一种自动去边机视觉寻参装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于自动去边机领域，尤其是涉及一种自动去边机视觉寻参装置。
【背景技术】
[0002]重掺产品硅抛光片需要经过氧化膜边缘去除(简称去边)加工来满足客户的规格要求。其目的是去除在单面背封工艺过程中可能造成的倒角面、硅片正面的Si02的残留，避免成为外延生长过程中的成核中心，在边缘形成多晶、非晶(无定形态硅)，影响外延片质量。
[0003]现有技术中的自动去边机是利用特定尺寸的吸盘保护除边缘外的氧化膜，使用氢氟酸腐蚀掉未保护区域的氧化膜，以达到去除边缘氧化膜的目的。目前设备分为A线和B线两条独立的加工流水线，但寻参机构只有一个，为设备的瓶颈。同时在寻参过程中存在以下缺点:
[0004]1、寻参全过程，硅片需旋转约720°。
[0005]2、为了实现足够的寻参精度，硅片的旋转速度无法加快。
[0006]3、硅片经过两次顺时针旋转，一次逆时针旋转，旋转驱动电机的齿间隙将会影响寻参精度。
[0007]在娃抛光片去边生广制造的难点是如何保证去边精度(边缘随机两点的去边宽度差的绝对值)低于0.3_，为了达到这一目的就需要对硅片的边缘及参考面进行精确的定位，同时保证吸盘与定位后的硅片精确的吸附，最终才能保证去边精度。因此，研发一个保证高精度去边的自动去边机视觉寻参装置是一个亟待解决的问题。
【发明内容】
[0008]有鉴于此，本实用新型旨在提出一种自动去边机视觉寻参装置，以实现高精度去边的生产要求。
[0009]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0010]—种自动去边机视觉寻参装置，包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在所述工作台上设有所述定心台，在所述工作台旁设有所述支架，在所述定心台上设有吸盘，在所述吸盘的四周设有定位柱，实现对硅片中心的定位，在所述定心台的上方依次设有光源和摄像机，所述镜头与摄像机的接口相连，光源在摄像机的下方，照射硅片的表面，所述光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，通过此结构，光源和摄像机的位置可以达到最大自由度的调整，所述摄像机通过图像采集卡与计算机相连，所述计算机与显示器相连。摄像机将被摄取目标通过图像采集卡传送到计算机，计算机根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号；图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。
[0011]进一步的，所述吸盘为可升降吸盘。
[0012]进一步的，在所述吸盘的四周均匀分布有三个定位柱。
[0013]进一步的，所述摄像机及镜头均密封在罩子里，防止水汽腐蚀摄像机、镜头。
[0014]进一步的，所述图像采集卡的型号为施耐德Super Augulon XL58/5.6。
[0015]进一步的，所述计算机为研华61L。
[0016]相对于现有技术，本实用新型所述的自动去边机视觉寻参装置具有以下优势:本视觉寻参装置能够在短时间内对硅片参考面进行扫描，硅片无需旋转360°进行边缘扫描；视觉定位后，硅片只需向一个方向旋转某一角度后即可完成寻参过程；自动去边机产能比原寻参机构提高21%，去边精度从±0.3mm提高至±0.2mm，本视觉寻参装置同时可以应用于国产去边机和倒角机的硅片寻参机构中。
【附图说明】
[0017]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0018]图1是本实用新型的结构示意图；
[0019]图2是本实用新型的控制系统原理框图。
[0020]附图标记说明:
[0021 ] 1-工作台，2-定心台，3-光源，4-罩子，5-支架，6_定位柱，7_硅片。
【具体实施方式】
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0024]如图1和2所示，一种自动去边机视觉寻参装置，包括工作台1、定心台2、光源3、摄像机、镜头和支架5，在所述工作台I上设有所述定心台2，在所述工作台I旁设有所述支架5，在所述定心台2上设有可升降吸盘，在所述吸盘的四周均匀分布有三个定位柱6，实现对硅片7中心的定位，在所述定心台2的上方依次设有所述光源3和摄像机，所述镜头与摄像机的接口相连，所述摄像机及镜头均密封在罩子4里，防止水汽腐蚀摄像机、镜头，光源3在摄像机的下方，照射硅片7的表面，所述光源3和摄像机均固定在工作台I旁的支架5上，通过此结构，光源3和摄像机的位置可以达到最大自由度的调整，所述摄像机通过图像采集卡与计算机相连，所述计算机与显示器相连，所述图像采集卡的型号为施耐德SuperAugulon XL58/5.6，所述计算机为研华610L。
[0025]本实例的工作过程:首先将硅片7放入吸盘中，定位柱6对硅片7中心的定位，光源照射硅片7的表面，摄像机和镜头对硅片7进行图像采集，摄像机将被摄取目标通过图像采集卡传送到计算机，计算机根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号；图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。
[0026]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在所述工作台上设有所述定心台，在所述工作台旁设有所述支架，在所述定心台上设有吸盘，在所述吸盘的四周设有定位柱，在所述定心台的上方依次设有所述光源和摄像机，所述镜头与摄像机的接口相连，所述光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，所述摄像机通过图像采集卡与计算机相连，所述计算机与显示器相连。2.根据权利要求1所述的一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:所述摄像机及镜头均密封在罩子里。3.根据权利要求1或2所述的一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:所述吸盘为可升降吸盘。4.根据权利要求3所述的一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:在所述吸盘的四周均匀分布有三个定位柱。5.根据权利要求4所述的一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:所述图像采集卡的型号为施耐德Super Augulon XL58/5.6。6.根据权利要求5所述的一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于:所述计算机为研华610L。
【专利摘要】本实用新型提供一种自动去边机视觉寻参装置，包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在工作台上设有定心台，在工作台旁设有支架，在定心台上设有吸盘，在吸盘的四周设有定位柱，在定心台的上方依次设有光源和摄像机，镜头与摄像机的接口相连，光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，摄像机通过图像采集卡与计算机相连，计算机与显示器相连。本视觉寻参装置能够在短时间内对硅片参考面进行扫描，硅片无需旋转360°进行边缘扫描；视觉定位后，硅片只需向一个方向旋转某一角度后即可完成寻参过程；自动去边机产能比原寻参机构提高21％，去边精度从±0.3mm提高至±0.2mm。
【IPC分类】G01N21/84
【公开号】CN204758491
【申请号】CN201520461123
【发明人】靳立辉, 王国瑞, 李宇佳, 张学强, 郑全午, 高树良
【申请人】天津中环半导体股份有限公司
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年6月30日