基于t型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计的利记博彩app
【专利摘要】本发明公开了一种基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计，该加速度计包括有谐振器、质量块、正电极、负电极、安装框、隔离框、固定框和连接臂；正负电极为覆铜在谐振器、固定框、连接臂和安装框上，质量块与固定框之间是谐振器。本发明设计的石英振梁加速度计，采用竖梁、横梁及T型梁的结构形式，从而使谐振器具有测量温度信息的功能，三梁结构在敏感轴方向的等效刚度很低，可实现高灵敏度的加速度测量。在非敏感轴方向的等效刚度很大，有效抑制非敏感轴方向上力的干扰。从结构设计上可消除两个差动结构谐振器间的机械耦合，消除加速度计的检测盲区，提高石英振梁加速度计的检测精度。
【专利说明】基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速 度计
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种加速度计，更特别地说，是指一种基于Τ型结构的具有测温功能的 一体差动式石英振梁加速度计，属于微机电系统（简称MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)中的微惯性传感【技术领域】。
【背景技术】
[0002] 石英振梁加速度计是一种基于石英力频特性的MEMS惯性传感器，具有成本低、体 积小、量程大、灵敏度高、标度因数稳定性好、直接数字输出等优点，可广泛应用于战术导弹 姿态控制、惯性导航、大地重力测量、地球资源勘探以及微型机器人中，有着重要的军用价 值和民用价值。
[0003] 石英振梁加速度计是通过再次装配形成差动结构的，因而两个谐振器之间有较大 的机械耦合，会导致较大的测量盲区。另外，挠性铰链的弹性刚度很大，使质量块在感知加 速度计变化时运动幅度和反应灵敏度受到限制，降低了石英振梁加速度计的灵敏度，不易 实现高精度的加速度测量。
【发明内容】
[0004] 为了改变环境温度对石英振梁加速度计测量精度的影响，本发明设计了一种基于 T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计。本发明一方面采用质量块所受 的惯性力与谐振器振动梁振动方向保持一致，另一方面谐振器设计为三梁结构，且谐振器 在石英振梁加速度计的敏感轴方向的弹性刚度较小，从而提高了石英振梁加速度计的灵敏 度。通过测量谐振器中的T型结构件的振动频率的改变量，以克服环境温度对加速度计测 量精度的影响。
[0005] 本发明的一种基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计，其 包括有A谐振器（1)、B谐振器（2)、A质量块（6A)、B质量块（6B)、第一正电极（7A)、第一 负电极（7B)、第二正电极（7C)、第二负电极（7D)、第三正电极（8A)、第三负电极（8B)、第四 正电极（8C)、第四负电极（8D)、安装框（3)、A隔离框（4A)、B隔离框（4B)、A固定框（5A)、 B固定框（5B)、第一连接臂（9A)、第二连接臂（9B)、第三连接臂（9C)、第四连接臂（9D);
[0006] 其中，A谐振器⑴与B谐振器2的结构相同；
[0007] 其中，A质量块（6A)与B质量块6B的结构相同；
[0008] 其中，第一正电极（7A)、第一负电极（7B)、第二正电极（7C)和第二负电极（7D)的 结构相同；
[0009] 其中，第三正电极（8A)与第三负电极（8B)的结构相同；
[0010] 其中，第四正电极（8C)与第四负电极（8D)的结构相同；
[0011] 其中，A隔离框（4A)与B隔离框（4B)的结构相同；
[0012] 其中，A固定框（5A)与B固定框（5B)的结构相同；
[0013] 其中，第一连接臂（9A)与第三连接臂（9C)的结构相同；
[0014] 其中，第二连接臂（9B)与第四连接臂（9D)的结构相同；
[0015] A谐振器（1)由AA坚梁（ΙΑ)、AB坚梁（IB)、AC坚梁（1C)、AD坚梁（ID)、AA横梁 (IE) 、AB横梁（IF)、AC横梁（1G)、AD横梁（1H)、第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)构 成；第一 T形梁（1J)设置在AA坚梁（1A)的中心处外侧；第二T形梁（1K)设置在AD坚梁 (1D)的中心处外侧；AA坚梁（1A)、AB坚梁（1B)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)沿X轴向平 行放置，且AA坚梁（ΙΑ)、AB坚梁（IB)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)之间有切缝；AB横梁 (IF) 、AC横梁（1G)和AD横梁（1H)沿Y轴向平行放置，且AB横梁（1F)用于连接AA坚梁 (ΙΑ)、AB坚梁（IB)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)的上部，AD横梁（1H)用于连接AA坚梁 (1A)、AB坚梁（1B)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)的下部，AB坚梁（1B)和AC坚梁（1C)用 于连接AB坚梁（1B)与AC坚梁（1C);
