专利名称：一种机台目标产量处理系统以及方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种机台目标产量处理系统以及方法。
背景技术：
半导体制造企业通常会按客户的订单上所要求的型号、数量和交货时间来 进行半导体器件的加工，在开始一个订单的加工后，通常会将订单上的半导体
器件总数量依照交货时间转换为每个机台的目标日产量、月产量或季度产量， 然后制造管理人员会监控机台的实际日产量、月产量或季度产量是否达到目标
日产量、月产量或季度产量以确保能够依照订单按时交货，但当生产线出现故 障或超产时，可能会导致某些机台某些天的日产量、某些月份的月产量或某些 季度的季度产量达不到或超出目标日产量、月产量或季度产量，但在余下的加 工期限内中并不会更新该目标日产量、月产量或季度产量，仍然会依照该目标
日产量、月产量或季度产量来监控生产线的进展，于是可能会出现无法按照订 单按期交货的事情发生，如此将会造成严重的经济损失。
因此，如何提供一种机台目标产量处理系统以及方法以避免不能通过监控
目标产量来监控是否能按期交货的事情发生，且大大提高机台目标产量的精准 度和实时性，已成为业界亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种机台目标产量处理系统以及方法，通过所述系 统以及方法可将生产线的实际状况反应在机台目标产量上，从而提高机台目标 产量的精准度和实时性。
本发明的目的是这样实现的 一种机台目标产量处理系统，用于处理得出 多个机台在预设时段的目标产量，该预设时段对应一起始时间和一终止时间，该多个机台通过一 网络系统连接在一服务器上，该服务器中存储有各批次晶圓 的预设交货时间、预设下线时间、制造工艺流程及其所使用的机台，该处理系
统包括计算模块，用于依据各批次晶圆的预设交货时间、预设下线时间、制 造工艺流程计算出各批次晶圓的每一工艺步骤对应的预设时间且将每一工艺步 骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台存储至一第 一数据库中；记录模块， 用于记录各批次晶圓的每一工艺步骤所对应的实际时间且将每一工艺步骤及其 对应的实际时间存储至一第二数据库中；第一查询模块，用于在第一数据库中 查询出各批次晶圆在终止时间时的终止工艺步骤；第二查询模块，用于在第二 数据库中查询出各批次晶圆在起始时间时的起始工艺步骤；统计模块，用于在 第 一数据库中统计所有批次晶圆在起始工艺步骤至终止工艺步骤间所对应的各 机台的使用次数以得到各机台的目标产量；以及输出模块，用于输出统计模块 统计所得的各机台的目标产量。
在上述的机台目标产量处理系统中，该机台包括清洗机台、光刻机台、刻 蚀机台、氧化机台和气相沉积机台。
在上述的机台目标产量处理系统中，该预设时段为一天、 一个月或一个季度。
在上述的机台目标产量处理系统中，各批次晶圆的第一步工艺步骤所对应 的预设时间为其预设下线时间，各批次晶圓的最后一步工艺步骤所对应的预设 时间为其预设交货时间。
本发明还提供了一种使用上述的机台目标产量处理系统进行机台目标产量 处理的方法，其包括以下步骤a、依据各批次晶圆的预设交货时间、预设下线 时间、制造工艺流程计算出各批次晶圓的每一工艺步骤对应的预设时间且将每 一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台存储至一第一数据库中； b、记录各批次晶圆的每一工艺步骤所对应的实际时间且将每一工艺步骤及其对 应的实际时间存储至一第二数据库中；c、在第一数据库中查询出各批次晶圓在 终止时间时的终止工艺步骤；d、在第二数据库中查询出各批次晶圆在起始时间 时的起始工艺步骤；e、在第一数据库中统计所有批次晶圆在起始工艺步骤至终 止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标产量；以及f、输 出统计模块统计所得的各机台的目标产量。在上述的机台目标产量处理方法中，该机台包括清洗机台、光刻机台、刻 蚀才几台、氧化才几台和气相沉积才几台。
与现有技术中仅依据预设交货时间和制造工艺流程来得出机台目标产量， 从而使机台目标产量并未与生产线实际状况相关联，进而致使机台目标产量不 精准相比，本发明的机台目标产量处理系统以及方法先计算出各批次晶圆的每 一工艺步骤所对应的预设时间且将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所
