一种红外高温计使用的观察窗装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种红外高温计使用的观察窗装置，包括安装座和水冷套筒，红外高温计设置在安装座上，水冷套筒连接在安装座与单晶炉之间，水冷套筒的内腔与所述单晶炉的炉腔相连接，水冷套筒的内腔外侧设置有水夹层；安装座包括第一调节底座和第二调节底座，通过控制第一调节底座和第二调节底座，使红外高温计对准单晶炉内的测温点。本发明采用水冷隔温，双调节底座调节，避免了将红外高温计直接固定在晶体生长炉上而不能随意调整测温点的缺点，降低了工作温度，操作方便、测量可靠性高。
【专利说明】一种红外高温计使用的观察窗装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种连接在晶体生长加热炉上的观察窗装置，红外高温计透过本装置能够对准加热炉中的测温点。
【背景技术】
[0002]晶体生长方法通常有提拉法、气相升华法、化学气相沉积法等，这些生长温度通常较高，可达1000°c以上，且化学物质容易与热偶反应，或者在生长后热偶难以清理。
[0003]目前，行业中开始使用红外光测量温度的高温计来检测晶体生长过程中的晶体温度，及时消除热偶。红外高温计的测量范围最高可达3000 °C，且与反应物质不接触，减少了晶体生长中的污染。但是，红外高温计的工作环境温度较高，缩短使用寿命，由于晶体形状和生长方法的不同，如何调整红外高温计使其对准测温点都是困扰本领域技术人员的难题。
【发明内容】
[0004]针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种可大大降低红外高温计工作温度、便于调整红外高温计对准测温点的观察窗装置。
[0005]为实现上述目的，本发明一种红外高温计使用的观察窗装置，该观察窗装置包括安装座和水冷套筒，红外高温计设置在所述安装座上，所述水冷套筒连接在安装座与单晶炉之间，水冷套筒的内腔与所述单晶炉的炉腔相连接；
其中，水冷套筒的内腔外侧设置有水夹层；安装座包括第一调节底座和第二调节底座，所述第一调节底座和所述第二调节底座上均设置有观察孔，第一调节底座设置在水冷套筒的远离单晶炉的端部，第二调节底座安装在第一调节底座上，红外高温计固定在所述第二调节底座上，第一调节底座与第二调节底座之间、第一调节底座与水冷套筒之间分别通过多个垂直于水冷套筒轴线方向的调节螺栓固定，并通过控制调节螺栓的伸缩长度调整红外高温计的位置，使其透过两个所述观察孔和水冷套筒的内腔检测所述单晶炉内测温点的温度；
水冷套筒的内腔、第一调节底座的观察孔或者第二调节底座的观察孔设置有由玻璃或石英制成的气密封隔片，在不影响红外高温计测量的同时保证单晶炉内的真空度。
[0006]进一步，所述第一调节底座与所述第二调节底座、第一调节底座与所述水冷套筒之间的所述调节螺栓沿水冷套筒的圆周方向均布，且至少设置三个。
[0007]进一步，所述水流套筒的所述水夹层上设置有进水口和出水口。
[0008]红外高温计透过第一调节座和第二调节座上的观察孔，以及水冷套筒的内腔来检测单晶炉内测温点的温度；水冷套筒用来阻挡高温；通过调节螺栓控制第一调节座和第二调节座的相对位置，实现红外高温计对准监测点，在使用时，也可以通过只调节第二调节座来实现；气密封隔片进一步阻挡高温，同时保证单晶炉内的真空度；改善了镜头生长过程中因测温点偏离等问题造成的温度测量不准确的问题，本装置操作方便、测量结果的可靠性尚°
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面，参考附图，对本发明进行更全面的说明，附图中示出了本发明的示例性实施例。然而，本发明可以体现为多种不同形式，并不应理解为局限于这里叙述的示例性实施例。而是，提供这些实施例，从而使本发明全面和完整，并将本发明的范围完全地传达给本领域的普通技术人员。
