一种测量微小位移的系统的利记博彩app
【专利摘要】一种测量微小位移的系统，包括一个激光器，激光器的输出光经第一耦合器后分为两路，一路接收外接位移信号，另一路经压电陶瓷后，两路一起输入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成两束，两束光分别输入至第一探测器和第二探测器，第一探测器和第二探测器的输出接差分器的输入，本发明在满足测量精度要求的前提下，位移分辨率达到了纳米级，而比起激光干涉仪，体积大大减小，给相关领域的使用带来方便。
【专利说明】一种测量微小位移的系统
[0001]
【技术领域】
[0002]本发明涉及微小位移测量【技术领域】，特别涉及一种测量微小位移的系统。
【背景技术】
[0003]微电子和精密仪器领域，经常要对微小位移进行测量，测量级别为纳米级，目前已有的位移传感器，已经可以实现纳米级的测量，如激光干涉仪，其分辨率高，测量精度好，但是体积较大，使用起来不是很方便，光纤干涉仪体积小，如加以开发则能在很大程度上替代激光干涉仪，给使用代理便利。
【发明内容】
[0004]为了克服上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种测量微小位移的系统，具有结构简单使用方便的特点。
[0005]为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是:
一种测量微小位移的系统，包括一个激光器，激光器的输出光经第一耦合器后分为两路，一路接收外接位移信号，另一路经压电陶瓷后，两路一起输入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成两束，两束光分别输入至第一探测器和第二探测器，第一探测器和第二探测器的输出接差分器的输入。
[0006]与现有技术相比，本发明在满足测量精度要求的前提下，位移分辨率达到了纳米级，而比起激光干涉仪，体积大大减小，给相关领域的使用带来方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]附图为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0008]下面结合附图和实施例对本发明进行更详尽的说明。
[0009]如图所不，本发明为一种测量微小位移的系统，包括一个激光器，激光器的输出光经第一耦合器后分为两路，一路接收外接位移信号，另一路经压电陶瓷后，两路一起输入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成两束，两束光分别输入至第一探测器和第二探测器，第一探测器和第二探测器的输出接差分器的输入。
[0010]本发明的工作原理是:
该结构光路传输均通过光纤实现，从激光器输出的相干光经过第一稱合器后，分为两束光，一束的一端固定在位移驱动器的固定端，另一端固定在位移驱动器的驱动端，位移驱动器产生的微小位移使得该路伸长，也就是该路接收了微小位移信号，该路为信号路。另一束接一个压电陶瓷稳定后，作为信号参考。然后信号路和信号参考路再一起输入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成两束，两束光分别输入至第一探测器和第二探测器，在第一探测器和第二探测器中产生电压信号，第一探测器和第二探测器的输出接差分器的输入，在差分器中将两个电压信号相减后既得最终信号，根据该信号获取位移量。
【权利要求】
1.一种测量微小位移的系统，包括一个激光器，其特征在于，激光器的输出光经第一耦合器后分为两路，一路接收外接位移信号，另一路经压电陶瓷后，两路一起输入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成两束，两束光分别输入至第一探测器和第二探测器，第一探测器和第二探测器的输出接差分器的输入。
【文档编号】G01B11/02GK103727878SQ201210386271
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2012年10月13日 优先权日:2012年10月13日
【发明者】不公告发明人 申请人:陕西杰创科技有限公司