服务器装置和程序的利记博彩app

专利名称：服务器装置和程序的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及 一 种例如具备对被处理基板进行规定的工艺 的多个制造装置、以及连接在该多个制造装置上的服务器装置 的群管理系统、服务器装置等。
背景技术：
在以往的群管理系统中，实现了能够自动且正确地加工从 测量器发送过来的数据的半导体制造装置的群管理系统中的测 量数据加工方法(例如，参照专利文献l)。在本测量数据加工方 法中，由群管理系统的群管理部的测量器通信部接收测量器发 送过来的各种测量数据。本测量数据加工方法预先登记对上述 测量数据进行加工的计算式，在接收到上述测量数据时，将上 述测量数据保存到测量数据接收緩冲器中，并且根据上述测量 数据所具有的制程配方名称，从上述被登记的计算式中选择适 于加工上述测量数据的、至少具有一个相同的制程配方名称的
计算式并保存到计算式保存緩沖器中，将所保存的上述测量数 据应用到上述所选择的计算式中进行计算，将计算结果存储到 已加工数据保存緩冲器中。
另外，在以往的半导体制造装置的群管理系统中，具有显 示由半导体制造装置测量得到的按时间序列的信息(以下记载
为图表(chart))的功能。在该图表中显示了群管理系统所管理的 多个半导体制造装置的信息。并且，在以往的群管理系统中具
有使用图表来进行异常检测、之后进行异常分类的FDC(fault detection and classification:故障才全测和分类方法)之类的功能。 专利文献l:日本特开平11-354395号公报(第一页，第一图等)

发明内容
发明要解决的问题
然而，在以往的半导体制造装置的群管理系统中，在检测 到异常之后进行异常分析时，需要用户事先记住该异常数据， 另外起动输出图表的应用程序来输出图表，用户自己在图表上 查找异常数据。
另外，在某测量信息中识别出异常的情况下，关联着其它 的测量信息的情况也较多，但是，上述关联使得需要依赖于用 户的经验、直觉来查找包含其它测量信息的图表。
用于解决问题的方案
本发明的服务器装置是一种构成群管理系统的服务器装 置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制 造装置以及与该多个制造装置相连接的服务器装置，该群管理 系统具有在检测出异常之后进行异常分析的功能，该服务器装
置具备接受部，其接受包含指示的输入；测量信息保存部， 其能够保存多个测量信息，该测量信息是关于由上述多个制造 装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述制造装 置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息；异常信息保存 部，其能够保存一个以上的、作为表示异常的信息的异常信息 与一个以上的测量信息之间的对应；异常信息输出部，其输出 上述异常信息保存部所保存的 一 个以上的异常信息；图表构成 部，其在上述接受部接受了对于由上述异常信息输出部输出的 一个以上的异常信息中的 一 个以上的异常信息的指示、即异常 信息指示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的一个以上 的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出由上述图表构成部构成的一个以上的图表。


图l是表示实施方式中的群管理系统的概念图。 图2是表示该半导体晶圆制造装置的例子的图。
图3是该群管理系统的框图。
图4是说明该制造装置的动作的流程图。
图5是说明该服务器装置的动作的流程图。
图6是说明该服务器装置的异常检测处理的细节的流程图。
图7是表示该源信息的例子的图。
图8是表示该源信息管理表的图。
图9是表示该测量信息管理表的图。
图IO是表示包含异常的测量值的该测量信息的例子的图。
图ll是表示该异常信息管理表的图。
图12是表示该异常一览表的图。
图13是表示该组图信息管理表的图。
图14是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。
图15是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。
图16是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。
图17是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。
图18是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。
具体实施例方式
下面，参照

服务器装置等的实施方式。此外，在 实施方式中附加了相同附图标记的结构要素进行相同的动作， 因此有时省略再次的说明。
(实施方式)图1是本实施方式中的群管理系统的概念图。群管理系统 例如是对半导体制造装置、液晶面板制造装置等的制造装置进 行控制的系统。另外，群管理系统具有一个以上的制造装置
ll(制造装置ll(l)至制造装置ll(n))、服务器装置12、以及客户 端装置13。
制造装置ll是制造晶圓的装置。制造装置ll例如进行成膜 处理、蚀刻处理、热氧化处理等的对被处理基板进行的各种处 理。制造装置ll例如是复合工艺型的半导体晶圆制造装置。图2 示出了本半导体晶圆制造装置的例子。如图2所示，本半导体晶 圆制造装置构成为具备多个(例如三个)工艺室(process chamber)l、 2、 3，该多个工艺室l、 2、 3对半导体晶圆进行各 种处理、例如成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等；晶舟室 (cassette chamber)4、 5,该晶舟室4、 5收容可容纳多片(例如50 片)晶圓W的晶舟C1、 C2;以及输送室6，其在工艺室l、 2、 3 与晶舟室4、 5之间进行晶圆W的传送。在各室之间通过闸阀G 开关自如地进行连结。在输送室6内设置有可进行伸缩动作以及 转动动作的例如多关节式的输送臂7，利用该输送臂7进行晶圆 W在室之间的输送。晶舟C1、 C2在被取入到晶舟室4、 5内时进 行90度反转，并且进行转动使得该晶舟C1、 C2的晶圆插卸口朝 向输送室6内的中心，从而被设置成可利用输送臂7耳又出和》丈入 晶圆W的姿势。
另外，制造装置11例如保存作为与对晶圆进行的规定工艺 有关的信息的制程配方(通常是工艺条件值的集合)，使用该制 程配方进行控制。
另外，服务器装置12是构成所谓的群管理系统的服务器装 置，保存多个制造装置ll中的各种测量信息，具有对该测量信 息检测异常的功能，并且具有后述的对该测量信息分析异常的功能。
另外，客户端装置13对服务器装置12提出各种请求，接受 服务器装置12中的处理结果。
图3是本实施方式中的群管理系统的框图。群管理系统具 备一个以上的制造装置ll、服务器装置12、客户端装置13。
制造装置11具备输入接受部1101、制程配方保存部1102、 制造装置标识符保存部1103、产品晶圆片数保存部1104、处理 部1105、测量部1106、源信息存储部1107、以及源信息发送部 1108。
服务器装置12具备接受部1201、测量信息保存部1202、异 常信息保存部1203 、组图表信息保存部1204、源信息接收部 1205、测量信息获耳又部1206、异常4佥测部1207、测量信息存Y诸 部1208、异常信息输出部1209、图表构成部1210、关联图表识 别信息获耳又部1211、关联图表构成部1212、以及l^出部1213。
