透明导电体和触摸屏的利记博彩app
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种透明导电体以及使用其的触摸屏。
【背景技术】
[0002] 透明导电体可以用作液晶显示器(IXD)、等离子显示面板(PDP)以及电致发光板 (有机EL、无机EL)等的显示器、以及太阳能电池等的透明电极。另外，除了这些以外，也可以 用于电磁波屏蔽膜或红外线阻断膜等。作为透明导电体中的金属氧化物层的材料，广泛地 使用在氧化铟(Ιη 203)中添加有锡(Sn)的ΙΤ0。
[0003] 近年来，智能手机和平板终端等具备触摸屏的终端迅速普及。这些在液晶面板上 设置有触摸传感器部，在最外表面具有具备玻璃罩(cover glass)的构成。触摸传感器部在 玻璃或薄膜基材的一面或两面上贴附有1片或2片通过溅射法将ΙΤ0膜成膜后的薄膜而构 成。
[0004] 伴随着触摸屏的大型化和触摸传感器功能的高精度化，寻求具有高透过率并且低 电阻的透明导电体。为了降低使用了ΙΤ0膜的透明导电体的电阻，需要加厚ΙΤ0膜的膜厚或 者通过热退火进行ΙΤ0膜的结晶化。然而，如果将ΙΤ0膜厚膜化，则透过率降低。另外，通常难 以在高温下将薄膜基材热退火。因此，设置在薄膜基材上的ΙΤ0膜的情况下，状态为难以维 持高的透过率并且降低电阻。
[0005] 在这样的情况下，提出有具有以氧化锌为主成分的金属氧化物层和金属层的层叠 结构的透明导电膜(例如，专利文献1)。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1:日本特开平9-291355号公报
【发明内容】
[0009]发明所要解决的技术问题
[0010] 触摸屏等的用途中，在导电部分和绝缘部分上将透明导电膜进行图案化来触摸的 位置的检测。因此，在具有金属氧化物层和金属层的层叠结构的透明导电体中，寻求能够通 过蚀刻将金属氧化物层和金属层一起除去。
[0011] 另外，在图案化过程中，使用感光胶片形成图案，最后进行感光胶片剥离，但是在 该感光胶片剥离时使用碱溶液。因此，进行图案化时，寻求兼顾金属氧化物层能够溶解于酸 中进行蚀刻和在碱中不溶解的耐碱性。
[0012] 然而，氧化锌是在酸中在碱中都进行反应和溶解的材料，另外，现有的以氧化锌为 主成分的金属氧化物也难以兼顾在酸中的溶解性和耐碱性。进一步，金属氧化物需要具有 在酸中的溶解性和充分的耐碱性，并且需要具有充分的导电性。
[0013] 因此，在以氧化锌为主成分的金属氧化物层和金属层的层叠结构中，具有难以兼 顾将金属氧化物层和金属层一起蚀刻除去与充分的耐碱性和优异的导电性的技术问题。
[0014] 因此，本公开内容提供一种具有优异的耐碱性并且高透过率且低电阻的透明导电 体，在具有含有氧化锌作为主成分的金属氧化物层和金属层的层叠结构的透明导电体中能 够通过蚀刻容易地除去金属氧化物层和金属层。另外，本公开内容提供通过使用这样的透 明导电体从而能够容易地制造的触摸屏。
[0015] 解决技术问题的技术手段
[0016] 本发明在一个方面提供一种透明导电体，其中，所述透明导电体依次层叠有透明 树脂基材、第1金属氧化物层、含有银合金的金属层以及第2金属氧化物层，第2金属氧化物 层含有ZnO作为主成分，并且含有In 2〇3和Ti02作为副成分，Ti02的含量相对于ZnO、In 2〇3以及 Ti〇2这3种成分的合计为6~15mol %。
[0017] 这样的透明导电体具有层叠结构，所述层叠结构具备:构成最外表面的第2金属氧 化物层，其含有ZnO作为主成分，并且含有In 2〇3和Ti02作为副成分，Ti02的含量相对于ZnO、 In2〇3以及Ti〇2这3种成分的合计为6~15mol% ;和含有银合金的金属层。该第2金属氧化物 层和金属层通过蚀刻可以一起容易地被除去。另外，可以制成具有高透明性、高导电性、优 异的耐腐蚀性以及优异的耐碱性的透明导电体。因此，可以优选用于触摸屏等需要蚀刻的 用途。
[0018] 在几个实施方式中，在第2金属氧化物层中，ZnO的含量相对于ZnO、In2〇3以及Ti〇2 这3种成分的合计为73~84mol% <Jn2〇3的含量相对于上述3种成分的合计为9~18mol%。通 过以上述比例含有ZnO、In2〇 3以及Ti02,可以充分地提高第2金属氧化物层的透明性、导电 性、耐腐蚀性、蚀刻性以及耐碱性。
