前边连接。在本实施例中，所述两个间隔的隔离层 516,517分别与所述压电微驱动器420中每部分压电元件的一端以及所述基底425的前边 连接。如上所述，所述第一电极层505、所述压电层506和所述第二电极层507a—起形成了 第一部分压电元件，所述第一电极层505、所述压电层506和所述第二电极层507b —起形成 了第二部分压电元件。所述两部分压电元件拥有一共同的第一电极层505。在所述第二电 极层507a、507b上分别形成有两个触点421a、421b，此外，在所述读/写头501上形成有多 个触点505。参考图4b，当把所述磁头和微驱动器400装配到所述挠性件403的内部舌片608 上时，所述磁头和微驱动器400通过一隔离层602诸如环氧树脂机械连接于所述挠性件403 的内部舌片608。参考图4c，所述悬浮区域455上的读/写头连接触点416分别通过多个 焊球419与所述读/写头501上相对应的触点505电性连接，而所述外部舌片607上的两 压电连接触点607a、607b分别通过焊球423与所述压电微驱动器420的第二电极层507a、 507b上相对应的触点421a、421b电性连接，因此，当电压通过内部线缆411a、411b施加给 所述压电微驱动器420时，一部分压电元件将会收缩，同时另一部分将会扩张，从而形成一 旋转扭矩。由于所述两个间隔的隔离层516、517分别连接所述压电微驱动器420中每部分 压电元件的一端以及所述基底425的前边，同时所述焊球423与所述每部分压电元件的另 一端以及挠性件403上的外部舌片607固定连接，且所述外部舌片607通过两个曲臂409， 610与支撑所述磁头和微驱动器组合400的内部舌片608在所述内部舌片608的对称位置 连接，因此所述磁头和微驱动器组合400能够绕其所述基底425的中心旋转。由于读/写 头501是设置在所述基底425的尾边，所以所述读/写头501的位置得以调整。以下将说明磁头和微驱动器组合400的工作原理。参考图6a，第一压电元件和第 二压电元件具有相反的极化方向。当所述第一电极层505接地并且所述第二电极层507a、 507b通过触点421a、421b被施加同相正弦电压时，其中一个压电元件将会收缩而另一个压 电元件将会扩张。参考图6b，所述第一压电元件和第二压电元件具有相同的极化方向。当 所述第一电极层505接地而所述第二电极层507a、507b通过触点421a、421b被施加反向正 弦电压时，其中一个压电元件将会收缩而另一个压电元件将会扩张。由于空隙514的存在，如上所述两种方式的第一和第二压电元件的形变将会对所述基底425形成一旋转扭矩，从 而相应地使具有读/写头501的基底425绕所述基底425的中心旋转。此外，参考图7，由于负载杆404的凸点520支撑着挠性件403的舌片区域，并且所 述舌片区域形成弹性结构支撑磁头和微驱动器组合400，所述磁头和微驱动器组合400平 稳地置于所述凸点520之上并相应地仅绕凸点520旋转。因此，所述磁头和微驱动器组合 400能获得良好的动态性能和位置调整能力。图8a展示了磁头和微驱动器组合400的位移仿真数据。可以从图上看出位移幅度 明显增大，这论证了所述磁头和微驱动器组合400具有良好的动态性能和位置调整能力。 图8b展示了磁头折片组合的共振性能，由于磁头和微驱动器组合400通过挠性件403上舌 片区域的弹性结构从而仅绕凸点520旋转，因此当所述磁头和微驱动器组合400工作时，没 有反作用力传递到悬臂件上，这也是共振曲线在低频区增益很小的原因。由于所述磁头和 微驱动器组合400只有一个共振峰值，这论证了所述磁头折片组合具有较好的位置调整能 力和期望的伺服带宽。图9是本发明制造磁头和微驱动器组合的方法的流程图，图lOa-lOi具体展示了 如何利用图9所示方法来制造磁头和微驱动器组合。参考图9，制造磁头和微驱动器组合的 方法包括如下步骤提供一晶圆1001，所述晶圆1001具有尾边和与所述尾边相对的前边并 包含有多个长形条1002，每个长形条1002具有尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写 头形成于每个长形条1002的尾边(步骤S1,同时参考图lOa-lOb)；在所述晶圆1001的前 边的每两条间隔线上层压一层隔离层1004，例如粘结剂层或者聚合物层(步骤S2，同时参 考图10c)；在所述隔离层1004上形成第一电极层1007 (步骤S3，同时参考图10d)；在所述 第一电极层1007上形成压电层1008 (步骤S4,同时参考图10e)；在所述压电层1008上形 成两个第二电极层1009，所述两个第二电极层相互间隔(步骤S5，同时参考图10f)；在每 个第二电极层1009上形成电触点，极化压电层1008并把所述晶圆1001切割成多个具有成 排读/写头的长形条1002 (步骤S6，同时参考图10g)；对所述每个长形条1002进行图案以 形成每个读/写头的空气承载面(步骤S7,同时参考图10h)；把所述每个长形条1002切割 成单独的磁头和微驱动器组合1003 (步骤S8，同时参考图10i)；测试每个磁头和微驱动器 组合1003的性能(步骤S9)。图10为本发明磁盘驱动单元的一个实施例。如图10所示，磁盘驱动单元可以通 过组装壳体1010、磁盘1102、用于旋转磁盘1102的主轴马达1103、音圈马达1060和连接有 磁头折片组合1105的驱动臂1104来获得。因为磁盘驱动单元的结构和组装过程为本领域 一般技术人员所熟知，所以在此省略关于其结构和组装的详细描述。以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利 范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种磁头和微驱动器组合，包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其特征在于所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
