专利名称：复合真空计的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及真空度检测领域，提供了一种用于检测真空容器的真空度，直接显示以(Pa)为单位的真空值的数字式真空计。
背景技术：
目前，国内市场上的真空测量仪表品种较多，但由于各种真空测量方法的局限性，每种真空仪表都受其测量上限和下限的限制，可测量的真空范围窄。 发明内容本实用新型的目的在于提供一种复合真空计。本实用新型为了实现上述目的采用以下技术方案一种复合真空计，其特征在于包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系统；所述测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号(热偶规测量)或电流信号(电离规测量)，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A / D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。上述方案中，还包括量程转换单元，和用于对电离规管灵敏度进行控制的稳发射电路，所述量程转换单元与单片机、离子流放大器和稳发射电路连接。上述方案中，所述通讯接口为CAN总线接口。本实用新型具有以下有益效果一、本实用新型采用热偶规和电离规双传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量范围可达2.7 XlO2jPa -l.SxlO^Pa。其中热偶规的测量范围是2.7 XlO2R3 ~ SJxlCr1R3 ,而电离规的测量范围是DPa-1JxlO4Pii。二、本实用新型具有量程自动切换。当真空室压强值在2.7χ102Ρα~15Α范围内时用热偶规测量可得到满意的线性度，而此时由于电离规在该范围内线性度降低，不能使用，仪器可自动控制热偶规进行测量；当真空室压强值在范围时热偶规的线性度降低，不能使用，而电离规测量才能获得高线性度，仪器可自动无扰动地将测量传感器由热偶规切换到的电离规；当真空室压强由7Ra变化到2J XlO2Pa YjPa时，仪器又可自动无扰动地将测量传感器由电离规切换到热偶规。[0014]三、本实用新型能够对热偶规和电离规的测量结果分别用双窗口显示。
图1为本实用新型的系统方框图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明如图1所示，本实用新型提供的真空计包括电源部分、测量部分、多路选通开关、A / D转换器、单片机，与单片机连接LED显示器和键盘。单片机选用。选用Freescale公司的MC9S12系列中的MC9S12DG128。测量部分包括热偶规测量、放大和电离规测量、放大。工作时，测量部分通过传感器(热偶规管和电离规管)对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号(热偶规测量)或电流信号(电离规测量)，采样值再经过模拟信号放 大和调理，经A / D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。另外，智能化真空计具有CAN总线接口，他可通过CAN总线与其他智能设备进行通讯。本实用新型采用热偶规和电离规双传感器检测真空度，在不同的压强下，通过热偶规和电离规的搭配使用测量真空室的压强值，测量范围可达2.7χ102Λ 1.3χ1θΜΛ*
。其中热偶规的测量范围是2.7 XlO2Pa 2.5XlO-1Pa ,而电离规的测量范围是BPa-LSxlO-4Pa。本实用新型具有量程自动切换。当真空室压强值在2.7 XlO2Az-1SPa范围内时用热偶规测量可得到满意的线性度，而此时由于电离规在该范围内线性度降低，不能使用，仪器可自动控制热偶规进行测量；当真空室压强值在7办~13χ 0^Ρα范围时热偶规的线性度降低，不能使用，而电离规测量才能获得高线性度，仪器可自动无扰动地将测量传感器由热偶规切换到的电离规；当真空室压强由 Ρα -!.SxlO-4Pa变化到2:7 XlO2Pii ~15Ρα
时，仪器又可自动无扰动地将测量传感器由电离规切换到热偶规。本实用新型能够对热偶规和电离规的测量结果分别用双窗口显示。
权利要求1.一种复合真空计，其特征在于包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系所述测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A / D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。
2.根据权利要求1所述的一种复合真空计，其特征在于还包括量程转换单元，和用于对电离规管灵敏度进行控制的稳发射电路，所述量程转换单元与单片机、离子流放大器和稳发射电路连接。
3.根据权利要求1所述的一种复合真空计，其特征在于所述通讯接口为CAN总线接□。
专利摘要本实用新型涉及真空度检测领域，提供了一种用于检测真空容器的真空度，直接显示以(Pa)为单位的真空值的复合式真空计。该真空计包括顺序连接的测量部分、多路选通开关、A/D转换器和单片机，所述单片机连接有显示器、键盘通讯接口，还包括为整个系统供电的电源系统；测量部分包括相连接的热偶规管和电势放大器、相连接电离规管和离子流放大器，热电势放大器和离子流放大器均与多路选通开关连接；热偶规管和电离规管对真空室中的压强进行测量，将气体压强转换成电压信号或电流信号，采样值再经过模拟信号放大和调理，经A／D转换后送入单片机，经过数据处理得到相应的压强值并通过显示部分直接显示出来。
文档编号G01L21/00GK202836870SQ20122055898
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月29日 优先权日2012年10月29日
发明者李亮 申请人:成都捷康特科技有限公司