客户端装置13具备指示输入部1301、指示发送部1302、输 出信息^妄受部1303、以及终端输出部1304。
输入接受部1101从制造装置11的用户接受各种输入。各种 输入是指，例如制程配方、识别制程配方的制程配方标识符、 识别制造装置的制造装置标识符、产品晶圆片数、包含仿真晶 圆(dummy wafer)片数的总晶圆片数、晶圆制造的指示(处理的 执行指示)等。产品晶圆片数是指不包含仿真晶圓的片数的晶圆 片数，是作为产品而制造的晶圆的片数。此外，可容纳在制造 装置11中的晶圓的片数例如是50片或30片等，其中，仿真的晶 圆是10片或5片等。另外，不限制可容纳的晶圓之中仿真晶圆的 数量、制造的晶圆的数量。来自用户的各种输入的输入单元可 以是由数字键、键盘、鼠标、菜单画面构成的输入单元等任意 的输入单元。输入接受部1101可通过数字键、4建盘等输入单元的设备驱动器、菜单画面的控制软件等实现。
制程配方保存部1102保存为了控制制造装置ll而使用的制 程配方。制程配方是指，与对被处理基板进行的规定的工艺有 关的信息，通常包含工艺参数的信息的集合。工艺参数的信息 例如包含类别名、项目名、参数名、值。类别名是指，表示工 艺参数的种类的名称，例如"温度""气体流量""晶舟升降机
(boat elevator)的速度"等。项目名是表示工艺参数的属性的名 称，例如"上下速度""转动速度"等。参数名是工艺参数的名 称，例如"C" "A，，等。值是对工艺参数之类的变量赋的值。 通常，成对地保存制程配方与识别制程配方的制程配方标识符 (例如，制程配方名)。制程配方保存部1102最好是非易失性的 记录介质，但是也可以通过易失性的记录介质实现。
制造装置标识符保存部110 3保存识别制造装置11的制造装 置标识符。该制造装置标识符可以是输入接受部1101接受的信 息，也可以是制造装置出厂时预先保存的信息。制造装置标识 符保存部1103可以是硬盘、ROM等非易失性的记录介质，也可 以是RAM等易失性的记录介质。
产品晶圆片数保存部1104保存表示产品晶 圆片数的信息。 在此，表示产品晶圆片数的信息通常是数值(例如40)，但是也 可以是与数值对应的符号等。也就是说，表示产品晶圆片数的 信息与产 品晶 圆片数是同一意思。产 品晶 圓片数保存部1104的 产品晶圆片数例如是输入接受部1101接受的数值。另外，产品 晶圆片数保存部1104的产品晶圆片数例如也可以是利用未图示 的单元自动获取的信息。获取产品晶圆片数的未图示的单元是 指，例如通过图像处理来检测产品晶圆与仿真晶圆的表面的颜 色的差异从而算出产品晶圆的片数的单元。通常，产品晶圆与 仿真晶圆的表面的颜色不同。另外，获取产品晶圆片数的未图示的单元是指，例如通过图像处理读取记载在产品晶圆中的ID 来算出产品晶圆的片数的单元。并不限制除此之外的自动获取
产品晶圆片数的单元。产品晶圆片数保存部1104可以是硬盘、 ROM等非易失性的记录介质，也可以是RAM等易失性的记录介质。
制程配方对晶圆进刊-规定的工艺。处理部1105通常可由MPU、 存储器等实现。处理部1105的处理过程通常通过软件实现，该 软件被记录在ROM等记录介质中。但是，也可以通过硬件(专 用电路)实现。
测量部1106测量制造装置11内的温度、气体流量、压力等， 获取成为图表化的测量信息的源的信息、即源信息。源信息是 测量出的温度等的信息。源信息通常具有表示测量出的时刻的 时刻信息。源信息最好具有对在测量部1106测量出温度等值时 进行了处理的制程配方进行识别的制程配方标识符、测量出的 值、以及表示测量出的时刻的时刻信息。当然，测量部1106也 可以测量多个位置的多个温度、温度与气体流量等的多个值。 也就是说，源信息也可以具有两种以上测量出的值。测量部110 6 可通过 一 个以上的温度传感器、 一 个以上的流量传感器等传感 器等实现。
源信息存储部110 7将测量部110 6获取的源信息存储到未图 示的记录介质中。源信息存储部1107通常可由MPU、存储器等 实现。源信息存储部1107的处理过程通常通过软件实现，该软 件被记录在ROM等记录介质中。但是，也可以通过硬件(专用 电路)实现。另外，上述未图示的记录介质最好是非易失性的记 录介质，但是也可以通过易失性的记录介质实现。
源信息发送部1108将源信息存储部1107所存储的源信息发送到服务器装置12。不限制源信息的发送的触发。另外，源信
息发送部1108发送的源信息具有测量出的 一种以上(例如，温度
和气体流量)的值、时刻信息等。另外，除此之外，源信息发送
部1108发送的源信息最好还具有识别制造装置11的制造装置标 识符、识别制程配方的制程配方标识符。另外，源信息发送部 1108发送的源信息也可以具有产品晶圆片数、总晶圆片数等。 也就是说，源信息存储部1107存储的源信息、和源信息发送部 1108发送的源信息的构造、结构也可以不同。另外，源信息也 可以是对于测量出的多个值具有一个制造装置标识符或/和一 个制程配方标识符的结构。源信息发送部1108可通过无线或有 线的通信单元等实现。此外，源信息发送部1108也可以在将源 信息发送到服务器装置12之前从产品晶圆片数保存部1104读出 晶圆片数并附加到源信息。另外，源信息发送部1108也可以在 将源信息发送到服务器装置12之前从制程配方保存部1102、制 造装置标识符保存部110 3分别读出制程配方标识符、制造装置 标识符并附加到源信息。另外，也可以不由源信息发送部1108 而由源信息存储部1107进行构成要发送的源信息的处理。不限 制测量出的一种以上(例如，温度和气体流量)的值与时刻信息 的组的信息、以及产品晶圆片数、制造装置标识符、制程配方 标识符的发送时机等。
接受部1201接受包含各种指示的输入。各种指示是指，输 出 一个以上的异常信息(通常是异常的 一 览表)的异常 一 览表输 出指示、作为对于 一 个以上的异常信息之中 一 个以上的异常信 息的指示的异常信息指示(输出与异常信息对应的图表的指 示)、在一个以上的图表被输出之后输出与该一皮输出的一个以上 的图表有关的关联图表的指示即关联图表输出指示、服务器装 置12的起动指示等。此外，输出异常信息指示、关联图表输出指示等的图表的指示也可以包含图表的种类(SPC图表、相关图
表、或MD图表等)的信息。另外，输出指示也可以包含进行图 表输出的对象数据的类型(温度、气体流量、压力等测量信息)。 另外，输出指示也可以包含构成图表的点或/和线的属性信息。 属性信息是指，点的颜色、点的种类(形状)、线的颜色、线的 种类等。另外，通常从客户端装置13接收包含上述指示的输入， 但是也可以从被连接在服务器装置12上的4建盘、鼠标等接受包 含上述指示的输入。接受部1201例如由无线或有线的接收单元 构成。指示等的输入单元可以是由数字键、键盘、鼠标、菜单 画面构成的输入单元等任意的输入单元。接受部1201也可以通 过数字键、键盘等输入单元的设备驱动器、菜单画面的控制软 件等实现。
测量信息保存部1202可以保存多个测量信息，该测量信息 是关于由多个制造装置ll测量出的一种以上的信息(例如，温 度、压力)的时间序列的信息，是具有识别制造装置ll的装置标 识符和表示时刻的时刻信息的信息。测量信息最好具有制程配 方标识符、属性信息(产品晶圆片数、总晶圆片数等)。测量信 息可以是测量信息获取部1206对源信息接收部1205所接收到的 多个源信息进行规定的运算而获取到的信息，也可以是与源信 息相同的信息。测量信息保存部12 0 2的测量信息是为了进行异 常检测后的异常分析而使用的测量信息。测量信息保存部1202 最好是非易失性的记录介质，但是也可以通过易失性的记录介 质实现。此外，测量信息保存部1202的测量信息可以是测量信 息存储部1208所存储的信息，也可以是从制造装置ll直接接收 到的信息，也可以是从未图示的记录介质读出的信息。