[0016] B谐振器⑵由BA坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)、BD坚梁（2D)、BA横梁 (2E)、BB横梁（2F)、BC横梁（2G)、BD横梁（2H)、第三T形梁（2J)和第四T形梁（2K)构 成；第三T形梁（2J)设置在BA坚梁（2A)的中心处外侧；第四T形梁（2K)设置在BD坚梁 (2D)的中心处外侧；BA坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)沿X轴向平 行放置，且BA坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)之间有切缝；BB横梁 (2F)、BC横梁（2G)和BD横梁（2H)沿Y轴向平行放置，且BB横梁（2F)用于连接BA坚梁 (2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)的上部，BD横梁（2H)用于连接BA坚梁 (2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)的下部，BB坚梁（2B)和BC坚梁（2C)用 于连接BB坚梁（2B)与BC坚梁（2C);
[0017] 第一正电极（7A)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为AA坚梁（ΙΑ)、AA横梁（IE)、AB 坚梁（IB)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);
[0018] 第一负电极（7B)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为AC坚梁（1C)、AA横梁（IE)、AD 坚梁（ID)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);
[0019] 第二正电极（7C)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为BA坚梁（2A)、BA横梁（2E)、BB 坚梁（2B)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);
[0020] 第二负电极（7D)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为BC坚梁（2C)、BA横梁（2E)、BD 坚梁（2D)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);
[0021] 第三正电极（8A)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第一 T形梁（1J)、AA坚 梁（1A);第三正电极（8A)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第二T形梁（IK)、ADM 梁（ID);第三正电极（8A)的第三支覆铜构型从里向外顺次覆铜为A固定框（5A)、第二连接 臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);且第一支覆铜构型与第二支覆铜构 型在A固定框（5A)汇合后共用第三支覆铜构型；
[0022] 第三负电极（8B)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第一 T形梁（1J)、AA坚 梁（ΙΑ)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3); 第三负电极（8B)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第二T形梁（1K)、AD坚梁（1D)、A 固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);且第一支覆 铜构型与第二支覆铜构型在安装框（3)汇合；
[0023] 第四正电极（8C)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第三T形梁（2J)、BA坚 梁（2A);第四正电极（8C)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第四T形梁（2K)、BD坚 梁（2D);第四正电极（8C)的第三支覆铜构型从里向外顺次覆铜为B固定框（5B)、第三连接 臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);且第一支覆铜构型与第二支覆铜构 型在B固定框（5B)汇合后共用第三支覆铜构型；
