专利名称：一种烟雾探测联锁方法
技术领域：
本发明涉及一种烟雾探测联锁方法，特别地涉及用于离子注入机中的设备安全和保证人员安全的自动运行方法，属于半导体设备领域。
背景技术：
离子注入机属于粒子加速器的ー种，在离子注入机运转时设备内部处在高电位エ作区，离子源气箱处于送气状态。高电压和毒性エ艺气体是十分危险的，一旦设备内部或外围有火灾发生，设备如不能自动断电和关断毒气将对人员造成严重伤害，此设计利用烟雾探測器来识别烟雾颗粒，检测设备内部和外部的烟雾颗粒，一旦烟雾颗粒达到一定浓度，烟雾探测器报警并发出联锁信号，关断设备高压供电和气箱供电，使设备处于安全状态，减轻事故造成的危害和损失。
发明内容
本发明针对离子注入机的特点而设计的一种简单且可自动执行的烟雾探测报警方法。本发明专利采用如下技术方案来实现利用I烟雾探測器检测和2联锁控制电路，实现自动预警和火警，并可立即切断高压电和毒性エ艺气体。I烟雾探測器，可以判断火灾时烟雾颗粒的浓度，根据烟雾颗粒的浓度不同发出预警和火警两个信号。第一，当I烟雾探測器，发出预警信号并通过2联锁控制电路来控制预警，此时只会提醒操作人员采取适当的方法进行应对，不会切断设备高压和毒气エ艺气体。第二，当I烟雾探測器，发出火警信号并通过2联锁控制电路来控制火警信号，会立即切断设备高压和气箱供电，停止送有毒エ艺气体，使整机处于断电状态。这样设备处于安全状态，不会导致设备的高压和毒气对周围环境和人员造成损伤，减轻火灾事故造成的危害和损失。本发明具有如下显著优点I.利用烟雾探測器，对离子注入机进行自动安全控制，不受人为干预自动进行，可
靠性高。2.此方法具有预警功能，预警警报发生时，不会切断电源，但会发出预警信号，提醒操作人员立即消灭火源、排除烟雾颗粒，及时防止火灾事故发生，具有很高的安全保证。3.提高了注入机在工作中的可靠性和安全性。
图I为I烟雾探測器和2联锁控制电路工作流程图。图2为I烟雾探測器和2联锁控制电路工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进ー步介绍，但不作为对本发明专利的限定。本发明专利公开了ー种烟雾探测联锁方法，具体技术实施方案来如下利用I烟雾探测器检测可以判断火灾时烟雾颗粒的浓度，根据烟雾颗粒的浓度不同发出预警和火警两个信号，通过2联锁控制电路，实现自动预警和火警，可立即切断设备高压电和毒性エ艺气体。第一，当I烟雾探測器，发出预警信号吋，则常开触点P1-3和P1-4闭合，通过2联锁控制电路的Ql控制继电器Kl线包从吸合变为断开状态，此时Kl的常开触点Κ1-4、Κ1-8由闭合变为断开，然后通过J2-3和J2-4送到主配电控制，来进行预警。此时不会切断设备高压和毒气エ艺气体，只会提醒操作人员采取适当的方法进行应对。第二，当I烟雾探測器，发出火警信号吋，则常开触点Pl-I和Ρ1-2闭合，通过2联 锁控制电路的Q2控制继电器Κ2线包从吸合变为断开状态，此时Κ2的常开触点Κ2-4、Κ2-8由闭合变为断开，然后通过Jl-I和J1-2送到主配电控制，来进行火警警报。当火警警报发生后，会立即切断设备高压和气箱供电，停止送有毒エ艺气体，使整机处于断电状态。本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种烟雾探测联锁方法，包括1烟雾探測器；2联锁控制电路，控制电路具有预警模块控制和火警模块控制两部分。其特征在于，当I烟雾探測器检测到烟雾颗粒时，发出信号通过2联锁控制电路来自动预警和火警，并可立即切断设备高压电和毒性エ艺气体。本发明是对离子注入机的安全性的改进，可确保离子注入机的高压电和毒性气体不会对人和环境造成损害，确保离子注入机本身的安全运行。
全文摘要
一种烟雾探测联锁方法，包括1烟雾探测器，2联锁控制电路。其特征在于，当检测到烟雾颗粒时，1烟雾探测器发出信号，2联锁控制电路能自动预警和火警，并可立即切断设备电源和有毒工艺气体，提升设备的安全保护功能。本发明可确保离子注入机本身以及设备周围环境安全，用于提高离子注入机的安全运行。
文档编号G08B17/10GK102867387SQ20111018649
公开日2013年1月9日 申请日期2011年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者胡东京, 伍三忠, 彭立波 申请人:北京中科信电子装备有限公司