用于mocvd设备的报警装置的制造方法

文档序号:8806585阅读:162来源:国知局
用于mocvd设备的报警装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及发光二极管(Light-Emitting D1de,LED)设备领域,尤其涉及一种用于金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organic Chemical Vapor Deposit1n,MOCVD)设备的报警装置。
【背景技术】
[0002]MOCVD设备对于水、电、气以及尾气排放处理的要求非常严格,与其相连的任何附属设施的稍微波动产生的信号,或者发出的误报警信号,都有可能传入到MOCVD设备的主电脑中,对机台报警产生影响,甚至导致宕机。
[0003]如图1为现有技术中MOCVD设备的报警装置图。尾气处理器A出现报警信号后,信号直接连通到MOCVD设备,MOCVD设备在接收到报警后停机并报警。
[0004]MOCVD设备接收到宕机指令后会造成机器的急停,在机器急停的过程中,会切断水、电、气,此时,水管会由于冷却水停止循环导致温度急剧上升而破裂,电动马达会由于断电导致转速迅速下降,使大盘异常磨损,真空泵会由于切断气导致异常停止,使得尾气倒灌到反应室中。因此,为了避免上述情况的产生,亟需提出一种用于MOCVD设备的报警装置。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种用于MOCVD设备的报警装置,以解决现有技术中,由于误报警信号传输至MOCVD设备的主电脑而导致的机台报警或宕机。
[0006]本实用新型提供一种用于MOCVD设备的报警装置,设置在尾气处理器和金属有机化合物化学气相沉淀MOCVD设备之间,包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关;
[0007]所述报警器用于在检测到报警信号时发出警报,并将所述报警信号发送给所述报警信号等级控制器;
[0008]所述报警信号等级控制器用于根据所述报警信号,确定所述报警信号的延迟时间;将与所述延迟时间对应的延迟信号发送给所述延时装置;
[0009]所述延时装置用于根据接收到的所述延迟信号确定所述报警信号的延迟时间,并对所述报警信号进行延迟传输处理;
[0010]所述信号取消开关用于在所述延迟时间内,若判断所述报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除所述报警信号。
[0011]如上所述的装置,其中,所述报警器包括声光报警器和报警显示屏;
[0012]所述声光报警器用于在检测到所述报警信号时发出声音警报和灯光闪烁警报;所述报警显示屏用于显示所述报警信号和所述报警信号的等级。
[0013]如上所述的装置,其中,所述报警信号的延迟时间是根据所述报警信号的危险程度和危害大小预先设定并存储在所述报警信号等级控制器中的。
[0014]本实用新型提供的用于MOCVD设备的报警装置,设置在尾气处理器和MOCVD设备之间,包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关;报警器用于在检测到报警信号时发出警报,并将报警信号发送给报警信号等级控制器;报警信号等级控制器用于根据报警信号,确定报警信号的延迟时间;将与延迟时间对应的延迟信号发送给延时装置;延时装置用于根据接收到的延迟信号确定报警信号的延迟时间,并对报警信号进行延迟传输处理;信号取消开关用于在延迟时间内,若判断报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除报警信号。以避免由于误报警信号传输至MOCVD设备的主电脑而导致的机台报警或宕机。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为现有技术中MOCVD设备的报警装置图;
[0017]图2为本实用新型实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0019]图2为本实用新型实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置的结构示意图。如图2所示,本实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置具体可以设置在尾气处理器20和MOCVD设备30之间,对报警信号进行延迟传输处理,以在报警信号传输到MOCVD设备30的主电脑之前,由人工判断该报警信号的真伪,若是真的报警信号,则在到达延迟时间后,将报警信号传输到MOCVD设备30的主电脑,若是误报警信号,则手动消除该误报警信号,从而避免由于误报警信号传输至MOCVD设备30的主电脑而导致的机台报警或宕机。
[0020]下面对本实用新型实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置进行详细说明。
[0021]参照图2,本实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置10包括依次相连的报警器101、报警信号等级控制器102、延时装置103和信号取消开关104 ;