[0024] 第四负电极（8D)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第三T形梁（2J)、BA坚 梁（2A)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3); 第四负电极（8D)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第四T形梁（2K)、BD坚梁（2D)、B 固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);且第一支覆 铜构型与第二支覆铜构型在安装框（3)汇合；
[0025] 在介质基板（9)上采用光刻腐蚀出多个切缝得到镂空构型；
[0026] 在介质基板（9)上去除第一切缝（91)后构型得到A隔离框（4A)、B隔离框（4B)、 第一连接臂（9A)和第四连接臂（9D)，通过第一连接臂（9A)实现A隔离框（4A)与安装框 (3)连接，通过第四连接臂（9D)实现B隔离框（4B)与安装框（3)连接；
[0027] 在介质基板（9)上去除第二切缝（92)与第四切缝（94)后构型得到A固定框（5A)、 第二连接臂（9B)、A质量块（6A)和A谐振器（1)，通过第二连接臂（9B)实现A固定框（5A) 与A隔离框（4A)连接，A谐振器（1)连接在A固定框（5A)与A质量块（6A)之间，且位于 介质基板（9)的上层面；
[0028] 在介质基板（9)上去除第三切缝（93)与第五切缝（95)后构型得到B固定框（5B)、 第三连接臂（9C)、B质量块（6B)和B谐振器（2)，通过第三连接臂（9C)实现B固定框（5B) 与B隔离框（4B)连接，B谐振器（2)连接在B固定框（5B)与B质量块（6B)之间，且位于 介质基板（9)的下层面。
[0029] 本发明设计的一种基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度 计，具有以下优点：
[0030] ①本发明设计的谐振器具有T型结构部件，可以准确测量谐振器温度信息，可以 避免环境温度对加速度计高精度测量的影响。
[0031] ②本发明设计的谐振器采用的三梁结构在加速度计敏感轴向的弹性刚度较小，由 于质量块沿敏感轴方向振动，质量块所受到的惯性力可以完全加载到振梁的轴向上，因此 提高了石英振梁加速度计的灵敏度。
[0032] ③本发明设计的谐振器中的坚梁与T型梁的振动模态是不同的，固有频率相差 大，从而避免了坚梁、横梁及T型梁的振动产生相互影响。
[0033] ④本发明的石英振梁加速度计中，三梁结构谐振器可以有效的抑制非敏感轴方向 力的干扰。
[0034] ⑤本发明的石英振梁加速度计中，采用隔离框将谐振器与安装框相连，因此可以 有效隔离外界振动和热应力对振梁的影响。
[0035] ⑥本发明的石英振梁加速度计中，两个差动结构的谐振器通过MEMS加工技术一 体加工而成，这种一体差动结构可以完全消除两个差动谐振器间的机械耦合，消除测量盲 区，降低测量误差，提高加速度计的检测精度。
[0036] ⑦本发明的石英振梁加速度计中，整片结构采用同一种石英材料，避免了由于不 同材料热膨胀系数不同导致的热应力的影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0037] 图1是本发明设计的一体差动式石英振梁加速度计的正视结构示意图。
[0038] 图1A是本发明设计的一体差动式石英振梁加速度计的正视结构灰度示意图。
[0039] 图1B是本发明设计的一体差动式石英振梁加速度计的后视结构示意图。
[0040] 图1C是本发明设计的一体差动式石英振梁加速度计的后视结构灰度示意图。
[0041] 图1D是本发明设计的一体差动式石英振梁加速度计的立体结构示意图。
[0042] 图2是本发明设计的A谐振器的正视结构示意图。
[0043] 图2A是本发明设计的B谐振器的正视结构示意图。
[0044] 图2B是本发明设计的A谐振器的振动模态示意图。
[0045] 图2C是本发明设计的A谐振器的T形梁的振动模态示意图。
[0046] 图3是本发明设计的四个电极的结构图。
[0047] 图3A是本发明设计的位于A谐振器处的电极结构图。
[0048] 图3B是本发明设计的位于B谐振器处的电极结构图。
【权利要求】
1. 一种基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计，其特征在于： 该加速度计包括有Α谐振器（1)、Β谐振器（2)、Α质量块（6Α)、Β质量块（6Β)、第一正电极 (7A)、第一负电极（7B)、第二正电极（7C)、第二负电极（7D)、第三正电极（8A)、第三负电极 (8B)、第四正电极（8C)、第四负电极（8D)、安装框（3)、A隔离框（4A)、B隔离框（4B)、A固 定框（5A)、B固定框（5B)、第一连接臂（9A)、第二连接臂（9B)、第三连接臂（9C)、第四连接 臂（9D); 其中，A谐振器⑴与B谐振器2的结构相同； 其中，A质量块^A)与B质量块6B的结构相同； 其中，第一正电极（7A)、第一负电极（7B)、第二正电极（7C)和第二负电极（7D)的结构 相同； 其中，第三正电极（8A)与第三负电极（8B)的结构相同； 其中，第四正电极（8C)与第四负电极（8D)的结构相同； 其中，A隔离框（4A)与B隔离框（4B)的结构相同； 其中，A固定框（5A)与B固定框（5B)的结构相同； 其中，第一连接臂（9A)与第三连接臂（9C)的结构相同； 其中，第二连接臂（9B)与第四连接臂（9D)的结构相同； A谐振器（1)由AA坚梁（ΙΑ)、AB坚梁（IB)、AC坚梁（1C)、AD坚梁（ID)、AA横梁（1E)、 