使用的机台存储至一第一数据库中；接着记录各批次晶圓的每一工艺步骤所对 应的实际时间且将每一 工艺步骤及其对应的实际时间存储至一 第二数据库中； 之后分别在第 一数据库和第二数据库中查询出各批次晶圆在起始和终止时间时 所对应的起始和终止工艺步骤；然后在第一数据库中统计所有批次晶圆在起始
量且将其输出，如此可将生产线的实际状况反应在机台目标产量中，并可大大 提高机台目标产量的精准度和实时性，另外大大方便了机台操作人员安排生产 以确保按期交货。
本发明的机台目标产量处理系统以及方法由以下的实施例及附图给出。 图l为本发明的机台目标产量处理系统的方框图； 图2为本发明的^L台目标产量处理方法的流程图。
具体实施例方式
以下将对本发明的机台目标产量处理系统作进一步的详细描述。 参见图l，本发明的机台目标产量处理系统1用于处理得出多个机台在预设 时段的目标产量，所述预设时段对应一起始时间和一终止时间，所述多个机台2 通过网络系统3连接在服务器4上，所述服务器4中存储有各批次晶圆的预设 交货时间、预设下线时间、制造工艺流程及其所使用的机台。所述机台包括清 洗机台、光刻机台、刻蚀机台、氧化机台和气相沉积机台等。所述预设时段为 一天或一个月。
所述机台目标产量处理系统1包括计算模块10、第一数据库11、记录模块12、第二数据库13、第一查询模块14、第二查询模块15、统计模块16和输出 模块17。以下对机台目标产量处理系统1的上述构件进行详细说明。
所述计算模块IO用于依据各批次晶圆的预设交货时间、预设下线时间、制 造工艺流程计算出各批次晶圓的每一工艺步骤对应的预设时间且将每一工艺步 骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台存储至第一数据库ll中。各批次晶 圆的第 一步工艺步骤所对应的预设时间为其预设下线时间。
所述记录模块12用于记录各批次晶圓的每一工艺步骤所对应的实际时间且 将每一工艺步骤及其对应的实际时间存储至第二数据库13中。
所述第一查询模块14用于在第一数据库11中查询出各批次晶圆在终止时 间时的终止工艺步骤。
所述第二查询模块15用于在第二数据库13中查询出各批次晶圆在起始时 间时的起始工艺步骤。
所述统计模块16用于在第一数据库11中统计所有批次晶圆在起始工艺步 骤至终止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标产量。
所述输出模块17用于输出统计模块16统计所得的各机台的目标产量。在 本实施例中，所述输出模块17通过网络系统3将各机台的目标产量输出至各对 应的机台以供现场人员进行比对或监控。
参见图2，本发明的机台目标产量处理方法首先进行步骤S20,依据各批次 晶圆的预设交货时间、预设下线时间、制造工艺流程计算出各批次晶圆的每一 工艺步骤对应的预设时间。
接着继续步骤S21，将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所使用的机 台存储至第一数据库中。
接着继续步骤S22，记录各批次晶圆的每一工艺步骤所对应的实际时间且将 每一工艺步骤及其对应的实际时间存储至一第二数据库中。
接着继续步骤S2 3 ，在第 一数据库中查询出各批次晶圆在终止时间时的终止 工艺步骤。
接着继续步骤S24 ，在第二数据库中查询出各批次晶圓在起始时间时的起始 工艺步骤。
接着继续步骤S25,在第一数据库中统计所有批次晶圆在起始工艺步骤至终止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标产量。所述机台 包括清洗机台、光刻机台、刻蚀机台、氧化机台和气相沉积机台。
接着继续步骤S26，输出统计所得的各机台的目标产量。 综上所述，本发明的机台目标产量处理系统以及方法先计算出各批次晶圆 的每一工艺步骤所对应的预设时间且将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及 其所使用的机台存储至一第一数据库中；接着记录各批次晶圓的每一工艺步骤 所对应的实际时间且将每一工艺步骤及其对应的实际时间存储至一第二数据库 中；之后分别在第一数据库和第二数据库中查询出各批次晶圆在起始和终止时 间时所对应的起始和终止工艺步骤；然后在第一数据库中统计所有批次晶圓在