异常信息保存部1203可以保存作为表示异常的信息的异 常信息与 一个以上的测量信息的 一个以上的对应。异常信息例如包含表示测量出的日期和时间的日期和时间信息、制造装置 标识符、制程配方标识符、异常的测量信息所具有的测量值。 另外，异常信息例如具有表示测量出的日期和时间的日期和时 间信息、制造装置标识符、图表识别信息、图表类型、识别异 常发生的步骤的步骤标识符、有无报警等的信息。除此之外， 异常信息也可以包含表示异常的信息、与异常有关的信息之中 任意的信息。此外，图表识别信息是指，对由包含异常的测量 信息所具有的测量值的多个测量信息构成的图表进行识别的信 息。图表类型是指，表示图表的种类(SPC图表、相关图表、MD
图表等)的信息。异常信息保存部1203最好是非易失性的记录介 质，但是也可以通过易失性的记录介质实现。
组图表信息保存部1204可以保存具有两个以上作为识别 图表的信息的图表识别信息的 一 个以上的组图表信息。图表识 别信息例如是图表名(包含文件夹名的图表的文件名等)。图表 识别信息例如是图表名和图表类型。组图表信息具有有助于异 常分析的多个图表识别信息。该多个图表识别信息是相互关联 的图表的识别信息。组图表信息例如具有作为对制造装置11的 炉内的上部的温度的图表进行识别的信息的图表识别信息、对 同 一 炉内的中央部的温度的图表进行识别的图表识别信息、对 同 一 炉内的下部的温度的图表进行识别的图表识别信息。组图 表信息例如具有对制造装置11的炉内的温度的图表进行识别的 图表识别信息、对同 一 炉内的气体流量的图表进行识别的图表 识别信息。与组图表信息所具有的多个图表识别信息对应的图 表最好都是SPC图表。但是，与组图表信息所具有的多个图表 识别信息对应的图表可以是SPC图表和相关图表、SPC图表和 MD图表。另外，与组图表信息所具有的多个图表识别信息对 应的图表也可以是相关图表和MD图表、都是相关图表、都是MD图表等。也就是说，不限制与组图表信息所具有的多个图 表识别信息对应的图表的种类。与组图表信息所具有的多个图 表识别信息对应的图表只要是有助于分析异常的图表的组合即
可。组图表信息保存部1204最好是非易失性的记录介质，但是 也可以通过易失性的记录介质实现。
源信息接收部1205从多个制造装置ll接收成为多个测量 信息的源的信息、即源信息。源信息接收部1205可通过无线或 有线的通信单元等实现。
测量信息获取部1206对源信息接收部1205所接收到的多 个源信息进行规定的运算，获取多个测量信息。规定的运算是 指，例如按规定的时间间隔算出多个源信息所具有的多个值的 平均值、或者获取最大值、或者获取最小值、或者算出标准偏 差、或者获取中间值的运算。另外，规定的运算是指，例如也 可以是按制程配方内的规定的每个步骤算出多个源信息所具有 的多个值的平均值、或者获取最大值、或者获取最小值、或者 算出标准偏差、或者获取中间值的运算。测量信息获取部1206 例如读出预先保持的运算式，将多个源信息代入该运算式进行 运算，获取多个测量信息。测量信息获取部1206通常可由MPU、 存储器等实现。测量信息获取部12 0 6的处理过程通常通过软件 实现，该软件被记录在ROM等记录介质中。但是，也可以通过 硬件(专用电路)实现。
异常检测部1207对测量信息获取部1206所获取的测量信 息检测异常。异常检测部1207保存测量信息所具有的测量值(温 度、气体流量、压力等)的异常或表示正常的范围的阈值(通常， 是正常的上限值、下限值)，将该阈值与测量信息所具有的测量 值进行比较，对每个测量值判断异常/正常。成为异常检测部 1207检测异常的单位的测量信息是具有同 一制造装置标识符、同 一 制程配方标识符的测量信息，是 一 系列的时刻信息所表示 的时刻连续的多个测量信息，是具有在一系列的工艺中测量出
的测量值的多个测量信息。异常检测部1207通常可由MPU、存
该软件被记录在ROM等记录介质中。但是，也可以通过硬件(专 用电路)实现。
测量信息存储部1208将具有异常纟企测部12074全测出异常 的测量信息的 一 系列的测量信息存储到测量信息保存部1202 中。测量信息存储部1208也可以将测量信息获取部1206所获取 的所有的测量信息存储到测量信息保存部12 0 2中。测量信息存 储部1208通常可由MPU、存储器等实现。测量信息存储部1208 的处理过程通常通过软件实现，该软件,皮记录在R 0 M等记录介 质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)实现。
异常信息输出部1209输出异常信息保存部1203所保存的 一个以上的异常信息。异常信息输出部1209通常将一个以上的 异常信息作为异常一览表进行输出。异常信息输出部1209以表 形式、菜单形式等输出一个以上的异常信息。但是，不限制输 出的方式。在此，输出是指，包含向显示器的显示、向打印机 的打印、向外部装置的发送、向记录介质的存储等的概念。既 可以认为异常信息输出部1209包含显示器、扬声器等输出设备， 也可以认为不包含显示器、扬声器等输出设备。异常信息输出 部1209可通过输出设备的驱动软件、或者输出设备的驱动软件 和输出设备等实现。
图表构成部1210由与对应于异常信息指示的 一 个以上的 异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表。异 常信息指示是接受部1201接受的指示，是对于异常信息输出部 1209所输出的 一 个以上的异常信息(通常称为异常 一 览表)之中一个以上的异常信息(一个以上的异常项目)的指示。此外，异 常信息指示通常是对于异常一览表之中一个异常项目的指示。
在接受部1201接受了异常信息指示的情况下，图表构成部1210 最好构成具有使与对于异常信息指示的异常信息成对的一个以 上的测量信息在视觉上与其它的测量信息不同的形态的图表。 例如，图表构成部1210将与异常信息成对的 一个以上的测量信 息所具有的测量值的图表上的点的颜色设为与其它的测量信息 所具有的测量值的点的颜色不同的颜色。例如，将异常的测量 值的点设为红色，将正常的测量值的点设为黑色，从而构成图 表。此外，也可以将异常的测量值的点的形状设为三角，将正 常的测量值的点的形状设为圆。除此之外，图表构成部1210只 要以使异常的测量值的点在视觉上与正常的测量值的点不同的 形态构成图表即可。在被提供 一 个以上的测量值的情况下构成 SPC图表、相关图表、MD图表的技术是公知技术，因此省略关 于构成图表的方法的详细说明。图表构成部1210通常可由 MPU、存储器等实现。图表构成部1210的处理过程通常通过软 件实现，该软件:故记录在ROM等记录介质中。 <旦是，也可以通 过硬件(专用电路)实现。
在 一 个以上的图表被输出之后接受部1201接受了关联图 表输出指示的情况下，关联图表识别信息获取部1211获取具有 识别该被输出的一个以上的图表的一个以上的图表识别信息中 的所有的图表识别信息或任一个图表识别信息的组图表信息中 的、除了识别该被输出的一个以上的图表的一个以上的图表识 别信息之外的 一个以上的图表识别信息。关联图表识别信息获 取部1211获取与被输出的图表有关的图表的图表识别信息。被 输出的图表是包含异常的测量值的图表，关联的图表是有用于 异常分析的图表。关联图表输出指示是指，输出与被输出的一个以上的图表有关的关联图表的指示。关联图表识别信息获取
