度和散射参数值(Stotal、Stjpen和SshOTt)进行去嵌计算，得到所述待测器件DUT本身的测试结果。
[0069]具体的，首先，提供一去嵌入的测试结构20，所述去嵌入的测试结构20包括四个相互独立的测试子结构，分别是整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru。所述整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru均设置有依次排列的三对测试焊垫，分别是与地(Ground)连接的第一对接地焊垫、与信号(Signal)连接的第一对信号焊垫和与地(Ground)连接的第二对接地焊垫,所述第一对接地焊垫、第一对信号焊垫和第二对接地焊垫均与导线连接。
[0070]在所述整体结构Total中，两条第一导线(20a和20a’)和两条第二导线(20c和20c’)分别连接第一对接地焊垫和第一对信号焊垫。在所述短路结构Short中，两条第五导线(20b和20b’)分别连接第一对接地焊垫(G13和G14)。在所述穿透结构Thru中，两条第七导线(20d和20d’ )分别连接第一对信号焊垫(G21和G22)。
[0071]接着,通过外部的测试设备分别对所述整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru进行测试,得到所述整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru的散射参数值St()tal、Sopen> Sshort和Sthra。
[0072]之后，分别测量所述整体结构Total、短路结构Short和穿透结构Thru中各条导线的长度，包括:测量所述整体结构Total中的第一对接地焊垫所连接的第一导线(20a或20a’)的长度A ;测量所述整体结构Total中的第一对信号焊垫所连接的第二导线(20c或20c’)的长度C ;测量所述短路结构Short中的第一对接地焊垫所连接的第五导线(20b或20b’ )的长度B ;测量所述穿透结构Thru中的第一对信号焊垫所连接的第七导线(20d或20d’)的长度D。
[0073]然后，根据测得的导线长度和散射参数值(\_1、3。_、3^和3_通行去嵌计算，得到所述待测器件DUT本身的测试结果。
[0074]去嵌计算的具体过程包括以下步骤:
[0075]步骤一:分别将所述所述整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru的散射参数值(Stotal、Sopen, Sshort和Sthra)转化为所述整体结构Total、开路结构Open、短路结构Short和穿透结构Thru的导纳参数值(Yt()tal、Yopen> Yshort和Ythru),即^total Ytotal，^open Yopen，^short Yshort，^thru —Ythru，其中“一”表示参数转换；
[0076]步骤二:将所述整体结构Total的导纳参数值(Ytrtal)减去所述开路结构Open的导纳参数值(Υ_η)，得到所述整体结构Total利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Ytopen)^即Υ_η=Υ_ι — Ytjpm，之后将所述整体结构Total利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Yttjpm)转化为所述整体结构Total利用所述开路结构Open去嵌后的阻抗参数值(Z_),即 Y_n — Ztopen ；
[0077]将所述穿透结构Thru的导纳参数值(Ytthra)减去所述开路结构Open的导纳参数值(Υ_η)，得到所述穿透结构Thru利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Ytmpm)，即Ytmpm=Ythru - Y_n，之后根据所述穿透结构Thru利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Ytimpen)计算将所述穿透结构Thru利用所述短路结构Short去嵌后的阻抗参数值
(Ztushort ) ?
[0078]步骤三:根据测得的导线长度和所述穿透结构Thru利用所述短路结构Short去嵌后的阻抗参数值(Ztushort)计算短路仿真结构Dummy Short的阻抗参数值(Zsht)；
[0079]步骤四:将所述整体结构Total利用所述开路结构Open去嵌后的阻抗参数值(Ztopen)减去所述短路仿真结构Dummy Short的阻抗参数值(Zsht)，得到所述待测器件DUT的阻抗参数值(Zdut),即 Zdut=Zttjpen - Zsht。
[0080]其中，步骤二中得到的所述穿透结构Thru利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Ytimpen)同样包含第一分量Ytimpen.11、第二分量Ytimpen.12、第三分量Ytimpen.21和第四分量 Ytimpen.22。
[0081]根据所述穿透结构Thru利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Yt_m)计算得到的所述穿透结构Thru利用所述短路结构Short去嵌后的阻抗参数值(Ztustort)的4个分量分别是第一分量ZtushOTt.11、第二分量ZtushOTt.12、第三分量ZtushOTt.21和第四分量
Ztushort.22， 所述第一分量
^tushort* 11、 第二分量 Ztushort.12、第三分量
Ztushort.21和第四分量
Ztushort.22的计算公式分别为:
[0082]Ztushort.11=0.5X (-l/Ytuopen.12)；
[0083]Ztushort.12=0
[0084]Ztushort.21=0
_] Ztushort.22=0.5X (_1/Yt卿en.21)；
[0086]其中，Ytuopen.12和Yt_en.21为所述穿透结构Thru利用所述开路结构Open去嵌后的导纳参数值(Yt_m)的第二分量和第三分量。
[0087]步骤三所述的短路仿真结构Dummy Short的阻抗参数值(Zsht)的4个分量分别是第一分量Zsht.11、第二分量Zsht.12、第三分量Zsht.21和第四分量Zsht.22,所述第一分量Zsht.11、第二分量Zsht.12、第三分量Zsht.21和第四分量Zsht.22的计算公式分别为:
[0088]Zsht.1l=Ztushort.1lX (C^-D) + Ztushort.12X (A + B);
[0089]Zsht.12=Ztushort.12 X (A + B);
[0090]Zsht.21=Ztushort.21X (A + B);
[0091]Zsht.22=Ztushort.22X (C + D) + Ztushort.12X (A + B)；
[0092]其中，A为所述整体结构Total中与第一对接地焊垫(G1或G2)连接的第一导线(20a或20a’)的长度，C为所述整体结构Total中与第一对信号焊垫(G3或G4)连接的第二导线(20b或20b’)的长度，B为所述短路结构Short中与第一对接地焊垫(G13或G14)连接的第五导线(20c或20c’)的长度，D为所述穿透结构Thru短中与第一对信号焊垫(G15或G16)所连接的第七导线(20d或20d’ )的长度。
[0093]所述短路仿真结构Dummy Short与短路结构Short的唯一区别在于:与第一对接地焊垫连接的导线长度缩短了，缩短的长度L等于C与A的差值。请参考图4，其为本发明实施例的短路仿真结构的结构示意图。如图4所示,在所述短路仿真结构Dummy Short中，与第一对接地焊垫连接的导线长度E与整体结构Total中与第一对接地焊垫连接的导线长度A相等。
[0094]一般而言，长度C等于长度D。当长度C等于长度D时，Zsht.ll、Zsht.12、Zsht.21和Zsht.22的计算公式可以分别表示为:
[0095]Zsht.1l=Ztushort.11 + Ztushort.12X (A + B)；
[0096]Zsht.12=Ztushort.12 X (A + B);
[0097]Zsht.21=Ztushort.21X (A + B);
[0098]Zsht.22=Ztushort.22 + Ztushor