探针头的利记博彩app

本发明是有关于一种探针头，特别是有关于一种垂直式探针卡的探针头。

背景技术：

请参阅图6所示现有的垂直式探针卡4，主要包含有电路板40、设于电路板40的下表面的空间转换器41以及设于空间转换器41的探针头42，其中探针头42具有上导板420、下导板421、设于上导板421与下导板422之间的定位片423以及多个穿设于上导板421、下导板422与定位片423的探针420。在组装时，可先将定位片423支撑至相对于下导板422有一预定的高度后，再使各探针420穿过定位片423及下导板422。最后，于定位片423上覆盖上导板421以维持各探针420的直立状态，再通过凸出于上导板421的各探针420与空间转换器41的下表面接点电性连接。另外，空间转换器41的上表面接点又与电路板40电性连接，且空间转换器41的上表面上两相邻接点的间距(Pitch)会大于其下表面上两相邻接点的间距。因此，探针卡4能通过各探针420凸出于下导板422的针尖部位点触晶圆的晶粒(待测元件)接点，以执行测试工程。若定位片423于探针头42中并未被固定，则在探针420接触待测元件时，定位片423会随探针420作上下位移。相反地，若定位片423于探针头42中被固定，则在探针420接触待测元件时，探针420的位置会被定位片423限制，使得探针420位置不佳，可能导致探针420与待测元件接点或空间转换器41的接点的电性接触不佳，或者导致探针420的损坏。

再者，实际应用上，测试探针经过长时间的使用后难免需进行更换等维修工程，故在维修上述现有垂直式探针卡4的探针头42的探针420时，须先将上导板421取下后，才将欲更换的探针420抽取出。然而，由于定位片423为可挠性材料，若无适当支撑使其固定，则会发生变形，且面积越大其变形下垂的现象将更加明显。不仅如此，在更换其中一探针420时，若此探针420勾到定位片423而鼓起，将会造成其他探针420同时脱离定位片423，使得探针420失去固定，并造成后续组装作业必须重新进行，如此增加了探针420维修的困难度以及更多的人工时间成本，更甚者使翻起的探针420损毁而增加成本支出。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种可解决上述固定探针的定位片容易发生变形下垂、更换探针时容易钩到定位片而导致其他探针脱离定位片的情况发生等问题的探针头。

为了达到上述目的，依据本发明的一实施方式，本发明提供了一种探针头，其中，探针头包含：

一第一导位板；

一第二导位板，第二导位板与第一导位板叠置，其中一容置空间形成于第一导位板与第二导位板之间；

一间隔件，间隔件设置于第二导位板，并且间隔件位于容置空间中；

一定位组件，定位组件支撑于间隔件上，并能移动地限位于间隔件与第一导位板之间；定位组件包含：

一支撑框，支撑框包含至少一肋部；以及

一辅助膜，辅助膜固定至支撑框；以及

多个探针，多个探针均穿设第一导位板、第二导位板与辅助膜，其中，探针至少形成第一探针区及第二探针区，第一探针区及第二探针区之间形成非探针区，肋部位于非探针区，且肋部的宽度大于第一探针区中两相邻探针的距离的两倍。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的辅助膜黏固至支撑框。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的辅助膜面向第一导位板，并且支撑框面向间隔件。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的支撑框面向第一导位板，并且辅助膜面向间隔件。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的支撑框还包含一框体，肋部连接于框体的内缘，并且辅助膜黏固至框体。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的探针头还包含一中介板，第一导位板与第二导位板分别固定至中介板的相对两侧。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的第一导位板具有一通孔，探针头还包含一固定件，固定件用以通过通孔能拆卸地将定位组件固定至间隔件。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的定位组件具有一穿孔，间隔件具有一螺孔，且固定件为一螺丝，螺丝具有一头部以及一螺纹部，螺纹部用以穿过穿孔并锁固至螺孔，且头部用以压抵定位组件至间隔件。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的固定件为一磁性元件，间隔件包含一导磁材料，并且当磁性元件受到与间隔件相吸的磁力作用时，磁性元件压抵定位组件至间隔件。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的支撑框的材料为金属、陶瓷以及工程塑胶中的一种或多种的组合。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的辅助膜的一侧边的长度大于10毫米。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的第一探针区及第二探针区沿着一方向排列，第一探针区及第二探针区在所述方向上各具有一第一长度，非探针区在所述方向上具有一第二长度，第二长度大于第一长度。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的支撑框的硬度大于辅助膜的硬度，致使辅助膜受支撑框支撑。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的间隔件与第一导位板之间的距离大于定位组件的厚度。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的肋部未有探针穿设或接触。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的第一探针区对应第一待测组件的范围，非探针区对应第二待测组件及切割道的范围。