部1211通常可由MPU、存储器等实现。关联图表识别信息获取 部1211的处理过程通常通过软件实现，该软件一皮记录在ROM等 记录介质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)实现。
关联图表构成部1212使用关联图表识别信息获取部1211 所获取的 一个以上的图表识别信息，按每个图表识别信息从测 量信息保存部120 2获取 一 个以上的测量信息，构成 一 个以上的 图表。关联图表构成部1212所构成的图表最好是SPC图表，但 是也可以是相关图表、MD图表等图表。通常，关联图表构成 部1212构成图表的算法与图表构成部1210构成图表的算法相 同。关联图表构成部1212通常可由MPU、存储器等实现。关联
在ROM等记录介质中。但是，也可以通过硬件(专用电路)实现。 输出部1213输出图表构成部1210所构成的一个以上的图 表。另外，输出部1213还输出关联图表构成部输出部1213所构 成的一个以上的图表。输出部1213在输出关联图表构成部输出 部1213所构成的一个以上的图表时，图表构成部1210已经构成 图表，在输出部1213进行输出的情况下，最好将关联图表构成 部输出部1213所构成的一个以上的图表与该被输出的图表一起 输出。在此，输出是指，包含向显示器的显示、向打印机的打 印、向外部装置的发送、向记录介质的存储等的概念。既可以 认为输出部1213包含显示器等输出设备，也可以认为不包含显 示器等输出设备。输出部1213可通过输出设备的驱动软件、或 者输出设备的驱动软件和输出设备等实现。
指示输入部1301输入各种指示。各种指示是指，例如起动 的指示、异常一览表输出指示、异常信息指示、关联图表输出 指示等。指示的输入单元可以是由数字键、键盘、鼠标、菜单画面构成的输入单元等任意的输入单元。指示输入部1301可通 过数字键、键盘等输入单元及其设备驱动器、菜单画面的控制 软件等实现。
指示发送部1302将从指示输入部1301输入的指示发送到 服务器装置12。在此的发送通常是指使用通信单元的发送。指 示发送部1302可通过无线或有线的通信单元等实现。
输出信息接受部13 0 3从服务器装置12接受信息。接受的信 息是在服务器装置12中的处理结果，例如，异常一览表、图表 等。在此的接受通常是指使用通信单元的接收。输出信息接受 部1303可通过无线或有线的通信单元等实现。
终端输出部1304将输出信息接受部1303接受的异常 一 览 表、图表等显示在显示器上。既可以认为终端输出部1304包含 显示器，也可以^人为不包含显示器。终端输出部1304可通过显 示器的驱动软件、或者显示器的驱动软件和显示器等实现。
接着，说明群管理系统的动作。首先，使用图4的流程图 说明制造装置ll的动作。
(步骤S401)处理部1105读出制程配方保存部1102的制程配方。
(步骤S 4 0 2)处理部110 5将1代入计数器i 。
(步骤S403)处理部U05判断在步骤S401中读入的制程配方 中是否存在第i个处理步骤。如果存在第i个处理步骤则进入步 骤S404,如果不存在第i个处理步骤则进入步骤S409。
(步骤S 4 0 4)处理部110 5执行第i个步骤的处理。
(步骤S405)测量部1106进行预先决定的 一 种以上的测量 (例如，温度和压力)，获取源信息(在此的源信息通常仅具有一 种以上的值)。
(步骤S406)测量部1106从未图示的时钟获取时刻信息，对测量出的信息附加时刻信息，构成源信息。
(步骤S407)源信息存储部1107将在步骤S406中构成的源信 息暂时存储到未图示的存储器中。
(步骤S408)源信息发送部1108将在步骤S407中暂时存储的 源信息(在此，是一种以上的值和时刻信息的组)发送到服务器 装置12。此外，设源信息发送部1108保持用于与服务器装置12 进行通信的信息(例如，服务器装置12的IP地址等)。
(步骤S409)处理部1105使计数器i递增1,返回到步骤S403。
(步骤S410)源信息发送部1108从产品晶圆片数保存部1104 读出产品晶圆片数。另外，源信息发送部1108也可以获取其它 的属性信息。
(步骤S411)源信息发送部1108从制程配方保存部U02读出 制程配方标识符。该制程配方标识符是在步骤S 4 01中读入的制 程配方的制程配方标识符。
(步骤S412)源信息发送部1108从制造装置标识符保存部 1103读出制造装置标识符。
(步骤S413)源信息发送部U08将在y人步骤S410到步骤S412 中读出的产品晶圆片数、制程配方标识符、以及制造装置标识 符等发送到服务器装置12。此外，设源信息发送部1108保持用 于与服务器装置12进行通信的信息(例如，服务器装置12的IP地 址等)。
此外，在图4的流程图中，也可以将发送的源信息所具有 的一种以上的值与时刻信息的多个组、产品晶圆片数、制程配 方标识符、以及制造装置标识符等一起发送到服务器装置12。 接着，使用图5、图6的流程图说明服务器装置12的动作。 (步骤S501)接受部1201判断是否接受了指示。如果接受了 指示则进入步骤S502,如果没有接受指示则进入步骤S521。(步骤S502)异常信息输出部1209判断在步骤S501中4妻受的 指示是否为异常一览表输出指示。如果是异常一览表输出指示 则进入步骤S503,如果不是异常一览表输出指示则进入步骤 S506。此外，设在接受了异常一览表输出指示的情况下，后述 的异常检测处理结束。
(步骤S503)异常信息输出部1209读出保存在异常信息保存 部1203中的一个以上的异常信息。此外，异常信息输出部1209 除了读出 一 个以上的异常信息之外，还可以读出预先决定为在 输出异常一览表时输出的信息。
(步骤S504)异常信息输出部1209由在步骤S503中读出的一 个以上的异常信息等构成异常一览表。
(步骤S505)异常信息输出部1209输出在步骤S504中构成的 异常一览表。在此，向客户端装置13发送异常一览表。返回到 步骤S501。
(步骤S506)图表构成部1210判断在步骤S501中接受的指示 是否为异常信息指示。如果是异常信息指示则进入步骤S507, 如果不是异常信息指示则进入步骤S511。此外，在此设在接受 了异常信息指示的情况下，异常一览表输出处理结束。
(步骤S507)图表构成部1210获取与异常信息指示对应的一 个以上的异常信息(与在异常一览表之中指示的项目对应的异 常信息)。 一个以上的异常信息是已输出的异常一览表中的异常 信息。
(步骤S508)图表构成部1210获取与在步骤S507中获取的一 个以上的异常信息成对的 一个以上的测量信息。更具体地说， 图表构成部1210从异常信息保存部12 0 3得到在步骤S 5 0 7中获 取的 一 个以上的异常信息与 一 个以上的测量信息的对应的信息 (例如，对测量信息保存部1202的测量信息的指针、图表识别信息等)，使用该对应的信息，从测量信息保存部1202获取一个以 上的信息。
(步骤S509)图表构成部1210由在步骤S508中获取的一个以 上的测量信息构成图表。构成的图表的种类不限于SPC图表、 相关图表、MD图表等。
(步骤S510)输出部1213输出在步骤S509中构成的一个以上 的图表。返回到步骤S501。
