专利名称：一种监控设备运行状态的系统及方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。
背景技术：
目前，在晶圆厂的全自动化生产线上的生产设备经常是全天候(24小时)运转，即设备自行进行生产、控制，及自动在上下工序间传送；现有技术中，主要是通过电脑终端对该自动化生产线及设备进行监控，主要是将各设备的上分别与制造执行系统(Manufacturing Execution System,简称MES)进行通讯连接，以更新MES中各设备运行状态信息；然而，当设备发生死机等情况时，设备会中断与MES之间的连接，而现有的MES系统又不会及时发现该通讯中断并进行报警，进而导致产品工艺的异常，浪费设备机时，且使用人力进行巡查处理时，又会浪费大量的人力成本，致使整个生产工艺成本的增加。
发明内容
针对上述存在的问题，本发明揭示了一种监控设备运行状态的系统及方法，主要是根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警的工艺。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的
一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其中，还包括
监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息；判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的报警装置，接收所述警报并发出声光警报。上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的显示装置，用于显示触发警报的生产设备的信息。上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述判断模块中根据所述生产设备中进行的工艺预设有常规作业时间值。上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述设备信息包括所述生产设备中是否有任一批次作业中，若有，则还包括该生产设备中最后开始作业批次的开始时间。上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述生产设备中无任一批次作业中时，所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值，若该时间值大于系统设定的常规作业时间值，则所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报。一种监控设备运行状态的方法，包括上述任意一项所述的系统，其中，
抽取所述生产设备的设备信息；当所述生成设备处于产品生产状态时，判断该生产设备中是否有任一批次作业中； 若该生产设备中无任一批次作业中，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警
报；
若该生产设备中有任一批次作业中，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值；
若进行工艺的时间值大于系统设定的常规作业时间值，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则判断所述生产设备运行状态正常，并继续下一工艺。上述的监控设备运行状态的方法，其中，还包括上述触发警报的同时，通过显示模块将生产设备信息显示。上述的监控设备运行状态的方法，其中，还包括进行上述判断工艺步骤的判断模块，并采用监测模块抽取所述生产设备的设备信息。上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的报警装置，以接收所述警报并发出声光警报。综上所述，本发明一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。
图I是本发明实施例一中监控设备运行状态的系统的结构示意 图2是本发明实施例二中监控设备运行状态的方法的流程示意图。
具体实施例方式 下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步的说明
实施例一
图I是本发明实施例一中监控设备运行状态的系统的结构示意图；如图I所示，本发明一种监控设备运行状态的系统，在晶圆厂的全自动化生产线上，包括判断模块、检测模块、MES服务器、报警装置、多个显示装置和多个生产设备，该多个生产设备均与MES服务器进行双向通讯连接，以收集生产设备信息并控制生产设备的运行；检测模块与MES服务器连接，以抽取生产设备的信息，如生产设备中是否有任一批次作业、生产设备编码等信息；判断模块分别与检测模块及MES服务器进行连接，以根据检测模块抽取的生产设备信息，判断是否触发警报至报警装置，在触发警报的同时将异常生产设备信息发送至多个显示装置进行显示，以便于在声光报警信息提醒时，提供触发警报的生产设备的信息，以方便工程师准确、及时的对生产设备进行分析处理。其中，当生产设备信息中的生产设备中无任一批次作业中时，判断模块判断该生产设备疑似死机状态，同时触发警报，并将该生产设备的编码等信息经显示模块进行显示；反之，则将生产设备中最后开始作业批次的开始时间减去当前时间进行计算进行工艺时间的差值，若该时间差值大于系统设定的常规作业的时间值，则判断模块判断该生产设备疑似死机状态，同时触发警报，并将该生产设备的编码等信息经显示模块进行显示；若该时间差值小于或等于系统设定的常规作业的时间值，则判断模块判断该生产设备正常，并通知MES服务器继续进行工艺处理。上述的显示装置可以利用现有生产线上的显示终端进行显示，如电脑显示器等；判断模块和检测模块可以嵌入设置在MES服务器或生产线上电脑终端上，以便于操作；当生产线上的生产设备处于产品生产(RUN)的状态时，本发明监控设备运行状态的系统中的各部件开始进行分析处理，并可根据工艺需求设置间隔处理的时间，如根据生产设备进行的工艺操作时间等设置每隔10分钟进行一次设备运行状态的检测。实施例二