为了达到上述目的，依据本发明的另一实施方式，本发明提供了一种探针头，其中，探针头包含：

一第一导位板；

一第二导位板，第二导位板与第一导位板叠置，其中一容置空间形成于第一导位板与第二导位板之间；

一间隔件，间隔件设置于第二导位板，并且间隔件位于容置空间中；

一定位组件，定位组件支撑于间隔件上，并能移动地限位于间隔件与第一导位板之间，定位组件包含：

一支撑框，支撑框包含至少一肋部；以及

一辅助膜，辅助膜固定至支撑框；以及

多个探针，多个探针均穿设第一导位板、第二导位板与辅助膜，其中探针至少形成一第一探针区及一第二探针区，第一探针区及第二探针区之间形成一非探针区，肋部位于非探针区，且沿着由所述第一探针区到所述第二探针区的方向，非探针区的长度大于第一探针区的长度。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的肋部未有探针穿设或接触。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的第一探针区至少穿设五排及五列探针。

于本发明的一或多个实施方式中，上述的第一探针区对应第一待测组件的范围，非探针区的范围大于或等于第二待测组件及切割道的范围。

根据上述结构配置，本发明的探针头包含可在第一导位板与第二导位板之间浮动的定位组件，其中定位组件的辅助膜可对穿设的探针进行定位，而定位组件的支撑框可用来支撑或限位辅助膜，进而避免辅助膜在正常使用时明显下垂，或避免在更换探针时发生翻膜问题(即，在更换某一探针时因勾到辅助膜而造成其他探针脱离辅助膜)而失去固定。具体来说，支撑框是通过延伸于相邻两探针区之间的区域的肋部来支撑或限位辅助膜。通过支撑框的肋部延伸至探针区之间的区域，即可避免辅助膜在探针区周遭的部分(特别是探针区之间的部分)的变形量过大，进而可避免上述下垂与翻膜问题。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中：

图1为绘示本发明一实施方式的探针头的俯视图。

图2为绘示图1中的探针头沿着线段2-2＇的剖面示意图。

图3为绘示本发明另一实施方式的探针头的剖面示意图。

图4为绘示本发明另一实施方式的探针头的剖面示意图。

图5为绘示本发明另一实施方式的探针头的剖面示意图。

图6为绘示现有技术中的垂直式探针卡的示意图。

附图标号说明：

1、2、3 探针头

10、20 第一导位板

100、200 通孔

11 第二导位板

12、32 间隔件

120 螺孔

13、33 定位组件

130、330 支撑框

130a、330a 框体

130b、330b 肋部

131、331 辅助膜

132 穿孔

14 探针

15 螺丝

150 头部

151 螺纹部

26 中介板

35 磁性元件

A 方向

L1 第一长度

L2 第二长度

W 宽度

Z1 探针区

Z2 非探针区

具体实施方式

为使本发明所运用的技术内容、发明目的及其达成的功效有更完整且清楚的揭示，以下将以附图揭露本发明的多个实施方式，为明确说明，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图，一些现有惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。

请参照图1以及图2。图1为绘示本发明一实施方式的探针头的俯视图。图2为绘示图1中的探针头沿着线段2-2＇的剖面示意图。如图所示，于本实施方式中，探针头1包含第一导位板10、第二导位板11、间隔件12、定位组件13以及多个探针14。以下将详细介绍各元件的结构、功能以及各元件之间的连接关系。

第二导位板11与第一导位板10叠置。一容置空间形成于第一导位板10与第二导位板11之间。间隔件12设置于第二导位板11，并位于容置空间中。于一实施方式中，第一导位板10与第二导位板11可以螺丝锁固的方式相互固定，但本发明并不以此为限。