(步骤S511)关联图表识别信息获取部121 l判断在步骤S501 中接受的指示是否为关联图表输出指示。如果是关联图表输出 指示则进入步骤S512，如果不是关联图表输出指示则返回到步 骤S501。此外，在此设在接受了关联图表输出指示的情况下， 异常信息指示的处理(图表的输出)结束。
(步骤S512)关联图表识别信息获取部1211将l代入计数器
(步骤S513)关联图表识别信息获取部1211判断被输出的图 表之中是否存在第i个图表。如果存在第i个图表则进入步骤 S514，如果不存在第i个图表则返回到步骤S501。
(步骤S 514)关联图表识别信息获取部1211获取被输出的第 i个图表的图表识别信息。此外，设被输出的图表的图表识别信 息被保存在存储器上。
(步骤S 515)关联图表识别信息获取部1211从组图表信息保 存部1204检索具有在步骤S514中获取的图表识别信息的组图 表信息。
(步骤S516)关联图表识别信息获取部1211判断在从步骤 S513到步骤S520的循环处理中是否已检索到在步骤S515中检 索出的组图表信息。如果还没有检索到则进入步骤S517,如果 已检索到则进入步骤S520。(步骤S517)关联图表识别信息获取部1211从紧接在之前通 过步骤S515检索到的组图表信息所具有的两个以上的图表识 别信息中，除去已输出的图表的图表识别信息，获取一个以上 的图表识别信息。
(步骤S518)关联图表构成部1212使用在步骤S517中关联图 表识别信息获取部1211获取的 一 个以上的图表识別信息，按每 个图表识别信息，从测量信息保存部1202获取一个以上的测量 信息，构成一个以上的图表。
(步骤S519)输出部1213将在步骤S518中构成的一个以上的 图表进行合成输出。在此，合成输出是指，与已输出的图表叠 加而输出 一个以上的图表的情形。根据这种多个关联图表的输 出，能够进行有效且迅速的异常分析。
(步骤S520)关联图表识别信息获取部1211将计数器i递增 1。返回到步骤S513。
(步骤S521)异常检测部1207进行异常检测处理。使用图6 的流程图说明异常检测处理的细节。返回到步骤S501 。
此外，在图5的流程图中，通过电源断开、处理结束的中 断，由此处理结束。
另外，在图5的流程图中，关联图表构成部1212与关联图 表输出指示对应地构成了关联的一个以上的图表，但是也可以 预先构成关联的一个以上的图表，并存储该关联的一个以上的 图表，在接受了关联图表输出指示的情况下，读出该存储的一 个以上的图表并进行输出。
接着，使用图6的流程图说明服务器装置12的步骤S521的 异常检测处理。
(步骤S601)源信息接收部1205判断是否接收到作为 一种以 上的测量值与时刻信息的组的源信息。如果接收到源信息则进入步骤S602，如果没有接收源信息则进入步骤S603。
(步骤S602)源信息接收部1205在緩沖器中追记在步骤S601 中接收到的源信息。返回到图5的流程图的步骤S501 。
(步骤S603)源信息接收部1205判断是否接收到产品晶圆片 数、制造装置标识符等属性信息。如果接收到产品晶圓片数等 则进入步骤S604，如果没有接收产品晶圆片数等则返回到图5 的流程图的步骤S501。
(步骤S604)源信息接收部1205对已4妻收的 一 个以上的测量 值与时刻信息的组附加产品晶圆片数等属性信息。在此，构成 成为测量信息的源的源信息。
(步骤S605)测量信息获取部1206对在步骤S604中构成的源 信息所具有的 一个以上的测量值(温度、压力等)进行规定的运 算，获取一个以上的测量信息。
上的测量信息进行异常检测，获取异常信息。在此，例如，异 常信息具有表示测量出的日期和时间的日期和时间信息、制造 装置标识符、对由包含异常的测量信息所具有的测量值的多个 测量信息构成的图表进行识别的图表识别信息、表示图表的种 类(SPC图表、相关图表、MD图表等)的图表类型、识别异常发 生的步骤的步骤标识符、有无报警等的信息。在异常信息具有 图表的情况下，在异常检测部1207检测到异常之后，图表构成 部1210等对包含检测出异常的测量值的 一 系列的测量信息进行 构成图表的处理，存储该图表。
(步骤S607)异常检测部1207将在步骤S606中获取的异常信 息存储到异常信息保存部1203中。
(步骤S608)测量信息存储部1208将具有由异常检测部1207 检测出异常的测量信息的 一 系列的测量信息存储到测量信息保存部1202中。返回到图5的流程图的步骤S501。
此外，在图6的流程图中，源信息和测量信息也可以是相 同的信息。在这种情况下，在步骤S605中，进行读出源信息的 处理。
另外，在图6的流程图中，如果接收源信息结束则立即进 行异常检测，但是不限制进行异常检测的时机。当然，也可以 根据来自用户(客户端装置13)的指示开始进行异常检测。另夕卜， 在这种情况下，用户也可以对于可能发生异常的制造装置11 、 制程配方输入制造装置标识符、制程配方标识符等。并且，在 这种情况下，异常检测的指示包含该输入的制造装置标识符、 制程配方标识符等。并且，最好对与包含在异常检测的指示中 的制造装置标识符、制程配方标识符等对应的测量信息进行异 常检测。
另外，在图5、图6的流程图中，不限制构成图表的时机。 也可以在存在输出图表的指示的情况下构成图表，也可以预先 构成有可能输出的图表并进行存储。
接着，说明客户端装置13的动作。在客户端装置13的指示 输入部1301从用户接受了各种指示的情况下，指示发送部1302 向服务器装置12发送该各种指示，输出信息接受部1303接受在 服务器装置12中的处理结果，终端输出部1304显示接受的信息。
下面，说明本实施方式中的群管理系统的具体的动作。群 管理系统的概念图是图1。
在本具体例中，当多个制造装置11的输入接受部1101接受 来自用户的晶圆等的制造的开始指示时，处理部1105读出制程 配方保存部1102的制程配方，执行读出的制程配方，进行制造 处理。然后，测量部1106在制造处理过程中，例如^f吏用第一温 度传感器每隔一秒测量预先决定的炉内的上部的温度，使获取的温度与从未图示的时钟获取的时刻信息成对，源信息发送部
1108例如每隔一秒发送到服务器装置12。该发送的源信息的例 子是图7。在此源信息具有温度、时刻信息。此外，时刻信息是 表示时刻的信息，可以是确定到时、分、秒的信息，也可以是 日期和时间、以及只有时间的信息。另夕卜，同样地，测量部1106 在制造处理过程中，使用第二温度传感器每隔一秒测量预先决 定的炉内的中央部的温度，使获取的温度与从未图示的时钟获 耳又的时刻信息成对，源信息发送部110 8例如每隔 一 秒发送到服 务器装置12。并且，同样地，测量部1106在制造处理过程中， 使用第三温度传感器每隔一秒测量预先决定的炉内的下部的温 度，使获取的温度与从未图示的时钟获取的时刻信息成对，源 信息发送部1108例如每隔一秒发送到服务器装置12。
另外，在制程配方的所有步骤执行结束的阶段，设制造装 置ll的源信息发送部1108读出制造装置标识符保存部1103的制 造装置标识符、制程配方保存部110 2的制程配方标识符(在制造 晶圆时执行的制程配方的标识符)、以及产品晶圆片数保存部 1104的产品晶圆片凄l, 另夕卜，获耳又其它的属'l"生4"f息(忍晶 圆片数 等)，发送到服务器装置12。
