溅射靶盘透磁率检测装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种溅射靶盘透磁率检测装置。所述溅射靶盘透磁率检测装置检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接，所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器及检测结果分析控制器，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接。本实用新型的溅射靶盘透磁率检测装置采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度。
【专利说明】
溅射靶盘透磁率检测装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及溅射靶盘测试技术领域，特别涉及一种溅射靶盘透磁率检测装置。
【背景技术】
[0002]目前测量溅射靶盘透磁率是采用在圆形靶盘下方固定一块标准的U型磁铁，将靶盘固定在距离磁铁NS极面上方一定距离位置上，通过霍尔传感器测试靶盘上方透过的磁场数据对靶盘进行检测；通常采用人工检测纪录的方法进行，通过手动控制圆形靶盘逐点通过标准磁铁上方进行检验和纪录，存在检测效率低、劳动强度大及标定缺陷位置不准确的实际问题。检验一个靶盘耗时长，给靶盘的生产带来了极大的人力成本消耗，生产效率难以提高。现有检测数据获取过程中，一般为人眼观察检测数据状况，无法对检测结果进行分析，无法直观了解检测结果。另外，现有检测为一个靶盘检测一次，不能多个靶盘一次检测，检测效率低【实用新型内容】
[0003]为了解决现有溅射靶盘透磁率检测耗时耗力，检测结果为检测数据而无检测结果分析、检测效率低的技术问题，本实用新型提供一种省时省力，检测结果具有检测结果分析、检测效率高的溅射靶盘透磁率检测装置。
[0004]本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接;所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘;所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽;所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接;所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接;所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接;所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器、检测结果分析控制器及控制面板，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接，所述探头控制器、所述检测结果控制器、所述移动控制器、所述游标卡尺控制器、所述检测结果分析控制器均与所述控制面板连接。
[0005]在本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘包括支撑轴及定位块，所述支撑轴设于旋转主盘表面，相邻所述支撑轴之间的夹角为120度，所述支撑轴设有卡槽，所述定位块设于所述支撑轴的所述卡槽。
[0006]在本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘与所述旋转辅助盘为无轴同心盘结构。
[0007]在本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述定位块上设有斜齿。
[0008]在本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置的一种较佳实施例中，所述旋转主盘数量为多个，多个所述旋转主盘均设于所述旋转辅盘，所述霍尔探头可移动位置与多个所述旋转主盘连接。
[0009]相对于现有技术，本实用新型的溅射靶盘透磁率检测装置具有如下的有益效果:
[0010]采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度，省时省力，且通过所述检测结果分析控制器的设置，能对检测结果具有检测结果分析、检测效率高。采用将旋转主盘与旋转辅盘整体固定，再通过所述移动控制器控制所述步进电机，带动所述旋转主盘移动，再通过所述探头控制器控制所述霍尔探头，完成对溅射靶盘透磁率的检测，在实现高精度测量的同时，提高自动化程度，有效降低人工劳动强度；采用多个所述旋转主盘的设置，可一次对多个靶盘进行检测，更进一步提高了工作效率。
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中:
[0012]图1是本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置一较佳实施例的结构示意图；
[0013]图2是图1所示的溅射靶盘透磁率检测装置的控制器一较佳实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0015]请一并参阅图1及图2，其中图1是本实用新型提供的溅射靶盘透磁率检测装置一较佳实施例的结构示意图，图2是图1所示的溅射靶盘透磁率检测装置的控制器一较佳实施例的结构示意图。
