包括有源触摸敏感矩阵和屏蔽电极的电容性感测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施例涉及一种装置。特别地，它们涉及一种包括分布在感测区域上的多个电容性传感器电极的装置。
【背景技术】
[0002]当前的触摸敏感显示器可以使用分布在感测区域上的多个电容性传感器电极。这些电容性传感器电极对附近接地的对象进行感测，诸如触摸到感测区域的用户手指。
【发明内容】
[0003]根据本发明的各种但不一定是全部的实施例，提供了一种装置，该装置包括:分布在感测区域上的多个电容性感测单元，其中每个电容性感测单元包括电容性传感器电极和至少一个开关；多个输出导电迹线，其中每个输出导电迹线被配置为提供来自多数个电容性感测单元中的任何电容性感测单元的输出；多个控制导电迹线，其中每个控制导电迹线被配置为向多数个电容性感测单元提供控制输入，其中每个电容性感测单元的开关被配置为，由该多个控制导电迹线中的一个控制导电迹线控制，以启用该电容性感测单元的电容性传感器电极与该多个输出导电迹线中的一个输出导电迹线之间的导电路径；以及屏蔽电极，覆盖这些输出导电迹线或者这些控制导电迹线的至少部分，而暴露这些电容性传感器电极的至少部分。
[0004]根据本发明的各种但不一定是全部的实施例，提供了一种装置，该装置包括:电容性传感器电极的阵列，包括以N行和M列而分布在感测区域上的多个相异的电容性传感器电极；开关的阵列，以N行和M列而分布在感测区域上，每个开关邻近于这些电容性传感器电极中相关联的一个电容性传感器电极；行导电迹线，每个行导电迹线平行于电容性传感器电极的这些行中邻近的一行而延伸；列导电迹线，每个列导电迹线平行于电容性传感器电极的这些列中邻近的一列而延伸，其中电容性传感器电极的每一行中的每个电容性传感器电极经由它的相关联的开关而操作地连接到邻近的行导电迹线，并且其中每个列导电迹线操作地被连接以控制与电容性传感器电极的一列相关联的开关；以及屏蔽电极，在该感测区域中覆盖这些行导电迹线或者这些列导电迹线的至少部分。
【附图说明】
[0005]为了更好地理解本发明的实施例的各种示例，现在将通过仅为示例的方式对附图做出参考，在附图中:
[0006]图1图示了包括感测布置的装置的示例，该感测布置包括分布在感测区域上的多个电容性感测单元；
[0007]图2图示了包括感测布置的装置的示例，该感测布置包括以规则阵列分布在感测区域上的多个电容性感测单元；
[0008]图3图示了图2的感测布置的多个电容性感测单元中的包括电容性传感器电极和开关的一个电容性感测单元；
[0009]图4A和4B示意性地图示了贯穿相同感测布置的不同横截面；
[0010]图5图示了包括感测布置的装置的另一示例，该感测布置包括以规则阵列分布在感测区域上的多个电容性感测单元；
[0011]图6图示了图5的感测布置的多个电容性感测单元中的包括电容性传感器电极、开关、以及附加开关的一个电容性感测单元；
[0012]图7图示了屏蔽电极的示例；
[0013]图8图不了屏蔽电极的另一不例；
[0014]图9A图示了触摸面板模块的示例；
[0015]图9B图示了触摸敏感显示模块的示例；以及
[0016]图9C图不了电子设备的不例。
【具体实施方式】
[0017]各图图示了装置2，装置2包括:分布在感测区域8上的多个电容性感测单元50，其中每个电容性感测单兀50包括电容性传感器电极6和至少一个开关60 ;多个输出导电迹线10A，其中每个输出导电迹线1A被配置为提供来自多数个电容性感测单元50中的任何电容性感测单元的输出；多个控制导电迹线10B，其中每个控制导电迹线1B被配置为向多数个电容性感测单元50提供控制输入；其中电容性感测单元50的开关60被配置为，由该多个控制导电迹线1B中的一个控制导电迹线控制，以启用该电容性感测单元50的电容性传感器电极6与该多个输出导电迹线1A中的一个输出导电迹线之间的导电路径；以及屏蔽电极12，其覆盖输出导电迹线1A或者控制导电迹线1B的至少部分，而暴露电容性传感器电极6的至少部分。