接着，服务器装置12的源信息接收部1205每隔一秒依次接 收炉内的上部的温度与时刻信息的组的信息、炉内的中央部的 温度与时刻信息的组的信息、炉内的下部的温度与时刻信息的 组的信息、炉内的气体流量与时刻信息的组的信息、炉内的压 力与时刻信息的组的信息等并进行暂时存储。并且，接收制造 装置标识符、制程配方标识符、以及产品晶圆片数等。并且， 源信息接收部1205将具有炉内的上部的温度与时刻信息的多个 组、制程配方标识符、以及制造装置标识符等的源信息暂时记 录到存储器中。图8示出上述源信息的例子。图8是源信息管理表。源信息管理表具有"制造装置标识符，，"制程配方标识符" "测量值""时刻信息"。"测量值"是炉内的上部、中央部、下 部的各温度、炉内的压力、气体流量等。在图8中，是多个值(在 此是一种)和时刻信息对应于一个制造装置标识符、制程配方标 识符的数据结构。另外，在图8中，管理对于多个制造装置11(E1、
E2等)、以及多个制程配方(R5、 R3等)的执行的源信息。
接着，测量信息获取部1206按同一制造装置标识符、制程 配方标识符、以及同一种(例如，炉内的上部的温度)的一系列 的测量值获取多个源信息，对该多个源信息进行规定的运算， 获取多个测量信息。在此，设规定的运算是平均值的算出，测 量信息获取部1206每隔一个小时算出平均值。并且，设测量信 息获取部1206从图8的源信息管理表得到图9所示的测量信息管 理表。
接着，异常检测部1207对图9所示的测量信息管理表的一 个以上的测量信息进行异常检测，获取异常信息。在此，设异 常检测部1207保存可应用于炉内的上部、中央部、下部中的任 一个的用于判断正常/异常的阈值的条件"3O0^温度^4OO"。也 就是说，设在正常时炉内的温度需要都在300度与400度之间。
在这种情况下，异常检测部1207读出保存的阈值的条件 "30(^温度^400"。接着，异常检测部1207读出图9的测量值的 平均值，获取温度的测量值的平均值之中不满足"300$温度 $400"的信息(记录)。然后，异常检测部1207在用制造装置标 识符"E1"、制程配方标识符"R5"识别的工艺中检测炉内的 上部的温度脱离以上述条件表示的正常范围。
然后，异常检测部1207接着根据图9的测量值的平均值还 检测其它的异常值。然后，异常检测部1207将包含检测出的所 有测量值的测量信息存储到测量信息保存部1202中。此外，被存储在该测量信息保存部1 2 0 2中的测量信息是包含异常的测量
值的测量信息、与该测量信息连续的测量信息。图10示出这种
测量信息。
常的测量信息构成图表。图表通常是使用 一个变量的SPC图表。 并且，在此，图表构成部1210自动生成对构成的图表附加的文 件名(例如，将变量"？"的值从l开始依次递增，生成"SPC " 的文件名)，在预先决定的文件夹(例如，"VERR")的文件(例如， "SPC1")中写入构成的图表。当然，在写入上述图表之前生 成并打开文件。
接着，异常检测部1207由检测出的异常的测量值(也可以使 用存储在测量信息保存部12 02中的测量信息)构成异常信息，并 将该异常信息存储到异常信息保存部1203中。异常检测部1207 检测所有的异常的测量值，构成与该异常的测量值对应的异常 信息，存储到异常信息保存部1203中。图ll是管理上述异常信 息的异常信息管理表。异常信息管理表具有"时刻信息""装置 标识符，，"制程配方标识符""图表名""图表类型"。设"时刻 信息，，是表示测量出异常值的时刻的信息，"装置标识符"是测 量出异常值的装置的标识符，"制程配方标识符"是在测量出异 常值时执行的制程配方的标识符，"图表名"在此是
"\ERR\SPC ","图表类型，，在此是表示SPC图表的"SPC"。 在图10中，"\ERR\SPC1" "\ERR\SPC2"表示在文件夹"\ERR" 中构成并存储"SPC1" "SPC2"的文件名的图表。
在这种状况下，设用户从客户端装置13输入"异常一览表 输出指示"。并且，指示输入部1301接受"异常一览表输出指示"， 指示发送部1302将该指示发送到服务器装置12。
接着，服务器装置12的接受部1201接收"异常一览表输出指示"。然后，异常信息输出部1209从异常信息保存部1203读入 图ll的异常信息。
接着，异常信息输出部1209由异常信息构成异常一览表。 然后，异常信息输出部1209将异常一览表发送到客户端装置13, 客户端装置13的输出信息接受部13 0 3接收异常 一 览表。然后， 终端输出部1304如图12所示那样输出异常 一 览表。
另外，在本具体例中，设组图表信息保存部1204保存图表 13所示的组图表信息管理表。与组图表信息管理表的各ID对应 的记录具有两个以上的关联图表的图表识别信息。在图13所示 的组图表信息管理表中，保持一个以上具有"ID""组图表信 息"的记录。在此，"ID"是识别记录的信息，为了管理表中 的记录而存在。"组图表信息，，在此由"制程配方标识符""测 量值""图表类型"构成。"制程配方标识符"是识别制程配方 的信息。"测量值"是确定测量出的数据的数据类型以及测量位 置的信息。"图表类型"是表示输出的图表的种类的信息。该组 图表信息是集中了制造现场中的异常分析的知识的信息。
在这种状况下，设用户在从图12的画面中在第二个异常信 息的项目被聚焦的情况下，按下"图表输出"按钮。于是，客 户端装置13的指示输入部1301接受与第二个异常信息的项目对 应的异常信息指示。该异常信息指示具有时刻信息"2005/12/02 16:00:00"、制造装置标识符"E1"、制程配方标识符"R5"、图 表名"\ERR\SPC1"。然后，指示发送部1302将异常信息指示发 送到服务器装置12。
接着，接受部1201接收该异常信息指示。然后，图表构成 部1210读入与图表名"\ERR\SPC1"对应的图表，使用时刻信 息"2005/12/02 16:00:00"构成聚焦在与该时刻对应的点上的图 表。然后，输出部1213输出图表。然后，客户端装置13的输出
信息接受部13 0 3接收图表，终端输出部13 0 4如图14所示那样显 示图表。此外，在此，设图表构成部1210已构成并存储与图表 名"\ERR\SPC1"对应的图表。在图13中，由于从300度到400 度的范围是正常范围，因此输出的图表上的测量值是异常值。 并且，设异常值的点用"x"显示。
接着，设用户从客户端装置13的图14的画面按下按钮"关 联图表输出"。
接着，客户端装置13的指示输入部1301接受关联图表输出 指示，指示发送部1302将关联图表输出指示发送到服务器装置 12。
接着，服务器装置12的接受部1201接收关联图表输出指 示。然后，关联图表识别信息获取部1211获取被输出的图表的 图表识别信息。设在此的被输出的图表的图表识別信息具有制 造装置标识符"E1"、制程配方标识符"R5"、图表名 "\ERR\SPC1"、测量值"炉内的上部的温度"。
接着，关联图表识别信息获取部1211以所获取的图表识别 信息为关键字，检索组图表信息保存部1204的组图表信息管理 表。在此，由于组图表信息管理表的"ID=1"的记录匹配，因 此关联图表识别信息获取部1211获取制程配方标识符"R 5 "、 测量值"炉内的中央部的温度"、图表类型"SPC"、以及制程 配方标识符"R5"、测量值"炉内的下部的温度"、图表类型"SPC" 的两个图表识别信息。
接着，关联图表构成部1212从图9的测量信息管理表获取 与制程配方标识符"R5"、测量值"炉内的中央部的温度"、图 表类型"SPC"之类的图表识别信息对应的测量信息。并且， 关联图表构成部1212由获取的多个测量信息构成SPC图表。然后，输出部1213将构成的图表叠加输出。
另外，关联图表构成部1212从图9的测量信息管理表获取 作为构成下一个图表的测量信息的、与制程配方标识符"R5"、 测量值"炉内的下部的温度"、图表类型"SPC，，之类的图表识 别信息对应的测量信息。并且，关—联图,表构成部1212由获取的 多个测量信息构成SPC图表。然后，输出部1213将构成的图表 叠加输出。