定位组件13支撑于间隔件12上，并可移动地限位于间隔件12与第一导位板10之间。换句话说，间隔件12与第一导位板10之间的距离大于定位组件13的厚度。定位组件13包含支撑框130以及辅助膜131。支撑框130包含至少一肋部130b。辅助膜131固定至支撑框130，且辅助膜131由不具导电性的绝缘物质所制成。

探针14穿设第一导位板10、第二导位板11与辅助膜131上所开设的针孔，并形成多个探针区Z1。探针14为具良好导电性的金属材质所制成。于实际应用中，每一探针区Z1可用以点测晶圆电路上的至少一待测元件(Device Under Test,DUT)，待测元件即是指晶粒。其中图1所例示的探针区Z1穿设的探针14的数量为5排及5列共25根，但本发明不以此为限。

于本实施方式中，辅助膜131面向第一导位板10，并且支撑框130面向间隔件12。于本实施方式中，辅助膜131黏固至支撑框130。特别来说，支撑框130还包含框体130a，肋部130b连接于框体130a的内缘，而辅助膜131同时黏固至支撑框130的框体130a与肋部130b。特别来说，多个探针区Z1中的至少两个相邻的探针区Z1之间形成非探针区Z2，肋部130b位于非探针区Z2，而非探针区Z2或肋部130b均未有探针14穿设。借此，支撑框130可用来支撑或限位辅助膜131，进而避免辅助膜131在探针区Z1周遭的部分(特别是辅助膜131对应于非探针区Z2的部分)的变形量过大，进而可避免上述下垂与翻膜问题(即，在更换某一探针14时因勾到辅助膜131而造成辅助膜131上升，使得其他探针14脱离辅助膜131)。具体来说，通过支撑框130支撑或限位辅助膜131，可避免辅助膜131在正常使用时明显下垂，或避免在更换探针14时发生翻膜问题而失去固定。

于一实施方式中，辅助膜131的一侧边的长度大于10毫米。对于侧边的长度大于10毫米的辅助膜131来说，由于其面积较大，在探针头1正常使用时或更换探针14时往往变形量会过大。通过支撑框130用来支撑或限位辅助膜131，即可有效地抑制辅助膜131的变形量过大的问题。

于本实施方式中，第一导位板10具有通孔100。探针头1还包含固定件。固定件用以通过第一导位板10的通孔100可拆卸地将定位组件13固定至间隔件12。具体来说，于本实施方式中，间隔件12具有螺孔120，且固定件为螺丝15，用以锁固至间隔件12的螺孔120，进而将定位组件13固定至间隔件12。在组装探针头1时，可先通过螺丝15与螺孔120间的锁固结构将定位组件13锁固于第二导位板11上后，再将各探针14分别穿过第二导位板11与辅助膜131上所开设的针孔，以维持探针14的针立状态。接着，将探针14准确对位于该第一导位板10上的针孔以盖上第一导位板10，之后再将螺丝15取出，即可使定位组件13于横向、纵向上具有微量的浮动自由度，因此完成探针头1的组装。由此可知，本实施方式的探针头1中的各探针14在接触所有待测元件时，辅助膜131可随探针14作上下位移。因此，相较于现有固定式定位片，探针14的位置并不会被本实施方式的辅助膜131所限制，使得探针14可维持在较佳的位置，进而可有效避免探针14与待测元件接点或空间转换器(图未示)的接点的电性接触不佳，或者探针14损坏的问题发生。

相对地，当部分的探针14需进行更换时，可先将螺丝15穿过第一导位板10的通孔100以及定位组件13的穿孔132，并与间隔件12的螺孔120相互锁设，因而可将定位组件13固定于第二导位板11上。接着，将第一导位板10取下，最后再将欲更换探针14抽取出，重新穿入良好的探针14，即可有效完成探针14的更换。

进一步来说，螺丝15具有头部150以及螺纹部151。螺纹部151用以穿过定位组件13的穿孔132而锁固至间隔件12的螺孔120，且头部150用以压抵定位组件13至间隔件12。

然而，本发明并不以此为限，于实际应用中，定位组件13可以不具有穿孔132，螺纹部151直接锁固至间隔件12的螺孔120，且头部150压抵定位组件13的边缘至间隔件12，同样可达到将定位组件13固定至间隔件12的目的。

