一种有效控制探针卡内探针的针径的方法
【专利摘要】本发明属于微电子领域，具体涉及一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在对被测试结构测试之前，设定一针径参考值spec，之后对测试要用到的探针卡内探针的针径进行对比判断，如果探针夹内探针的针径大于针径参考值spec，则停止测试，探针卡送去做计划维护操作；否则，继续进行对被测试结构的测试过程。通过这种方法有效控制了探针卡针径随着使用时间的变长而变大导致扎出pad外造成器件的缩小和损坏比率，同时节省了因探针卡性能问题导致无效测试的时间，提高了测试效率。
【专利说明】一种有效控制探针卡内探针的针径的方法
【技术领域】
[0001]本发明属于微电子领域，具体涉及一种有效控制探针卡内探针的针径的方法。
【背景技术】
[0002]随着微电子技术的发展，对微电子器件的测试要求技术越来越高，在追求测试准确的同时对测试的效率及测试过程中对其他器件造成的影响有了更高的追求，目前对微电子器件的测试是直接换上测试待测结构需要用的探针卡进行测试的，有效完成了微电子器件的测试过程。
[0003]探针卡内探针的针径非常小，但是随着探针卡使用的时间的增长，探针卡内探针针径(探针卡内探针尖端的直径)会变大，为此在扎到pad时有扎出pad的可能，从而造成器件损坏，而现有测试方法在测试时选用的与待测微电子器件对应的探针卡的性能是否良好用户并不知道，只有在测试完成以后才会知晓，而且由于是在测试完成用户才知道探针卡的性能，如果探针卡不是完好的，无疑浪费了测试时间，降低了测试效率。
[0004]因此，如何能找到一种可以在对微电子器件进行测试前即可知晓当前所使用探针卡的性能的方法，以防止测试时间的浪费成为本领域技术人员面临的一大难题。
【发明内容】
[0005]针对上述问题，本发明提出一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在测试前设定针径参考值spec，在对待测微电子实施测试前先对测试所使用的探针卡内探针的针径大小与设定的针径参考值大小进行比较判断，如果探针卡内探针的针径大于预先设定的针径参考值，则停止测试，探针卡送去PM (plan maintain,计划维护)，如果探针卡内探针的针径不大于预先设定的针径参考值，则继续对被测试结构的测试过程。具体方法为:
[0006]一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，其中，所述方法包括:
[0007]提供一包括多个探针的探针卡，每个所述探针均用于连接测试机台和被测试结构；
[0008]在所述测试机台上设定所述探针的针径参考值；
[0009]在对所述被测试结构进行测试前，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值，若所述探针的针径大于所述针径参考值，则停止所述探针卡对所述被测试结构的测试。
[0010]上述方法，其中，所述方法还包括:
[0011]若所述探针的针径不大于所述针径参考值，继续进行所述探针卡对所述被测试结构的测试。
[0012]上述方法，其中，所述方法还包括:
[0013]停止所述探针卡对所述被测试结构的测试后，对所述探针卡进行计划维护。
[0014]上述方法，其中，在完成计划维护操作后还包括对所述探针卡进行检测的步骤，以确保探针卡内探针的针径不大于所述针径参考值。
[0015]上述方法，其中，所述测试机台还包括:
[0016]对针模块，用于执行所述探针与所述探针卡的对针操作。
[0017]上述方法，其中，所述对针模块中还设置有针径测量模块，所述针径测量模块用于测量所述探针的针径尺寸。
[0018]上述方法，其中，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值的步骤之前，所述针径测量模块对所述探针进行测量，以获取所述探针的针径尺寸。
[0019]上述方法，其中，所述测试机台还设置有一报警模块；
[0020]当所述探针的针径大于所述针径参考值时，所述报警模块发出报警信息。
[0021]本发明达到的有益效果:
[0022]通过在对微电子器件测试前对将使用的探针卡内探针的针径(即探针尖端的直径，本文后续中统一称为探针卡内探针的针径)进行判断，有效减小了探针卡内探针的针径变大而扎出pad外造成器件的缩小和损坏的可能，有效减少了测试时间的浪费，提高了测试效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是本发明中有效控制探针卡内探针的针径的方法示意图。
[0024]实施方式
[0025]下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。
[0026]针对上述存在的问题，本发明披露了一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在对被测试结构微电子器件测试之前，设定一针径参考值spec，然后对测试所用探针卡内探针的的针径进行与针径参考值进行对比判断，然后根据探针卡内探针的针径与针径参考值spec的大小关系作出相应的处理操作，下面结合附图对本实施例做进一步的说明。
[0027]本发明提供的方法包括:
[0028]提供一包括多个探针的探针卡，在本发明一个优选的实施例中，每个探针均用于连接测试机台和被测试结构；
[0029]在本发明一个优选的实施例的，测试机台上设定探针的针径参考值；
[0030]在对被测试结构进行测试前，判断探针的针径是否大于所设定的针径参考值，若使用的探针的针径大于设定的针径参考值，则停止探针卡对本发明优选实施例中被测试结构的测试。
[0031]在本发明优选的实施例中，本发明的方法还包括:
[0032]若本发明优选的实施例中探针的针径不大于针径参考值，继续进行探针卡对被测试结构的测试。
[0033]本发明的方法，在本发明优选的实施例中还包括:
[0034]停止探针卡对被测试结构的测试后，对探针卡进行计划维护。
[0035]本发明的方法，在本发明一个优选的实施例中，在完成计划维护操作后还包括对探针卡进行检测的步骤，以确保探针卡内探针针径不大于针径参考值。
[0036]在本发明一个优选的实施例中，测试机台还包括:
[0037]对针模块，用于执行探针卡内探针与探针卡的对针操作。
[0038]在本发明一个优选的实施例中，对针模块中还设置有针径测量模块，针径测量模块用于测量探针的针径尺寸。
[0039]在本发明一个优选的实施例中，判断探针的针径是否大于针径参考值的步骤之前，针径测量模块对所述探针进行测量，以获取探针的针径。
[0040]在本发明一个优选的实施例中，测试机台还设置有一报警模块；当探针的针径大于针径参考值时，报警模块发出报警信息。
[0041]下面举具体的实施例对本发明进行进一步的阐述:
[0042]参见图1所示有效控制探针卡内探针的针径方法的流程示意图，首先对PCIL文件进行设定，作为一种实施例，PCIL文件的路径为/WATSERV/ETC/PCIL，现有技术中，在新卡制作完成或者PM归来的探针卡，都会在PCIL文件下进行设置，例如，RFID (Rad1Frequency Identificat1n，射频识别)与电阻设置，通过读取相应的RFID或电阻来调用相应的探针卡类型。
[0043]在设定PCIL文件时，在相同的文件里加入探针卡内探针的针径参考值spec参数，以供后续判断本实施例测试所使用的探针卡是否需要送PM的参考标准。
[0044]执行本实施例所选用测试机台的对针模块操作，本发明中对针模块在此有两个作用:第一，用于使探针卡内的探针与其应该在探针卡中的位置一一唯一对应；第二，测量探针卡内探针的针径尺寸。
[0045]判断探针卡内探针的针径与针径参考值spec的大小关系，通过对探针卡内探针的针径在放大倍率下的直径检查，判定探针卡内探针的针径是否在设定的针径参考值spec范围内(即探针卡内探针的针径是否是不大于设定的针径参考值spec)，如果探针卡内探针的针径大于设定的针径参考值spec，测试机台屏幕会显示出报警信息“This card should be PM”，此时，停止测试，本实施例所使用的探针卡送去计划维护，由MFG (Manufacturing，质量部)通知PE (Processing Engineer，工艺工程师)决定是否需要交移EE (Equipment Engine，设备工程师)进行PM (Plan Maintain，计划维护)，计划维护结束后执行探针卡的检测模块，确认本实施例所选用的探针卡在进行计划维护后，探针卡内探针的针径在设定的针径参考值spec范围内，整个过程的执行，工程师都无需手动进行检查探针卡内探针的针径；如果探针卡内探针的针径不大于设定的针径参考值spec，说明所使用的探针卡可以使用，则继续进行对被测试结构的测试过程；如果探针卡内探针的针径不在设定的针径参考值spec范围内，继续送去计划维护。
[0046]综上所述，本发明提出一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，在对被测试结构测试前对探针卡内探针的针径进行判断对比，如果探针卡内探针的针径大于设定的针径参考值则停止测试过程，探针卡送去做计划维护，通过此方法，有效控制了探针卡内探针的针径随着使用时间的变长探针卡内探针的针径变大导致扎出pad外造成器件的缩小和损坏比率，同时节省了因探针卡性能问题导致无效测试的时间，提高了测试效率。
[0047]本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。
[0048]以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围。
【权利要求】
1.一种有效控制探针卡内探针的针径的方法，其特征在于，所述方法包括: 提供一包括多个探针的探针卡，每个所述探针均用于连接测试机台和被测试结构； 在所述测试机台上设定所述探针的针径参考值； 在对所述被测试结构进行测试前，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值，若所述探针的针径大于所述针径参考值，则停止所述探针卡对所述被测试结构的测试。
2.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述方法还包括: 若所述探针的针径不大于所述针径参考值，继续进行所述探针卡对所述被测试结构的测试。
3.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述方法还包括: 停止所述探针卡对所述被测试结构的测试后，对所述探针卡进行计划维护。
4.如权利要求3所述方法，其特征在于，在完成计划维护操作后还包括对所述探针卡进行检测的步骤，以确保探针卡内探针针径不大于所述针径参考值。
5.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述测试机台还包括: 对针模块，用于执行所述探针与所述探针卡的对针操作。
6.如权利要求5所述方法，其特征在于，所述对针模块中还设置有针径测量模块，所述针径测量模块用于测量所述探针的针径尺寸。
7.如权利要求6所述方法，其特征在于，判断所述探针的针径是否大于所述针径参考值的步骤之前，所述针径测量模块对所述探针进行测量，以获取所述探针的针径尺寸。
8.如权利要求1所述方法，其特征在于，所述测试机台还设置有一报警模块； 当所述探针的针径大于所述针径参考值时，所述报警模块发出报警信息。
【文档编号】G01R35/00GK104502874SQ201410692983
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月26日 优先权日:2014年11月26日
【发明者】沈茜, 莫保章 申请人:上海华力微电子有限公司