一种小尺寸ndir型气体传感器的光学结构的利记博彩app
【专利摘要】本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。
【专利说明】一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构
【技术领域】
[0001]本发明涉及NDIR型气体传感器【技术领域】，尤其是一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构。
[0002]
【背景技术】
[0003]气体传感器在室外环境质量、室内空气质量、有毒气体检测等各方面已经广泛应用，目前，主流的气体传感器有半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器和红外吸收气体传感器等几种。其中红外吸收气体传感器有最好的性能参数，包括灵敏度、可靠性、精确度、抗干扰、选择性、校准周期、使用寿命等性能都是最好的。
[0004]NDIR型气体传感器的原理为:在红外光范围内，大多数气体都会在一定的波段带内对红外光有吸收作用，正是利用这种吸收作用来检测特定气体浓度，一般由光源、光学结构(气室)、探测器(含滤波片)三部分构成。光源辐射出红外光，经过气室中待测气体的吸收，到达探测器的能量会减小，通过探测器探测其减小程度，由比尔-朗伯特定律来给出气体浓度，比尔-朗伯特定律的计算公式如下:
【权利要求】
1.一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:包括相对布置的上部本体(I)和下部本体(2)，其上均设置反射凹槽(3)，两相邻反射凹槽(3)之间设置隔板(4)，上部本体(I)的反射凹槽(3)的中心位置处对应下部本体(2)的隔板(4)位置处，下部本体(2)的反射凹槽(3)的中心位置处对应上部本体(I)的隔板(4)位置处，光源(7)、探测器(8)分别布置在上部本体(I)和下部本体(2)的边角处，上部本体(I)和下部本体(2)共同围成由光源(7)到探测器(8)的光学路径。
2.根据权利要求1所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:所述上部本体(I)朝向下部本体(2)的一侧呈凹形，在该凹形内部沿横向自上而下布置平板(9)，平板(9)和隔板(4)垂直交叉布置，反射凹槽(3)位于平板(9)和隔板(4)所围成的区域内，反射凹槽(3)的底面呈半圆状或抛物面状；上部本体(I)的左、右侧侧板内壁上均自上而下设置反射斜板(5 )，反射斜板(5 )呈八字状布置，探测器(8 )与光源(7 )呈对角线分别布置在上部本体(I)的边角处，平板(9)、反射斜板(5)共同围成由光源(7)到探测器(8)的光学路径。
3.根据权利要求1所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:所述下部本体(2)朝向上部本体(I)的一侧呈凹形，在该凹形内部沿横向自上而下布置平板(9)，平板(9)和隔板(4)垂直交叉布置，反射凹槽(3)位于平板(9)和隔板(4)所围成的区域内，反射凹槽(3)的底面呈半圆状或抛物面状；下部本体(2)的左、右侧侧板内壁上均自上而下设置反射斜板(5 )，反射斜板(5 )呈八字状布置，探测器(8 )与光源(7 )呈对角线分别布置在下部本体(2)的边角处，平板(9)、反射斜板(5)共同围成由光源(7)到探测器(8)的光学路径。
4.根据权利要求2所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:每三个所述平板(9)的端部布置一个反射斜板(5)，上部本体(I)的反射斜板(5)位置处对应下部本体(2)的反射斜板位置处。
5.根据权利要求2所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:所述上部本体(I)的左、右两侧侧板上开设用于空气对流的气孔(6)。
6.根据权利要求3所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:每三个所述平板(9)的端部布置一个反射斜板(5)，下部本体(2)的反射斜板(5)位置处对应上部本体(I)的反射斜板位置处。
7.根据权利要求3所述的小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，其特征在于:所述下部本体(2)的左、右两侧侧板上开设用于空气对流的气孔(6)。
【文档编号】G01N21/3504GK103822891SQ201410048364
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2014年2月12日 优先权日:2014年2月12日
【发明者】陶春辉, 李淼, 张健, 高会议, 董俊, 李华龙, 郑守国 申请人:无锡中科智能农业发展有限责任公司, 中国科学院合肥物质科学研究院