接着，客户端装置13的输出信息接受部13 0 3接收输出部 1213输出的图表。然后，终端输出部1304得到图15所示的三个 SPC图表。三个SPC图表是炉内的上部的温度的SPC图表、炉内 的中央部的温度的SPC图表、炉内的下部的温度的SPC图表。在 图15的炉内的上部的温度的SPC图表中，检测出异常的意思， 另外，获知炉内的中央部、下部的温度虽然都在正常范围，但 是非常低。并且，可确信地判断为需要提高温度。
以上，根据本实施方式能够容易且有效地进行异常分析。 具体地说，只要检测异常、从异常一览表选择异常项目就能够 立即输出图表。因而，在异常检测之后能够容易且有效地进行 异常分析。
另外，根据本实施方式，在输出包含异常的测量值的图表 的状态下，也能够非常简单地观察其它关联的图表，能够非常 容易且有效地进行异常分析。另外，事先登记关联的图表并利 用，从而能够广泛地利用异常分析的知识。
此外，在本实施方式的具体例中，主要通过SPC图表(例如 参照图15、图16)说明了图表，但是根据异常的分析对象适合使 用相关图表(参照图17)、 MD图表(参照图18)。另夕卜，图13的组 图表信息管理表的"ID=2、 4"的记录表示作为与SPC图表有关 的图表不仅可以是SPC图表，也可以是相关图表、MD图表。另外，图13的组图表信息管理表的"ID=3"的记录表示作为与相 关图表有关的图表可以是相关图表、MD图表。
另外，在本实施方式中，在图12的异常一览表的画面中， 在按下"关联图表输出，，按钮的情况下，服务器装置12也可以 输出图15的三个图老、。上述处理能够构成与被、聚焦的异常的项 目对应的图表、与该图表有关的两个图表并进行输出。如果省 略上述"i兌明中的用户交互则可实现上述处理。在这种情况下， 本服务器装置为以下结构。也就是说，本服务器装置是构成群 管理系统的服务器装置，该群管理系统具备对被处理基板进行 规定的工艺的多个制造装置以及与该多个制造装置相连接的服
务器装置具备如下部分接受部，其接受包含各种指示的输入； 测量信息保存部，其能够保存多个测量信息，该测量信息是关 于由上述多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具 有识别上述制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信 息；异常信息保存部，其能够保存作为表示异常的异常信息与 一个以上的测量信息的一个以上的对应；异常信息输出部，其 输出上述异常信息保存部保存的 一个以上的异常信息；组图表 信息保存部，其能够保存一个以上的组图表信息，该组图表信 息具有两个以上的作为识别图表的信息的图表识别信息；关联 图表识别信息获取部，其在上述接受部接受了对于上述异常信 息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息 的指示、即异常信息指示的情况下，获取包含对与一个以上的 测量信息对应的图表进行识别的 一 个以上的图表识别信息中的 任一个的关联图表识别信息，其中，上述一个以上的测量信息 与对应于上述异常信息指示的 一 个以上的异常信息成对；关联 图表构成部，其使用上述关联图表识别信息获取部获取的关联图表识别信息，按该关联图表识别信息所具有的 一个以上的图 表识别信息中的每个图表识别信息，从上述测量信息保存部获
取一个以上的测量信息，构成一个以上的图表；以及输出部，
其输出上述关联图表构成部构成的一个以上的图表。 也可以通过软件下载等分发该软件。另外，也可以将该软件记
录到CD-ROM等记录介质中来传播。此外，实现本实施方式中 的服务器装置的软件是如下程序。也就是说，该程序是在构成 群管理系统的服务器装置中执行的程序，该群管理系统具备对 被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置、以及连接在该多 个制造装置上的服务器装置，该群管理系统具有在异常检测之 后进行异常分析的功能，保存多个测量信息，该测量信息是关 于由多个制造装置测量出的信息按时间序列的信息，是具有识 别上述制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息， 并且保存作为表示异常的信息的异常信息与 一 个以上的测量信 息的一个以上的对应，上述程序用于使计算机执行以下步骤 接受步骤，接受包含各种指示的输入；异常信息输出步骤，输 出上述保存的一个以上的异常信息；图表构成步骤，在上述接 受步骤中接受了对于在上述异常信息输出步骤中输出的 一个以 上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指 示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的 一个以上的异常 信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输 出步骤，输出在上述图表构成步骤中构成的一个以上的图表。
另外，在上述程序中，还使计算机执行关联图表识别信息 获取步骤和关联图表构成步骤，在上述输出步骤中最好还输出 在上述关联图表构成步骤中构成的一个以上的图表，其中，在 上述关联图表识别信息获取步骤中，在上述一个以上的图表被输出之后，在上述接受步骤中接受了输出与该被输出的一个以 上的图表有关的关联图表的指示、即关联图表输出指示的情况 下，获取具有识别该被输出的 一个以上的图表的 一个以上的图 表识别信息中的所有的图表识别信息或 一 个图表识别信息的组 图表信息中的、除了识別该被输出的 一 个以上的图表的 一 个以 上的图表识别信息之外的 一 个以上的图表识别信息，在上述关 联图表构成步骤中，使用在上述关联图表识别信息获取步骤中 获取的一个以上的图表识別信息，按每个图表识别信息获取一
个以上的测量信息，构成一个以上的图表。
另外，在上述程序中，在上述图表构成步骤中，最好构成 具有使与对于上述异常信息指示的异常信息成对的一个以上的 测量信息在视觉上与其它的测量信息不同的形态的图表。
另外，在上述程序中，在上述图表构成步骤或/和关联图表 构成步骤中，最好构成作为标绘有上述一个以上的测量信息的 图表的SPC图表。
另外，在上述程序中，上述一个以上的测量信息是具有两 种测量值的测量信息，在上述图表构成步骤或/和关联图表构成 步骤中，最好构成作为表示该两种测量值的相关的图表的相关 图表。
另外，在上述程序中，上述一个以上的测量信息是具有三 种以上的测量值的测量信息，在上迷图表构成步骤或/和关联图 表构成步骤中，最好构成作为表示该三种以上的测量值的相关
的图表的MD图表。
另外，在上述各实施方式中，各处理(各功能)可以通过利 用单一的装置(系统)进行集中处理来实现，或者也可以通过利 用多个装置进行分散处理来实现。
此外，在上述程序中，在发送信息的步骤、接收信息的步骤等中，不包含利用硬件进行的处理、例如发送步骤中的通过 调制解调器、接口卡等进行的处理(只能通过硬件进行的处理)。
另外，执行上述程序的计算机可以是单个，也可以是多个。 即，可以进4亍集中处理，或者也可以进4亍分散处理。
另外，在上述各实施方式中，存在于一个装置中的两个以 上的通信单元(源信息接收部等)在物理上当然也可以通过一个 介质实现。
本发明不限于以上的实施方式，可进行各种变更，它们当 然也包含在本发明的范围内。
另外，包含2006年5月9日所申请的日本国专利申请号 2006-129728的详纟田的说明、附图、权利要求书的公开通过参照 其整体而包含在本公开中。