2.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于所述基底与所述读/写头 以及所述压电微驱动器一体成型。
3.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于所述两个间隔的隔离层分 别连接所述压电微驱动器的两端和所述基底的前边。
4.如权利要求1所述的磁头和微驱动器组合，其特征在于所述压电微驱动器包括形 成于所述基底的前边的第一电极层、形成于所述第一电极层上的压电层以及分别形成于所 述压电层上并相互间隔的两个第二电极层。
5.一种磁头折片组合，包括 磁头和微驱动器组合；以及用于支撑所述磁头和微驱动器组合的悬臂件， 其中所述磁头和微驱动器组合包括 具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底； 形成于所述基底的尾边的读/写头；以及 形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其特征在于所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所 述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时， 具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
6.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于所述基底与所述读/写头以及所 述压电微驱动器一体成型。
7.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于所述两个间隔的隔离层分别连接 所述压电微驱动器的两端和所述基底的前边。
8.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于所述压电微驱动器包括形成于所 述基底的前边的第一电极层、形成于所述第一电极层上的压电层以及分别形成于所述压电 层上并相互间隔的两个第二电极层。
9.如权利要求5所述的磁头折片组合，其特征在于所述悬臂件包括挠性件，所述挠性 件具有用于支撑所述磁头和微驱动器组合的舌片区域，所述舌片区域具有外部舌片、形成 于所述外部舌片内的内部舌片以及分别连接所述内部舌片的对称位置和所述外部舌片的 一对曲臂。
10.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于所述磁头和微驱动器组合通过隔 离层机械连接于所述内部舌片。
11.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于所述压电微驱动器上形成有两个 触点，所述外部舌片上形成有与所述压电微驱动器的两个触点对应的两个压电连接触点， 所述压电微驱动器的两个触点分别与所述外部舌片的两个压电连接触点连接。
12.如权利要求9所述的磁头折片组合，其特征在于所述挠性件包括位于所述外部舌 片相对两侧的一对外触发板，所述一对外触发板分别向所述外部舌片延伸并与所述外部舌 片连接。
13.一种磁盘驱动单元包括 磁头折片组合；和所述磁头折片组合相连的驱动臂；磁盘；用于旋转所述磁盘的主轴马达； 其中所述磁头折片组合包括 磁头和微驱动器组合；以及 用于支撑所述磁头和微驱动器组合的悬臂件， 其中所述磁头和微驱动器组合包括 具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底； 形成于所述基底的尾边的读/写头；以及 形成于所述基底的前边的压电微驱动器，其特征在于所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所 述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时， 具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。
14.一种制造磁头和微驱动器组合的方法，包括如下步骤提供一晶圆，所述晶圆具有尾边和与所述尾边相对的前边，多个读/写头形成于所述 晶圆的尾边；在所述晶圆的前边的每两条间隔线上层压一层隔离层； 在所述隔离层上形成压电微驱动器；把所述晶圆切割成多个长形条，每个长形条上具有成排的读/写头； 对所述每个长形条进行图案以形成每个读/写头的空气承载面；以及 把所述每个长形条切割成单独的磁头和微驱动器组合。
15.如权利要求14所述的制造磁头和微驱动器组合的方法，其特征在于所述在隔离 层上形成压电微驱动器的步骤包括在所述隔离层上形成第一电极层； 在所述第一电极层上形成压电层；以及在所述压电层上形成两个第二电极层，所述两个第二电极层相互间隔。
全文摘要
本发明公开了一种磁头和微驱动器组合。所述磁头和微驱动器组合包括具有尾边和与所述尾边相对的前边的基底；形成于所述基底的尾边的读/写头；以及形成于所述基底的前边的压电微驱动器，所述压电微驱动器通过两个间隔的隔离层与所述基底的前边连接以在所述压电微驱动器与所述基底的前边之间形成空隙，其中，当所述压电微驱动器被驱动从而通过所述空隙对所述基底产生一旋转扭矩时，具有所述读/写头的基底绕所述基底的中心旋转。所述磁头和微驱动器组合的结构避免了读/写头在压电微驱动器被驱动时受损同时能取得较好的工作性能。本发明也公开了磁头和微驱动器组合的制造方法、磁头折片组合以及磁盘驱动单元。
文档编号G11B5/00GK101859570SQ20091013411
公开日2010年10月13日 申请日期2009年4月7日 优先权日2009年4月7日
发明者姚明高, 解贻如, 郭林 申请人:新科实业有限公司