[0018]图1图示了装置2，装置2包括:感测布置5，包括分布在感测区域8上的多个感测单元50 ;导电迹线10，至少部分地分布在感测区域8上；以及屏蔽电极12，部分地覆盖感测布置5ο
[0019]在这个示例中，装置2覆盖显示器40并且作为用于显示器40的电容性触摸面板进行操作。显示器40和装置2组合地形成触摸敏感显示器，该触摸敏感显示器被配置为检测由用户输入设备32对多个感测单元50中的一个或多个感测单元的接近所引起的电容上的变化。
[0020]感测布置5被配置为感测由用户输入设备32在触摸表面7的感测区域8处或者在感测区域8上方的接近所引起的电容上的变化。在这个示例中，用户输入设备32是用户的手指。
[0021]装置2被配置为，不仅在用户的手指触摸到触摸表面7的感测区域8时感测用户的手指在感测区域8内的(X，y)位置，而且在这个示例中还可以在用户的手指靠近但是没有触摸到触摸表面7的感测区域8时另外地提供用户的手指的(Z)位置，和/或在用户的手指靠近但是还没有触摸到触摸表面7的感测区域时提供用户的手指的(x，y)位置。装置2因此不仅提供二维感测而且还提供三维感测。
[0022]可选地，装置2还可以包括在感测区域8中位于导电迹线10和电容性感测单元50之下的附加屏蔽电极20。附加屏蔽电极20可以是连续的不间断的电极。
[0023]屏蔽电极12、导电迹线10、电容性感测单元50、以及附加屏蔽电极20(如果存在的话)都至少被定位在感测区域8之内并且在这个示例中覆盖显示器40。由于它们覆盖显示器40，所以它们优选地是透明的，或者如果不透明，则它们可以具有人眼在例如30cm的工作距离处通常无法分辨的尺寸。
[0024]如图2和图3中所图示的，每个电容性感测单元50都包括电容性传感器电极6和至少一个开关60。
[0025]导电迹线10包括多个输出导电迹线1A和多个控制导电迹线10B。每个输出导电迹线1A被配置为提供来自多数个电容性感测单元50的输出。每个控制导电迹线1B被配置为向多数个电容性感测单元50提供控制输入。
[0026]电容性感测单元50的开关60被配置为，由该多个控制导电迹线1B中的一个控制导电迹线控制，以启用该电容性感测单元50的电容性传感器电极6与该多个输出导电迹线1A中的一个输出导电迹线之间的导电路径。
[0027]屏蔽电极12、导电迹线10、电容性传感器电极6、以及附加屏蔽电极20 (如果存在的话)可以由导电且透明的材料来形成。它们可以由相同或类似的材料或者材料混合物来形成。适合的导电且透明的材料的示例包括例如铟锡氧化物(ITO)、金属网、银纳米线、以及碳纳米管复合物。
[0028]可以使用例如如当前在有机发光二极管显示器中所使用的薄膜技术来形成开关
60 ο
[0029]图2图示了包括感测布置的装置2的示例，该感测布置包括分布在感测区域8上的多个感测单元50。
[0030]该多个电容性感测单元50作为N行乘以M列的规则阵列52而分布在感测区域8上。阵列52是规则的，因为各行均匀地间隔开并且各列也均匀地间隔开。各行之间的相应间距和各列之间的相应间距可以相同或者不同。
[0031]每个电容性感测单元50都包括电容性传感器电极6和邻近的相关联的开关60。电容性传感器电极6可以具有等同的操作尺寸和等同的操作电容。开关60可以是薄膜场效应晶体管。
[0032]在这个示例中，电容性传感器电极6具有小于0.5cm2的尺寸。