图2是本发明实施例二中监控设备运行状态的方法的流程示意图；如图2所示，监控设备运行状态的方法，在实施例一的基础上，首先，检测模块通过MES服务器抽取各个生产设备的设备信息；其次，判断模块对处于产品生产状态的生产设备信息进行分析对比，若生产设备信息中不包含有任一批次作业的信息，则判断该生产设备疑似死机状态，同时触 发警报，并将该生产设备的编码等信息经显示模块进行显示，以便于生产线管控人员对该生产设备进行处理；若生产设备信息中包含有任一批次作业的信息，则继续进行比较分析。然后，判断模块将该生产设备中最后开始作业批次的开始时间减去当前时间进行计算进行工艺时间的差值，若该时间差值大于根据预先设定的工艺常规作业时间值，则判断模块判断该生产设备疑似死机状态，同时触发警报，并将该生产设备的编码等信息经显示模块进行显示；反之，则判断模块判断该生产设备正常，并通知MES服务器继续进行工艺处理。例如，本实施例中监控设备运行状态的方法，在RUN产品的状态下，通过在生产线上电脑终端嵌入设置检测和判断模块自动抽取生产线上所有设备的状态、作业信息，取得“RUN产品”状态下的设备单，并将每台设备实时运行、作业参数与预设的对应参数进行比对，超出范围的如超出时间没有开始新的产品批次作业的设备，可判断为疑似死机，并通过警报装置发出声光警报，同时将该设备信息如编码等显示在生产线的显示终端上，以便于生产线人员对该生产设备进行处理。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明实施例提出一种监控设备运行状态的方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。通过说明和附图，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其特征在于，还包括 监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息； 判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。
2.根据权利要求I所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，还包括与所述判断模块连接的报警装置，接收所述警报并发出声光警报。
3.根据权利要求I所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，还包括与所述判断模块连接的显示装置，用于显示触发警报的生产设备的信息。
4.根据权利要求I所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，所述判断模块中根据所述生产设备中进行的工艺预设有常规作业时间值。
5.根据权利要求4所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，所述设备信息包括所述生产设备中是否有任一批次作业中，若有，则还包括该生产设备中最后开始作业批次的开始时间。
6.根据权利要求5所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，所述生产设备中无任一批次作业中时，所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值，若该时间值大于系统设定的常规作业时间值，则所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报。
7.—种监控设备运行状态的方法，包括权利要求1-6中任意一项所述的系统，其特征在于， 抽取所述生产设备的设备信息； 当所述生成设备处于产品生产状态时，判断该生产设备中是否有任一批次作业中； 若该生产设备中无任一批次作业中，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报； 若该生产设备中有任一批次作业中，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值； 若进行工艺的时间值大于系统设定的常规作业时间值，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则判断所述生产设备运行状态正常，并继续工艺。
8.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的方法，其特征在于，还包括上述触发警报的同时，通过显示模块将生产设备信息显示。
9.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的方法，其特征在于，还包括进行上述判断工艺步骤的判断模块，并采用监测模块抽取所述生产设备的设备信息。
10.根据权利要求7所述的监控设备运行状态的系统，其特征在于，还包括与所述判断模块连接的报警装置，以接收所述警报并发出声光警报。
全文摘要
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。本发明提出一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。
文档编号G05B19/418GK102937802SQ20121043247
公开日2013年2月20日 申请日期2012年11月2日 优先权日2012年11月2日
发明者张晓东, 周利民, 李臻 申请人:上海华力微电子有限公司