于一实施方式中，第二导位板11与间隔件12可为一体成型的结构。

于一实施方式中，探针14所形成的探针区Z1的数量并不以图1为限，可依据需求而弹性地变化。

于一实施方式中，如图1所示，本发明的探针14的探针区Z1是以跳DUT的方式进行设置。当每一探针区Z1预设为点测一待测元件时，两个相邻的探针区Z1之间的区域可能有其他待测元件被跳过而未被点测，而这就是所谓的跳DUT点测。借此，支撑框130的肋部130b即可设置于被跳过而未被点测的待测元件所对应的区域，即非探针区Z2，以对此区域进行有效地利用。

具体来说，请参照图1，于本实施方式中，两个相邻的探针区Z1实质上沿着方向A排列。两个相邻的探针区Z1在方向A上各具有第一长度L1。两相邻探针区Z1之间的非探针区Z2在方向A上具有第二长度L2，并且第二长度L2大于第一长度L1。举例来说，当非探针区Z2对应至跳一个待测元件的情况时，由于每一探针区Z1仅涵盖一个待测元件的范围，而非探针区Z2的范围须涵盖一个待测元件以及与两侧相邻的待测元件之间所设有的切割道的范围，因此上述第二长度L2会大于第一长度L1。当非探针区Z2对应至跳多个待测元件的情况时，由于非探针区Z2的范围须涵盖多个待测元件以及多个切割道的范围，因此上述第二长度L2更必然会大于第一长度L1。也就是说，具有上述长度限制的非探针区Z2可对应至跳一或多个待测元件的情况。

此外，位于非探针区Z2的肋部130b在方向A上具有宽度W，并且宽度W小于非探针区Z2的第二长度L2，借此，当探针头1被使用来沿着上述方向A移动以测试待测元件时，辅助膜131对应于非探针区Z2的部分可受支撑框130的肋部130b所支撑。如图1所示，肋部130b的宽度W大于探针区Z1中两相邻探针14间的距离的四倍，但本发明不以此为限，宽度W可以依实际所需进行调整。

请参照图3，其为绘示本发明另一实施方式的探针头的剖面示意图。如图所示，于本实施方式中，探针头1同样包含第一导位板10、第二导位板11、间隔件12、定位组件13、多个探针14以及固定件。这些元件的结构、功能以及各元件之间的连接关系均与图2所示的实施方式大致相同，因此可参照前述相关说明，在此不再赘述。在此要说明的是，本实施方式与图2所示的实施方式的差异之处，在于本实施方式中的定位组件13的设置方位与图2所示的实施方式相反。

具体来说，于本实施方式中，定位组件13的支撑框130面向第一导位板10，并且定位组件13的辅助膜131面向间隔件12。并且，辅助膜131仅黏固至支撑框130的框体130a。在此配置之下，即使辅助膜131并未黏固至支撑框130的肋部130b，在将某一探针14向上抽出以进行更换时，位于辅助膜131上方的支撑框130仍可对辅助膜131限位，进而可防止辅助膜131向上鼓起，同样可避免前述翻膜问题的发生。因此，本实施方式的探针头1可采用面积较小的辅助膜131，因为即使辅助膜131并未黏固至支撑框130的肋部130b，面积较小的辅助膜131在正常使用时的下垂变形量也不会很明显，并不影响其定位探针14的功能。

请参照图4，其为绘示本发明另一实施方式的探针头2的剖面示意图。如图所示，于本实施方式中，探针头2同样包含第一导位板20、第二导位板11、间隔件12、定位组件13、多个探针14以及固定件。这些元件的结构、功能以及各元件之间的连接关系均与图2所示的实施方式大致相同，因此可参照前述相关说明，在此不再赘述。在此要说明的是，本实施方式与图2所示的实施方式的差异之处，在于本实施方式的探针头2对第一导位板20的外形进行改变，并额外包含中介板26。第一导位板20同样具有通孔200，且固定件同样可通过第一导位板20的通孔200可拆卸地将定位组件13固定至间隔件12。