产业上的可利用性
如上所述，本发明所涉及的群管理系统具有能够容易且有 效地进行异常分析的效果，作为群管理系统等而应用，上述群 管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置、 以及连接在该多个制造装置上的服务器装置，并具有在异常检 测之后进行异常分析的功能。
权利要求
1. 一种服务器装置，构成群管理系统，该群管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置以及与该多个制造装置相连接的服务器装置，该群管理系统具有在检测出异常之后进行异常分析的功能，该服务器装置具备接受部，其接受包含指示的输入；测量信息保存部，其能够保存多个测量信息，该测量信息是关于由上述多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息；异常信息保存部，其能够保存一个以上的、作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息之间的对应；异常信息输出部，其输出上述异常信息保存部所保存的一个以上的异常信息；图表构成部，其在上述接受部接受了对于由上述异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出由上述图表构成部构成的一个以上的图表。
2. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于， 还具备组图表信息保存部，其能够保存一 个以上的组图表信息， 该组图表信息具有两个以上的作为识别图表的信息的图表识别 信息；关联图表识别信息获取部，其在上述 一 个以上的图表被输 出之后，在上述接受部接受了输出与该被输出的一个以上的图 表有关的关联图表的指示、即关联图表输出指示的情况下，从上述组图表信息保存部获取具有识别该被输出的一个以上的图 表的一个以上的图表识别信息中的所有的图表识别信息、或者 一个图表识别信息的组图表信息之中除了识别该被输出的一个 以上的图表的一个以上的图表识别信息之外的一个以上的图表识别信息；以及关联图表构成部，其使用上述关联图表识别信息获取部所 获取的一个以上的图表识别信息，按每个图表识别信息，从上 述测量信息保存部获取一个以上的测量信息，构成一个以上的 图表，其中，上述输出部还输出上述关联图表构成部所构成的一 个以上的图表。
3. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，异常信息成对的 一 个以上的测量信息在视觉上与其它的测量信 息不同的形态的图表。
4. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，上述图表构成部构成作为标绘有上述一 个以上的测量信息 的图表的SPC图表。
5. 根据权利要求2所述的服务器装置，其特征在于， 上述关联图表构成部构成作为标绘有上述一个以上的测量信息的图表的SPC图表。
6. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，上述一 个以上的测量信息是具有两种测量值的测量信息， 上述图表构成部构成作为表示该两种测量值的相关的图表 的相关图表。
7. 根据权利要求2所述的服务器装置，其特征在于，上述一 个以上的测量信息是具有两种测量值的测量信息，上述关联图表构成部构成作为表示该两种测量值的相关的 图表的相关图表。
8. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，上述一个以上的测量信息是具有三种以上的测量值的测量 信息，上述图表构成部构成作为表示该三种以上的测量值的相关 的图表的MD图表。
9. 根据权利要求2所述的服务器装置，其特征在于，上述一 个以上的测量信息是具有三种以上的测量值的测量"息，上述关联图表构成部构成作为表示该三种以上的测量值的 相关的图表的MD图表。
10. —种程序，在构成群管理系统的服务器装置中执行， 保存多个测量信息，并且保存一个以上的、作为表示异常的信 息的异常信息与一个以上的测量信息的对应，其中，上述群管 理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置以及 与该多个制造装置相连接的服务器装置，上述群管理系统具有 在异常检测之后进行异常分析的功能，该测量信息是由关于多 个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述 制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息，该程序 使计算机执行如下步骤接受步骤，接受包含指示的输入；异常信息输出步骤，输出上述保存的 一 个以上的异常信息； 图表构成步骤，在上述接受步骤中接受了对于在上述异常 信息输出步骤中输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异 常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于上述异 常信息指示的 一个以上的异常信息成对的 一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出步骤，输出在上述图表构成步骤中构成的一个以上的 图表。
11. 根据权利要求10所述的程序，其特征在于， 使计算机还执行以下步骤关联图表识别信息获取步骤，在上述一个以上的图表被输 出之后，在上述接受步骤中接受了输出与该被输出的一个以上 的图表有关的关联图表的指示、即关联图表输出指示的情况下， 获取具有识别该被输出的 一 个以上的图表的 一 个以上的图表识 别信息中的所有的图表识别信息、或者一个图表识别信息的组 图表信息之中除了识别该一皮输出的一个以上的图表的一个以上 的图表识别信息之外的 一个以上的图表识别信息；以及关联图表构成步骤，使用在上述关联图表识别信息获取步 骤中获取的 一 个以上的图表识別信息，按每个图表识別信息获 取一个以上的测量信息，构成一个以上的图表，其中，在上述输出步骤中还输出通过上述关联图表构成步 骤构成的 一 个以上的图表。
12. 根据权利要求10所述的程序，其特征在于， 在上述图表构成步骤中，构成具有使与对应于上述异常信息指示的异常信息成对的 一个以上的测量信息在视觉上与其它 的测量信息不同的形态的图表。
全文摘要
在以往的服务器装置中存在无法容易且有效地进行异常分析的问题。通过如下的服务器装置能够容易且有效地进行异常分析，该服务器装置保存多个测量信息，该测量信息是关于由多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息，保存作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息的一个以上的对应，具备异常信息输出部，其输出一个以上的异常信息；图表构成部，其在接受了对于异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出图表构成部构成的一个以上的图表。
文档编号G05B23/02GK101443715SQ20078001675
公开日2009年5月27日 申请日期2007年4月24日 优先权日2006年5月9日
发明者小山典昭, 猪川匠 申请人:东京毅力科创株式会社