一种一体式陶瓷电容压力传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于压力传感器技术领域，具体涉及一种一体式陶瓷电容压力传感器。
【背景技术】
[0002]目前陶瓷电容式压力传感器都是在厚薄两片陶瓷基板的各相对面设置电极，并采用陶瓷小球、树脂小球或低温共烧(LTCC)陶瓷生片作为间隔物控制电极间的距离，来形成指定初始电容值的电容器。当陶瓷基板受到外部压力，薄基板会出现变形，导致电容值变化，根据这一电容的变化值，即可检测出基板所承受的外部压力。这种陶瓷电容式压力传感器的两片陶瓷基板是通过封接材料(如玻璃类)烧结粘结在一起的，从外观看是两片陶瓷基板组合在一起。如图1所示，两片陶瓷基板即弹性薄基板I和厚基板3，弹性薄基板I和厚基板3之间为封接材料2，外部有引线4。这类封接材料的强度远低于陶瓷基板的强度，因此对产品的密封性和粘结强度造成很大影响。
【发明内容】
[0003]本实用新型为克服上述缺陷，确保陶瓷基板间的密封性和粘结强度，提高产品的可靠性，提供一种一体式陶瓷电容压力传感器。
[0004]本实用新型的技术解决方案是:一种一体式陶瓷电容压力传感器，包括弹性薄基板、厚基板，弹性薄基板上设有薄基板金属电极和薄基板电极焊盘，厚基板上设有厚基板金属电极、环形金属电极、环形金属电极焊盘、厚基板电极焊盘、薄基板引线焊盘，厚基板电极焊盘、环形金属电极焊盘和薄基板引线焊盘上均设有引线过孔，其特征在于:还包括设置在弹性薄基板与厚基板之间的间隙隔离片；间隙隔离片设有3个与引线过孔对应的引线和焊盘过孔；弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片均由流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板、间隙隔离片和厚基板经热压和热等静压压合后再经烧结成型为一体式压力传感器基体。
[0005]本实用新型一体式陶瓷电容压力传感器的技术解决方案中所述的弹性薄基板为圆形，厚度为0.3-0.8mm，薄基板金属电极和薄基板电极焊盘的厚度为0.5~1 μπι ;厚基板为圆形，厚度为3~8mm，厚基板金属电极和环形金属电极的厚度为0.5~1 μπι ;间隙隔离片为圆环形，厚度为20~60μπι。
[0006]本实用新型一体式陶瓷电容压力传感器的技术解决方案中所述的引线过孔和引线和焊盘过孔内设有引线和导电胶。
[0007]本实用新型由于采用经流延成型的弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片，间隙隔离片厚度在20 μπι~60μπι，在烧结过程中，弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片压合在一起形成整体结构式压力传感器基体，能精确控制弹性薄基板和厚基板间的距离，从而获得高精度的初始电容值，又保证了基板间良好的密封性和强度，提高了压力传感器的可靠性。本实用新型主要用于陶瓷电容式压力传感器。
【附图说明】
[0008]图1为普通压力传感器外观图。
[0009]图2为本实用新型压力传感器外观图。
[0010]图3为本实用新型压力传感器弹性薄基板图。
[0011]图4为本实用新型压力传感器厚基板图。
[0012]图5为本实用新型压力传感器陶瓷间隙隔离片图。
[0013]图6为本实用新型压力传感器烧结前剖面图。
[0014]图7为本实用新型压力传感器烧结后剖面图。
[0015]图中1-弹性薄基板、2-封接材料、3-厚基板、4-引线、5-—体式压力传感器基体、6-薄基板电极焊盘、7-薄基板金属电极、8-薄基板定位缺口、9-厚基板定位缺口、10-厚基板金属电极、11-环形金属电极、12-厚基板电极焊盘、13-环形金属电极焊盘、14-薄基板引线焊盘、15-引线过孔、16-间隙隔离片定位缺口、17-间隙隔离片、18-引线和焊盘过孔、19-挥发性填充物。