具体来说，于本实施方式中，第一导位板20与第二导位板11分别固定至中介板26的相对两侧。第一导位板20、第二导位板11与中介板26共同环绕形成前述的容置空间。借此，当为了适应实际需求(例如，采用不同规格的探针14)而需要调整容置空间的高度(即第一导位板20与第二导位板11中央部位之间的距离)时，仅需更换不同规格的中介板26即可，并不需更换整个第一导位板20或第二导位板11。由于中介板26的结构相较于第一导位板20或第二导位板11的结构来说较为简单且易于制造，因此为了适应前述实际需求而制备不同规格的中介板26的成本也相对低廉。

于一实施方式中，中介板26可为中空的框架以环绕于间隔件12、定位组件13与探针14的外围。于一实施方式中，中介板26可为位于间隔件12、定位组件13与探针14两侧的间隔块。然而，本发明的中介板26并不以此为限。

于一实施方式中，第一导位板20与第二导位板11可以螺丝锁固的方式分别固定至中介板26的相对两侧，但本发明并不以此为限。

请参照图5，其为绘示本发明另一实施方式的探针头3的剖面示意图。如图所示，于本实施方式中，探针头3同样包含第一导位板10、第二导位板11、间隔件32、定位组件33、多个探针14以及固定件。这些元件的结构、功能以及各元件之间的连接关系均与图2所示的实施方式大致相同，因此可参照前述相关说明，在此不再赘述。在此要说明的是，本实施方式与图2所示的实施方式的差异之处，在于本实施方式中的探针头3对间隔件32与定位组件33的外形进行改变，固定件为磁性元件35，且间隔件32包含导磁材料，其中定位组件33同样包含支撑框330以及辅助膜331，且支撑框330同样包含框体330a以及肋部330b。

具体来说，于本实施方式中，间隔件32不具有图2所示的间隔件12的螺孔120，且定位组件33不具有图2所示的定位组件13的穿孔132。在此结构配置之下，当磁性元件35被放置于第一导位板10的通孔100且受到与间隔件32相吸的磁力作用时，磁性元件35压抵定位组件33至间隔件32，同样可达到将定位组件33固定至间隔件32的目的。

于一实施方式中，可于探针头3下方放置有具磁性感应功能的装置(图未示)，使之与磁性元件35产生相互吸引的磁力，则可在插设探针14时具有固定定位组件33于第二导位板11上的功能。当然，本实施方式所提供的磁感应方式并不限定感应装置的种类，且并不限定感应装置的放置处(即感应磁场的方向)，只要可与磁性元件35产生磁力感应，同时磁力作用方向为使磁性元件35将定位组件33压抵至第二导位板11上，均可发挥本发明的功效。相对地，当部分的探针14需进行更换时，则同样可以磁性元件35穿过第一导位板10的通孔100，通过磁性感应方式使磁性元件35施以作用力于定位组件33上，进而固定定位组件33于第二导位板11上，因而达成本发明所需的功能特性。

于一实施方式中，支撑框130、支撑框330具有第一硬度，辅助膜131、辅助膜331具有第二硬度，且第一硬度大于第二硬度。借此，支撑框130、支撑框330即可提供辅助膜131、辅助膜331足够的支撑。

于一实施方式中，支撑框130、支撑框330的材料包含金属、陶瓷以及工程塑胶，但本发明并不以此为限。

由以上对于本发明的具体实施方式的详述，可以明显地看出，本发明的探针头包含可在第一导位板与第二导位板之间浮动的定位组件，其中定位组件的辅助膜可对穿设的探针进行定位，而定位组件的支撑框可用来支撑或限位辅助膜，进而避免辅助膜在正常使用时明显下垂，或避免在更换探针时发生翻膜问题(即，在更换某一探针时因勾到辅助膜而造成其他探针脱离辅助膜)而失去固定。具体来说，支撑框是通过延伸于相邻两探针区之间的区域的肋部来支撑或限位辅助膜。通过支撑框的肋部延伸至探针区之间的区域，即可避免辅助膜在探针区周遭的部分(特别是探针区之间的部分)的变形量过大，进而可避免上述下垂与翻膜问题。

以上所述仅为本发明示意性的具体实施方式，并非用以限定本发明的范围。任何本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本发明保护的范围。