AB横梁（IF)、AC横梁（1G)、AD横梁（1H)、第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)构成；第一 T形梁（1J)设置在AA坚梁（1A)的中心处外侧；第二T形梁（1K)设置在AD坚梁（1D)的中 心处外侧；AA坚梁（1A)、AB坚梁（1B)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)沿X轴向平行放置，且 AA坚梁（ΙΑ)、AB坚梁（IB)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)之间有切缝；AB横梁（IF)、AC横 梁（1G)和AD横梁（1H)沿Y轴向平行放置，且AB横梁（1F)用于连接AA坚梁（1A)、AB坚 梁（IB)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)的上部，AD横梁（1H)用于连接AA坚梁（ΙΑ)、AB坚 梁（IB)、AC坚梁（1C)和AD坚梁（1D)的下部，AB坚梁（1B)和AC坚梁（1C)用于连接AB 坚梁（1B)与AC坚梁（1C); B谐振器（2)由BA坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)、BD坚梁（2D)、BA横梁（2E)、 BB横梁（2F)、BC横梁（2G)、BD横梁（2H)、第三T形梁（2J)和第四T形梁（2K)构成；第三 T形梁（2J)设置在BA坚梁（2A)的中心处外侧；第四T形梁（2K)设置在BD坚梁（2D)的中 心处外侧；Μ坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)沿X轴向平行放置，且 BA坚梁（2A)、BB坚梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)之间有切缝；BB横梁（2F)、BC横 梁（2G)和BD横梁（2H)沿Y轴向平行放置，且BB横梁（2F)用于连接BA坚梁（2A)、BB坚 梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)的上部，BD横梁（2H)用于连接BA坚梁（2A)、BB坚 梁（2B)、BC坚梁（2C)和BD坚梁（2D)的下部，BB坚梁（2B)和BC坚梁（2C)用于连接BB 坚梁（2B)与BC坚梁（2C); 第一正电极（7A)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为AA坚梁（1A)、AA横梁（1E)、AB坚梁 (1B)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3); 第一负电极（7B)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为AC坚梁（1C)、AA横梁（1E)、AD坚梁 (1D)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3); 第二正电极（7C)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为BA坚梁（2A)、BA横梁（2E)、BB坚梁 (2B)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3); 第二负电极（7D)的覆铜构型从里向外顺次覆铜为BC坚梁（2C)、BA横梁（2E)、BD坚梁 (2D)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3); 第三正电极（8A)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第一 T形梁（1J)、AA坚梁 (1A);第三正电极（8A)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第二T形梁（1K)、AD坚梁 (1D);第三正电极（8A)的第三支覆铜构型从里向外顺次覆铜为A固定框（5A)、第二连接臂 (9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);且第一支覆铜构型与第二支覆铜构型 在A固定框（5A)汇合后共用第三支覆铜构型； 第三负电极（8B)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第一 T形梁（1J)、AA坚梁 (ΙΑ)、A固定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);第 三负电极（8B)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第二T形梁（1K)、AD坚梁（1D)、A固 定框（5A)、第二连接臂（9B)、A隔离框（4A)、第一连接臂（9A)和安装框（3);且第一支覆铜 构型与第二支覆铜构型在安装框（3)汇合； 第四正电极（8C)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第三T形梁（2J)、BA坚梁 (2A);第四正电极（8C)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第四T形梁（2K)、BD坚梁 (2D);第四正电极（8C)的第三支覆铜构型从里向外顺次覆铜为B固定框（5B)、第三连接臂 (9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);且第一支覆铜构型与第二支覆铜构型 在B固定框（5B)汇合后共用第三支覆铜构型； 第四负电极（8D)的第一支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第三T形梁（2J)、BA坚梁 (2A)、B固定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);第 四负电极（8D)的第二支覆铜构型从里向外顺次覆铜为第四T形梁（2K)、BD坚梁（2D)、B固 定框（5B)、第三连接臂（9C)、B隔离框（4B)、第四连接臂（9D)和安装框（3);且第一支覆铜 构型与第二支覆铜构型在安装框（3)汇合； 在介质基板（9)上采用光刻腐蚀出多个切缝得到镂空构型； 在介质基板（9)上去除第一切缝（91)后构型得到A隔离框（4A)、B隔离框（4B)、第一 连接臂（9A)和第四连接臂（9D)，通过第一连接臂（9A)实现A隔离框（4A)与安装框⑶连 接，通过第四连接臂（9D)实现B隔离框（4B)与安装框（3)连接； 在介质基板（9)上去除第二切缝（92)与第四切缝（94)后构型得到A固定框（5A)、第 二连接臂（9B)、A质量块（6A)和A谐振器（1)，通过第二连接臂（9B)实现A固定框（5A)与 A隔离框（4A)连接，A谐振器（1)连接在A固定框（5A)与A质量块（6A)之间，且位于介质 基板（9)的上层面； 在介质基板（9)上去除第三切缝（93)与第五切缝（95)后构型得到B固定框（5B)、第 三连接臂（9C)、B质量块（6B)和B谐振器（2)，通过第三连接臂（9C)实现B固定框（5B)与 B隔离框（4B)连接，B谐振器（2)连接在B固定框（5B)与B质量块（6B)之间，且位于介质 基板（9)的下层面。
2.根据权利要求1所述的基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速 度计，其特征在于A谐振器（1)和B谐振器（2)的构型具体尺寸为：将坚梁沿X轴向上的宽 度记为d1A，坚梁沿Y轴向上的长度记为h 1A，两个坚梁之间的间隔记为a1A，则有d1A = a1A，h1A =(36 ?40) d1A ; 其中，AA横梁（1E)和AD横梁（1H)的结构相同，AB横梁（IF)和AC横梁（1G)的结构 相同；横梁沿Y轴向上的长度记为h1E，AA横梁（1E)和AD横梁（1H)沿X轴向上的宽度记 为d 1E，且d1E = 4d1A+3a1A ;AB横梁（1F)和AC横梁（1G)沿X轴向上的宽度记为d1F，且d1F = 2d1A+a1A;AA横梁（1E)与AB横梁（IF)之间的间隔记为h 1E_1F，AB横梁（IF)与AC横梁（1G) 之间的间隔记为 h1F_lc，h1F_lc = (1. 5 ?2. 5)d1A ; 其中，第一 T形梁（1J)和第二T形梁（1K)的结构相同；T形梁沿X轴向上的宽度记为 (^，Τ形梁连接臂沿X轴向上的宽度记为di, Τ形梁沿Υ轴向上的长度记为h1T，Τ形梁连接 臂沿Y轴向上的长度记为14,所述也是第一 T形梁（1J)与AA坚梁（1A)的间距，同理， 所述< 也是第二T形梁（1K)与AD坚梁（1D)的间距；(^ = (0. 5?l)d1A，h = (1. 5? 2. 5) d1A，
A谐振器（1)和B谐振器（2)的在Y轴方向上的形变量的通式为Ay = Yd，γ表示 形变系数。
3. 根据权利要求1所述的基于Τ型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度 计，其特征在于：质量块用于将惯性力转换为施加到谐振器的坚梁上的应变力。
4. 根据权利要求1所述的基于Τ型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度 计，其特征在于：隔离框能够抑制Α谐振器（1)与Β谐振器（2)在振动情况下的机械耦合。
5. 根据权利要求1所述的基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度 计，其特征在于：A固定框（5A)与A质量块（6A)及B固定框（5B)与B质量块（6B)之间的 挠性结合，使得本发明设计的加速度计工作在差动状态。
6. 根据权利要求1所述的基于T型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度 计，其特征在于：谐振器上的坚梁振动模式为振动模式，谐振器上的T型梁振动模式为温度 模式，振动模式对于Z轴方向的加速度力敏感，温度模式对于T型梁的X、Y两个轴方向的加 速度力敏感。
【文档编号】G01P15/097GK104049107SQ201410239300
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月30日 优先权日:2014年5月30日
【发明者】周震, 史杰, 冯丽爽, 杨功流 申请人:北京航空航天大学