[0019] 在几个实施方式中，第1金属氧化物层含有ZnO作为主成分，并且含有In2〇3和Ti〇2 作为副成分，Ti〇2的含量相对于ZnO、In2〇3以及Ti〇2这3种成分的合计为6~15mol%。由此， 可以通过蚀刻一起容易地除去第1金属氧化物层、第2金属氧化物层以及金属层。另外，可以 制成具有高透明性、高导电性、优异的耐腐蚀性以及耐碱性的透明导电体。
[0020] 在几个实施方式中，金属层的厚度可以为4~llnm。可以充分地提高透明导电体的 透明性，并且可以降低表面电阻。在几个实施方式中，银合金为Ag与选自Pd、Cu、Nd、In、Sn& 及Sb中的至少一种金属的合金。
[0021 ]本发明在另一个方面提供一种触摸屏，所述触摸屏在面板上具有传感器薄膜，该 传感器薄膜由上述透明导电体构成。这样的触摸屏由于具有由上述透明导电体构成的传感 器薄膜，因此，可以容易地制造。
[0022]发明的效果
[0023] 根据本公开内容，可以提供一种在具有含有氧化锌作为主成分的金属氧化物层和 金属层的层叠结构的透明导电体中能够通过蚀刻容易地除去金属氧化物层和金属层，并且 耐碱性和导电性优异的透明导电体。另外，本公开内容中可以提供通过使用这样的透明导 电体从而能够容易地制造的触摸屏。
【附图说明】
[0024] 图1是示意地表示透明导电体的一个实施方式的截面图。
[0025] 图2是示意地表示透明导电体的另一个实施方式的截面图。
[0026]图3是将触摸屏的一个实施方式的截面的一部分放大表不的不意截面图。
[0027]图4(A)和图4(B)是构成触摸屏的一个实施方式的传感器薄膜的平面图。
[0028]符号的说明
[0029] 10…透明树脂基材、12···第1金属氧化物层、14···第2金属氧化物层、16···金属层、 15a，15b···传感器电极、20···硬涂层、22···第1硬涂层、24···第2硬涂层、50···导体线路、70··· 面板、80···电极、90···粘结剂、92···垫片、100,10l···透明导电体、100a-_Y用传感器薄膜、 10(Λ···Χ用传感器薄膜、200…触摸屏。
【具体实施方式】
[0030]以下一边参照附图一边详细地说明本发明的优选的实施方式。但是，本发明并没 有被限定于以下的任何实施方式。另外，附图中对同一或同等的要素赋予同一符号，根据情 况省略重复的说明。
[0031]图1是表示透明导电体的一个实施方式的示意截面图。透明导电体100具有依次配 置有薄膜状的透明树脂基材10、第1金属氧化物层12、金属层16和第2金属氧化物层14的层 叠结构。
[0032] 本说明书中的"透明"是指可见光透过，也可以使光以某种程度散射。对于光的散 射程度，根据透明导电体100的用途所要求的水平不同。有通常被称为半透明这样的光散射 的情况也包含于本说明书中的"透明"的概念中。优选光的散射程度小，并且优选透明性高。 透明导电体100整体的总透光率例如为80%以上，优选为83%以上，进一步优选为85%以 上。该总透光率是使用积分球所求得的包含扩散透射光的透过率，可以使用市售的雾度计 进行测定。
[0033] 作为透明树脂基材10,没有特别地限定，可以是具有可挠性的有机树脂薄膜。有机 树脂薄膜也可以是有机树脂薄片。作为有机树脂薄膜，例如可以列举聚对苯二甲酸乙二醇 酯(ΡΕΤ)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等的聚酯薄膜、聚乙烯以及聚丙烯等的聚烯烃薄膜、聚 碳酸酯薄膜、丙烯酸薄膜、降冰片烯薄膜、聚芳酯薄膜、聚醚砜薄膜、二乙酰基纤维素薄膜、 以及三乙酰基纤维素薄膜等。这些中，优选为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)以及聚萘二甲酸 乙二醇酯(PEN)等的聚酯薄膜。
[0034] 从刚性的观点出发，透明树脂基材10优选厚。另一方面，从将透明导电体100薄膜 化的观点出发，透明树脂基材10优选薄。从这样的观点出发，透明树脂基材10的厚度例如为 10~200μπι。从制成光学特性优异的透明导电体