[0022]所述报警器101用于在检测到报警信号时发出警报,并将所述报警信号发送给所述报警信号等级控制器102 ;所述报警信号等级控制器102用于根据所述报警信号,确定所述报警信号的延迟时间;将与所述延迟时间对应的延迟信号发送给所述延时装置103 ;所述延时装置103用于根据接收到的所述延迟信号确定所述报警信号的延迟时间,并对所述报警信号进行延迟传输处理;所述信号取消开关104用于在所述延迟时间内,若判断所述报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除所述报警信号。
[0023]具体的,所述报警器101包括声光报警器和报警显示屏;所述声光报警器用于在检测到所述报警信号时发出声音警报和灯光闪烁警报;所述报警显示屏用于显示所述报警信号和所述报警信号的等级。
[0024]该信号取消开关104可以安装在延时装置103上,以便于工作人员操作。
[0025]需要说明的是,所述报警信号的延迟时间是根据所述报警信号的危险程度和危害大小预先设定并存储在所述报警信号等级控制器102中的。
[0026]在使用本实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置10时,所述报警信号在传输至MOCVD设备30的主电脑之前,先被所述报警器101检测到,所述报警器101的声光报警器发出声音警报和灯光闪烁警报,所述报警器101的所述报警显示屏上显示出所述报警信号以及所述报警信号的等级,并将所述报警信号发送给所述报警信号等级控制器102 ;所述报警信号等级控制器102根据所述报警信号,确定所述报警信号对应的延迟时间,并将与该延迟时间对应的延迟信号发送给所述延时装置103,以使该延时装置103对该报警信号进行延迟传输处理;若在该延迟时间内,工作人员人工确定该报警信号为误报警信号,则通过所述信号取消开关104发出取消信号,消除该报警信号;若在该延迟时间内,该延时装置103没有收到来自该信号取消开关104的取消信号,则在该延迟时间超时后,将该报警信号传输至MOCVD设备30。
[0027]本实施例提供的用于MOCVD设备的报警装置,设置在尾气处理器和MOCVD设备之间,包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关;报警器用于在检测到报警信号时发出警报,并将报警信号发送给报警信号等级控制器;报警信号等级控制器用于根据报警信号,确定报警信号的延迟时间;将与延迟时间对应的延迟信号发送给延时装置;延时装置用于根据接收到的延迟信号确定报警信号的延迟时间,并对报警信号进行延迟传输处理;信号取消开关用于在延迟时间内,若判断报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除报警信号。通过在一定的延迟时间内确定报警信号的真伪,避免了由于误报警信号传输至MOCVD设备的主电脑而导致的机台报警或宕机。
[0028]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种用于MOCVD设备的报警装置,该装置设置在尾气处理器和金属有机化合物化学气相沉淀MOCVD设备之间,其特征在于,包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关; 所述报警器用于在检测到报警信号时发出警报,并将所述报警信号发送给所述报警信号等级控制器; 所述报警信号等级控制器用于根据所述报警信号,确定所述报警信号的延迟时间;将与所述延迟时间对应的延迟信号发送给所述延时装置; 所述延时装置用于根据接收到的所述延迟信号确定所述报警信号的延迟时间,并对所述报警信号进行延迟传输处理; 所述信号取消开关用于在所述延迟时间内,若判断所述报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除所述报警信号。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述报警器包括声光报警器和报警显示屏; 所述声光报警器用于在检测到所述报警信号时发出声音警报和灯光闪烁警报;所述报警显示屏用于显示所述报警信号和所述报警信号的等级。
3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述报警信号的延迟时间是根据所述报警信号的危险程度和危害大小预先设定并存储在所述报警信号等级控制器中的。
【专利摘要】本实用新型提供一种用于MOCVD设备的报警装置,该装置设置在尾气处理器和MOCVD设备之间,包括依次相连的报警器、报警信号等级控制器、延时装置和信号取消开关;报警器用于在检测到报警信号时发出警报,并将报警信号发送给报警信号等级控制器;报警信号等级控制器用于根据报警信号,确定报警信号的延迟时间;将与延迟时间对应的延迟信号发送给延时装置;延时装置用于根据接收到的延迟信号确定报警信号的延迟时间,并对报警信号进行延迟传输处理;信号取消开关用于在延迟时间内,若判断报警信号为误报警信号,则发出取消信号,消除报警信号。以避免由于误报警信号传输至MOCVD设备的主电脑而导致的机台报警或宕机。
【IPC分类】G08B21-00
【公开号】CN204515976
【申请号】CN201520236382
【发明人】焦建军, 黄小辉, 周德保, 康建, 梁旭东
【申请人】圆融光电科技股份有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年4月17日
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1