[0016]所述溅射靶盘透磁率检测装置包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接；
[0017]所述检测盘装置包括旋转主盘1、旋转辅助盘2、移动步进蜗杆平台4、蜗杆5、步进电机10及水平磁条移动手轮13，所述旋转辅助盘2设于所述旋转主盘I。所述旋转主盘I与所述旋转辅助盘2为无轴同心盘结构。所述旋转主盘包括支撑轴及定位块，所述支撑轴设于旋转主盘表面，相邻所述支撑轴之间的夹角为120度，所述支撑轴设有卡槽，所述定位块设于所述支撑轴的所述卡槽，所述定位块上设有斜齿。所述旋转辅盘2包括设于其中的限位轴承17、助力平面轴承16、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽。所述蜗杆5及所述步进电机10均设于所述移动步进蜗杆平台4，所述蜗杆5—端与所述步进电机10连接，所述蜗杆5另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮13与所述平移磁条连接。
[0018]所述检测装置包括磁钢15、霍尔探头3及探头支架座11，所述磁钢15设于所述旋转辅助盘2，所述霍尔探头3设于所述旋转主盘I相对上方，并与所述探头支架座11连接。
[0019]所述检测结果获取装置包括水平数字显示表7及游标卡尺6，所述霍尔探头3与所述水平数字显示表7连接，所述游标卡尺6与所述旋转主盘I连接。
[0020]所述控制器8包括探头控制器81、检测结果控制器82、移动控制器83、游标卡尺控制器84、检测结果分析控制器85及控制面板86。所述霍尔探头3与所述探头控制器81连接，所述水平数字显示表7与所述检测结果控制器82连接、所述步进电机10与所述移动控制器83连接，所述游标卡尺6与游标卡尺控制器84连接，所述检测结果分析控制器85与所述检测结果控制器82连接，所述探头控制器81、所述检测结果控制器82、所述移动控制器83、所述游标卡尺控制器84、所述检测结果分析控制器85均与所述控制面板86连接。
[0021]作为本实施例的进一步改进，所述旋转主盘I数量为多个，多个所述旋转主盘I均设于所述旋转辅盘2，所述霍尔探头3可移动位置与多个所述旋转主盘I连接。
[0022]本实用新型的溅射靶盘透磁率检测装置I具有如下的有益效果:
[0023]采用自动化控制装置，在实现高精度测量的同时提高了测试效率，有效降低人工劳动强度，省时省力，且通过所述检测结果分析控制器的设置，能对检测结果具有检测结果分析、检测效率高。采用将旋转主盘I与旋转辅盘2整体固定，再通过所述移动控制器83控制所述步进电机10，带动所述旋转主盘I移动，再通过所述探头控制器81控制所述霍尔探头3，完成对溅射靶盘14透磁率的检测，在实现高精度测量的同时，提高自动化程度，有效降低人工劳动强度;采用多个所述旋转主盘I的设置，可一次对多个靶盘进行检测，更进一步提高了工作效率。
[0024]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，包括检测盘装置、检测装置、检测结果获取装置及控制器，所述检测装置设于所述检测盘装置，所述检测结构获取装置与所述检测装置连接，所述控制器分别与所述检测盘装置、所述检测装置及所述检测结果获取装置连接;所述检测盘装置包括旋转主盘、旋转辅助盘、移动步进蜗杆平台、蜗杆、步进电机及水平磁条移动手轮，所述旋转辅助盘设于所述旋转主盘;所述旋转辅盘包括设于其中的限位轴承、助力平面轴承、平移磁条及凹槽，所述凹槽设于所述旋转辅盘中间，所述检测装置设于所述凹槽;所述蜗杆及所述步进电机均设于所述移动步进蜗杆平台，所述蜗杆一端与所述步进电机连接，所述蜗杆另一端与所述平移磁条连接，所述水平磁条移动手轮与所述平移磁条连接;所述检测装置包括磁钢、霍尔探头及探头支架座，所述磁钢设于所述旋转辅助盘，所述霍尔探头设于所述旋转主盘相对上方，并与所述探头支架座连接;所述检测结果获取装置包括水平数字显示表及游标卡尺，所述霍尔探头与所述水平数字显示表连接，所述游标卡尺与所述旋转主盘连接;所述控制器包括探头控制器、检测结果控制器、移动控制器、游标卡尺控制器、检测结果分析控制器及控制面板，所述霍尔探头与所述探头控制器连接，所述水平数字显示表与所述检测结果控制器连接、所述步进电机与所述移动控制器连接，所述游标卡尺与游标卡尺控制器连接，所述检测结果分析控制器与所述检测结果控制器连接，所述探头控制器、所述检测结果控制器、所述移动控制器、所述游标卡尺控制器、所述检测结果分析控制器均与所述控制面板连接。2.根据权利要求1所述的溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，所述旋转主盘包括支撑轴及定位块，所述支撑轴设于旋转主盘表面，相邻所述支撑轴之间的夹角为120度，所述支撑轴设有卡槽，所述定位块设于所述支撑轴的所述卡槽。3.根据权利要求1所述的溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，所述旋转主盘与所述旋转辅助盘为无轴同心盘结构。4.根据权利要求2所述的溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，所述定位块上设有斜齿O5.根据权利要求1所述的溅射靶盘透磁率检测装置，其特征在于，所述旋转主盘数量为多个，多个所述旋转主盘均设于所述旋转辅盘，所述霍尔探头可移动位置与多个所述旋转主盘连接。
【文档编号】G01R33/07GK205484749SQ201620226176
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】朱逸豪
【申请人】朱逸豪