【具体实施方式】
[0016]如图3所示，弹性薄基板I为圆形，厚度为0.3-0.8_。该弹性薄基板I为流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片，其上通过丝网印刷或真空溅射方式制作薄基板金属电极7和薄基板电极焊盘6，其厚度为0.5~1μπι。弹性薄基板I边缘设有薄基板定位缺口 8。薄基板金属电极7与圆形弹性薄基板I同心。当压力传感器受到外部压力时，该弹性薄基板会沿板的厚度方向产生弹性弯曲。
[0017]如图4所不，厚基板3为圆形，厚度为3~8mm。该厚基板3上同样用丝网印刷或真空溅射方式制作厚基板金属电极10和围绕厚基板金属电极10的环形金属电极11，厚基板金属电极10和环形金属电极11同心且与厚基板3同心，厚基板金属电极10连接厚基板电极焊盘12，环形金属电极11连接环形金属电极焊盘13。厚基板电极焊盘12、环形金属电极焊盘13和薄基板引线焊盘14上均设有引线过孔15，用来插入引线连接外部线路。厚基板3边缘设有厚基板定位缺口 9。
[0018]如图5所示，间隙隔离片17为环形，厚度为20~60μπι，具体由压力传感器的规格决定。间隙隔离片17边缘设有间隙隔离片定位缺口 16。间隙隔离片17上设有3个引线和焊盘过孔18，分别与3个引线过孔15对应。间隙隔离片17与厚基板3、弹性薄基板I同心。以间隙隔离片定位缺口 16对位放置在厚基板3、弹性薄基板I之间后，间隙隔离片17环绕在环形金属电极11周围。
[0019]压力传感器烧结前的剖面图如图6所示。将环形间隙隔离片17夹在弹性薄基板I和厚基板3之间，其中间产生的空隙及引线过孔15用挥发性填充物19填满，挥发性填充物19可为碳浆、树脂类，用薄基板定位缺口 8、厚基板定位缺口 9和间隙隔离片定位缺口 16进行精确定位后叠在一起，其中弹性薄基板I和厚基板3的电极相对放置，然后进行热压和热等静压。
[0020]压力传感器烧结后剖面图如图7所示。弹性薄基板1、厚基板3和间隙隔离片17已烧结为一体，挥发性填充物19已被烧掉，在其内部形成密闭空腔。薄基板金属电极7与厚基板金属电极10、环形金属电极11平行相对，中间由环形间隙隔离片17间隔成规定的间隙，从而形成电容。当受到轴向压力时，弹性薄基板I弯曲变形，电容值发生变化，通过检测容量的变化可知压力的大小。
[0021]在引线过孔15中插入引线，用导电胶固化后形成电气连接，即可制作成外观如图2所示的压力传感器。通过引线可连接外部检测仪器进行检测。
[0022]本实用新型一体式陶瓷电容压力传感器的制造方法包括以下步骤:
[0023]⑴流延:先将3000-5000份氧化铝粉或氧化锆粉、1500-3000份甲苯、750-1500份无水乙醇、10-20份二甲基硅油、10-30份三油酸甘油酯和12000-20000份Φ 3-1Omm锆球在球磨罐内混合后磨5?10hr，再加入1200-1600份粘合剂磨10?24hr，出料后进行流延，生瓷片流延的厚度20?60 μ m，生瓷片裁切成长160mm，宽160mm的单张；
[0024]⑵叠压:用流延的生瓷片单张分别按照弹性薄基板1、厚基板3、间隙隔离片17的需求厚度进行叠膜，然后使用热压机分别将叠好弹性薄基板1、厚基板3、间隙隔离片17压合在一起；间隙隔离片17也可使用单张流延片；
[0025]⑶模切:将压合后厚基板3、弹性薄基板生坯按照产品尺寸进行模切，同时冲薄基板定位缺口 8、厚基板定位缺口 9，厚基板3加冲引线过孔15 ;将间隙隔尚片17冲成要求的圆环，同时也冲间隙隔离片定位缺口 16和与引线过孔15对应的引线和焊盘过孔18，定位缺口是用来将厚基板3、弹性薄基板1、间隙隔离片17精确对位叠片的；