[0011]为了易于说明，在这里可以使用诸如“上”、“下” “左” “右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置可以以其他方式定位(旋转90度或位于其他方位)，这里所用的空间相对说明可相应地解释。
[0012]如图1所示为本发明一种红外高温计使用的观察窗装置的具体实施例，该观察窗装置包括安装座和水冷套筒1，红外高温计2设置在安装座上，单晶炉上设置有连接口 3，水冷套筒I的下端连接在单晶炉的连接口 3上，水冷套筒I的上端连接在安装座上，水冷套筒I的内腔4通过连接口 3与单晶炉的炉腔相连接，在水冷套筒I的内腔外侧设置有水夹层5，水夹层5上设置有进水口 6和出水口 7，冷却水从进水口 6进入水夹层5中，给水冷套筒I内腔4降温，换热后的冷却水从出水口 7流出水夹层5。
[0013]安装座包括第一调节底座8和第二调节底座9，第一调节底座8和第二调节底座9上均设置有观察孔10、11，由观察孔10、11和水冷套筒I内腔构成红外高温计2检测加热炉内测温点温度的信号采集通道，在该通道内设置一个气密封的封隔片12，封隔片12有石英或玻璃材质制成，进一步阻挡高温，保证单晶炉内的真空度，同时不影响红外高温计2的测温。第一调节底座8设置在水冷套筒I的上端，第二调节底座9安装在第一调节底座8上，红外高温计2固定在第二调节底座9上，因此，封隔片12可以设置在水冷套筒I的内腔4中或者设置在第一调节底座8的观察孔10上或者设置在第二调节底座9的观察孔11上，在图1中的示例是将封隔片12设置在第一调节底座8的观察孔10上。在第一调节底座8与水冷套筒I之间设置多个垂直于水冷套筒I轴线方向的调节螺栓，该调节螺栓穿过螺孔14顶置在水冷套筒I的周向外表面上，将第一调节底座8固定在水冷套筒I上端，且调节螺栓至少设置有沿水冷套筒I的圆周方向均布的三个，通过调整调节螺栓的伸出长度进而控制第一调节底座8与水冷套筒I的相对位置；同样的，在第一调节底座8与第二调节底座9之间设置多个垂直于水冷套筒I轴线方向的调节螺栓，该调节螺栓穿过螺孔13顶置在第二调节底座9的周向外表面上，将第二调节底座9固定在第一调节底座8上，且该调节螺栓至少设置有沿水冷套筒I的圆周方向均布的三个，通过调整调节螺栓的伸出长度进而控制第二调节底座9与第一调节底座8的相对位置，通过两次调整使红外高温计2透过这两个观察孔10、11和水冷套筒I的内腔4检测位于单晶炉内的测温点的温度。
【权利要求】
1.一种红外高温计使用的观察窗装置，其特征在于，该观察窗装置包括安装座和水冷套筒，红外高温计设置在所述安装座上，所述水冷套筒连接在安装座与单晶炉之间，水冷套筒的内腔与所述单晶炉的炉腔相连接； 其中，水冷套筒的内腔外侧设置有水夹层；安装座包括第一调节底座和第二调节底座，所述第一调节底座和所述第二调节底座上均设置有观察孔，第一调节底座设置在水冷套筒的远离单晶炉的端部，第二调节底座安装在第一调节底座上，红外高温计固定在所述第二调节底座上，第一调节底座与第二调节底座之间、第一调节底座与水冷套筒之间分别通过多个垂直于水冷套筒轴线方向的调节螺栓固定，并通过控制调节螺栓的伸缩长度调整红外高温计的位置，使其透过两个所述观察孔和水冷套筒的内腔检测所述单晶炉内测温点的温度； 水冷套筒的内腔、第一调节底座的观察孔或者第二调节底座的观察孔设置有由玻璃或石英制成的气密封隔片，在不影响红外高温计测量的同时保证单晶炉内的真空度。
2.如权利要求1所述的观察窗装置，其特征在于，所述第一调节底座与所述第二调节底座、第一调节底座与所述水冷套筒之间的所述调节螺栓沿水冷套筒的圆周方向均布，且至少设置三个。
3.如权利要求1所述的观察窗装置，其特征在于，所述水流套筒的所述水夹层上设置有进水口和出水口。
【文档编号】G01J5/00GK104499057SQ201510004173
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2015年1月6日 优先权日:2015年1月6日
【发明者】张云伟, 李百泉, 何丽娟, 李海飞, 樊中华, 翟德云 申请人:北京华进创威电子有限公司