标产量且将其输出，如此可将生产线的实际状况反应在机台目标产量中，并可 大大提高机台目标产量的精准度和实时性，另外大大方便了机台操作人员安排 生产以确保按期交货。
权利要求
1、一种机台目标产量处理系统，用于处理得出多个机台在预设时段的目标产量，该预设时段对应一起始时间和一终止时间，该多个机台通过一网络系统连接在一服务器上，该服务器中存储有各批次晶圆的预设交货时间、预设下线时间、制造工艺流程及其所使用的机台，其特征在于，该处理系统包括计算模块，用于依据各批次晶圆的预设交货时间、预设下线时间、制造工艺流程计算出各批次晶圆的每一工艺步骤对应的预设时间且将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台存储至一第一数据库中；记录模块，用于记录各批次晶圆的每一工艺步骤所对应的实际时间且将每一工艺步骤及其对应的实际时间存储至一第二数据库中；第一查询模块，用于在第一数据库中查询出各批次晶圆在终止时间时的终止工艺步骤；第二查询模块，用于在第二数据库中查询出各批次晶圆在起始时间时的起始工艺步骤；统计模块，用于在第一数据库中统计所有批次晶圆在起始工艺步骤至终止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标产量；以及输出模块，用于输出统计模块统计所得的各机台的目标产量。
2、 如权利要求l所述的机台目标产量处理系统，其特征在于，该机台包括 清洗机台、光刻机台、刻蚀机台、氧化机台和气相沉积机台。
3、 如权利要求l所述的机台目标产量处理系统，其特征在于，该预设时段 为一天、 一个月或一个季度。
4、 如权利要求l所述的机台目标产量处理系统，其特征在于，各批次晶圆 的第 一 步工艺步骤所对应的预设时间为其预设下线时间，各批次晶圆的最后一 步工艺步骤所对应的预设时间为其预设交货时间。
5、 一种使用权利要求1所述的机台目标产量处理系统进行机台目标产量处 理的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤a、依据各批次晶圓的预设交货 时间、预设下线时间、制造工艺流程计算出各批次晶圓的每一工艺步骤对应的 预设时间且将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台存储至一第一数据库中；b、记录各批次晶圆的每一工艺步骤所对应的实际时间且将每一 工艺步骤及其对应的实际时间存储至一第二数据库中；c、在第一数据库中查询 出各批次晶圆在终止时间时的终止工艺步骤；d、在第二数据库中查询出各批次 晶圆在起始时间时的起始工艺步骤；e、在第一数据库中统计所有批次晶圆在起 始工艺步骤至终止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标 产量；以及f、输出统计模块统计所得的各机台的目标产量。
6、如权利要求1所述的机台目标产量处理方法，其特征在于，该机台包括 清洗机台、光刻机台、刻蚀机台、氧化机台和气相沉积机台。
全文摘要
本发明提供了一种机台目标产量处理系统以及方法，用于处理得出多个机台在由起始时间和终止时间组成的预设时段的目标产量。现有技术所得的目标产量并未与生产线的实际状况相关联从而存在着不准确的问题。本发明先得出各批次晶圆的每一工艺步骤对应的预设时间且将每一工艺步骤及其对应的预设时间以及其所使用的机台予以存储；然后记录各批次晶圆的每一工艺步骤所对应的实际时间且将每一工艺步骤及其对应的实际时间予以存储；然后分别查询出各批次晶圆在起始和终止时间时对应的起始和终止工艺步骤，并统计所有批次晶圆在该起始和终止工艺步骤间所对应的各机台的使用次数以得到各机台的目标产量且予以输出。采用本发明可提高目标产量的精准度和实时性。
文档编号G05B19/418GK101546186SQ20081003510
公开日2009年9月30日 申请日期2008年3月25日 优先权日2008年3月25日
发明者兵 杨, 磊 许 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司