[0026](4)印刷:使用丝网印刷机，在弹性薄基板I和厚基板3上分别印刷薄基板金属电极7、薄基板电极焊盘6、厚基板金属电极10、环形金属电极11、厚基板电极焊盘12、环形金属电极焊盘13和薄基板引线焊盘14，印刷厚度5?10 μ m，烘干温度为60?80°C，烘干时间为10?15min ;间隙隔离片17与弹性薄基板1、厚基板3组合在一起时，中间会产生空隙，在厚基板3上对应的这些空隙位置采取丝网印刷的方式用碳浆填满；
[0027](6)预压合:使用带销钉的定位模具，分别按位置和方向将弹性薄基板1，间隙隔离片17、厚基板3叠在一起；使用热压机，温度设定60?80°C，压力设定2.5?lOMpa，时间设定10?20min，将厚基板3、弹性薄基板1、间隙隔离片17预压合在一起，然后使用碳浆将引线过孔15完全塞住；
[0028]⑶压合:使用热等静压机，温度设定60?80°C，压力设定25?60Mpa，时间设定30?60min，将厚基板3、弹性薄基板1、间隙隔离片17完全压合在一起形成整体式基体；
[0029](9)排胶:利用循环热风干燥箱，将产品装入排胶钵，温度升至300?450°C，保温48?96H，将陶瓷内的树脂、有机溶剂、添加剂、碳浆等排出；
[0030](IQ)烧成:利用高温烧成炉，将产品装入承烧钵，温度升至1300?1500°C，保温2?4H，将产品烧结成一个没有接缝的整体；
[0031](11)制作外接引线:使用点胶机将银胶点入引线过孔15，然后将导电性能良好的导针插入引线过孔15，放入烘炉进行固化。
【主权项】
1.一种一体式陶瓷电容压力传感器，包括弹性薄基板(1)、厚基板(3)，弹性薄基板(I)上设有薄基板金属电极(7 )和薄基板电极焊盘(6 )，厚基板(3 )上设有厚基板金属电极(10)、环形金属电极(11)、环形金属电极焊盘(13)、厚基板电极焊盘(12)、薄基板引线焊盘(14)，厚基板电极焊盘(12)、环形金属电极焊盘(13)和薄基板引线焊盘(14)上均设有引线过孔(15)，其特征在于:还包括设置在弹性薄基板(I)与厚基板(3)之间的间隙隔离片(17);间隙隔离片(17)设有3个与引线过孔(15)对应的引线和焊盘过孔(18);弹性薄基板(I)、厚基板(3)和间隙隔离片(17)均由流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板(I)、间隙隔离片(17)和厚基板(3)经热压和热等静压压合后再经烧结成型为一体式压力传感器基体(5 )。2.根据权利要求1所述的一种一体式陶瓷电容压力传感器，其特征在于:所述的弹性薄基板(I)为圆形，厚度为0.3-0.8mm，薄基板金属电极(7)和薄基板电极焊盘(6)的厚度为0.5~1 μπι ;厚基板(3)为圆形，厚度为3~8mm，厚基板金属电极(10)和环形金属电极(11)的厚度为0.5~1 μπι ;间隙隔离片(17)为圆环形，厚度为20~60 μπι。3.根据权利要求1或2所述的一种一体式陶瓷电容压力传感器，其特征在于:所述的引线过孔(15)和引线和焊盘过孔(18)内设有引线和导电胶。
【专利摘要】本实用新型的名称为一种一体式陶瓷电容压力传感器。属于压力传感器技术领域。它主要是解决现有陶瓷电容式压力传感器厚片和薄片间密封性和粘结强度较低，造成可靠性不够的问题。它的主要特征是：包括弹性薄基板、厚基板、以及其之间的间隙隔离片；弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片均为流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板、间隙隔离片和厚基板经烧结后成为一个整体。本实用新型具有确保陶瓷基板间的强度和密封性，提高产品可靠性的特点，主要用于陶瓷电容式压力传感器。
【IPC分类】G01L9/12, G01L1/14
【公开号】CN204831646
【申请号】CN201520562508
【发明人】赵兴奎, 周宇波
【申请人】湖北美标中芯电子科技有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年7月30日