专利名称:一种温度传感器的利记博彩app
技术领域:
本发明属于电子元件技术领域,具体地说,是一种温度传感器的利记博彩app。
背景技术:
温度传感器是温度测量仪表的核心部分,品种繁多,按照传感器材料及电子元件特性分为热电阻和热电偶两类。其中热电阻是中低温区最常用的一种温度检测器,它的主要特点是测量精度高,性能稳定。其中钼热电阻的测量精确度是最高的,它不仅广泛应用于工业测温,而且被制成标准的基准仪。热电阻的测温原理是基于导体或半导体的电阻值随着温度的变化而变化的特性,热电阻大都由纯金属材料制成,目前应用最多的是钼和铜,现在已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。热电阻通常需要把电阻信号通过引线传递到计算机控制装置或者其它二次仪表上,从而实现对温度的测量。现有的温度传感器多为钼温度传感器,该温度传感器在一个陶瓷衬底上施加了一个钼薄膜电阻,陶瓷衬底通常由氧化铝组成,在构成钼薄膜电阻的区域中,在陶瓷衬底的表面设有一层保护釉,其中钼薄膜电阻通常被构成波状的钼层附带地具有连接面,该连接面与导线连接形成导电连接以取得传感器信号,而为了固定端子导线设有一个釉层。上述类型的温度传感器的时效稳定性不能被保证,因为所使用的保护釉在高温情况下通过所需的测量电路时被电化学地分解,在此情况下所出现的材料变迁对钼的特性产生不良影响,以致损害了传感器的稳定性及由此损害了测量精确度。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够制造出测量精度高,性能稳定的温度传感的利记博彩app。为达到上述目的,本发明所采用的方案如下一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于包括如下步骤1)制作衬底选用硅片或蓝宝石,然后在该硅片或蓝宝石上刻上网格,从而制得衬底,与现有的选择陶瓷做衬底相比,选择硅片或蓝宝石较为容易,同时制作难度低;2)淀积将步骤1)得到的衬底用酸性溶液清洗干净,然后在刻有网格的衬底表面沉积一层绝缘材料制成基片,在衬底上沉积绝缘层是为了避免下一步骤溅射钼时,由于硅片为半导体,如果没有绝缘层,钼层就会导电,从而影响温度传感器的测量效果;3)溅射在磁控溅射台上采用磁控溅射的方式将钼溅射在步骤2、所制得的基片上;磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率,通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法, 与现有的蒸发方式相比,磁控溅射利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率;4)第一次退火将步骤3)所得到的产品放在退火炉中进行退火,使钼老化,从而提高钼的性能稳定性;
5)第一次光刻根据设计要求,将步骤4)所得到的产品进行光刻,把需要的部分留下,不需要的部分去掉,即对溅射到基片上的钼层进行光刻,使基片上呈现若干个钼薄膜电阻;6)金属化在步骤幻得到的产品的在引线处磁控溅射一层金,从而使得该金层与导线连接形成导电连接以取得传感器信号;7)第二次退火将步骤6)得到的产品的金层放在退火炉中进行退火,使金老化, 从而提高金的性能稳定性;8)第二次光刻对步骤7)所得到的产品的金层进行光刻,把需要的部分留下,不需要的部分去掉,即使位于基片上的钼层和金层的结构符合设计要求;9)测试将步骤8)得到的产品根据设计进行测试;10)修调采用激光修调仪对步骤9)得到的产品进行修调,使其达到设计的精度;11)划片、切挑根据设计对步骤10)得到的产品进行划片,将其化成若干个单元, 并对划出的单元进行切挑,每个单元中钼层的两端分别连接有金层;12)键合引线采用键合机对步骤11)所得到的产品进行线连接,将引线连接金层上;13)封装采用蜡和外壳将步骤12)得到的产品进行封装,从而得到成品。作为优选步骤4)中第一次退火,将步骤幻所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,加热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时。作为优选步骤7)中第二次退火,将步骤6)所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,加热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时。本发明的显著效果是本发明采用硅片或蓝宝石衬底以及分别溅射钼薄膜电阻和金引线层,从而使得本发明容易制作,同时提高了温度传感器的测量精度和灵敏度;具有结构简单、安全可靠、计量准确等特点。
图1是本发明的工艺流程图。
具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于包括如下步骤1)制作衬底选用硅片或蓝宝石,然后在该硅片或蓝宝石上刻上网格,从而制得衬底,与现有的选择陶瓷做衬底相比,选择硅片或蓝宝石较为容易,同时制作难度低;2)淀积将步骤1)得到的衬底用酸性溶液清洗干净,然后在刻有网格的衬底表面沉积一层绝缘材料制成基片,在衬底上沉积绝缘层是为了避免下一步骤溅射钼时,由于硅片为半导体,如果没有绝缘层,钼层就会导电,从而影响温度传感器的测量效果;3)溅射在磁控溅射台上采用磁控溅射的方式将钼溅射在步骤2、所制得的基片上;磁控溅射是为了在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率,通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法,与现有的蒸发方式相比,磁控溅射利用外加磁场捕捉电子,延长和束缚电子的运动路径,搞高离化率,增加镀膜速率;4)第一次退火将步骤幻所得到的产品放在退火炉中进行退火,使钼老化,从而提高钼的性能稳定性,即是将步骤幻所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,加热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时;5)第一次光刻根据设计要求,将步骤4)所得到的产品进行光刻,把需要的部分留下,不需要的部分去掉,即对溅射到基片上的钼层进行光刻,使基片上呈现若干个钼薄膜电阻;6)金属化在步骤幻得到的产品的在引线处磁控溅射一层金,从而使得该金层与导线连接形成导电连接以取得传感器信号;7)第二次退火将步骤6)得到的产品的金层放在退火炉中进行退火,使金老化, 从而提高金的性能稳定性,即是将步骤6)所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,力口热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时,第二次退火的退火温度只要低于第一次退火的温度即可,这样能够很好的保证退火的良好效果;8)第二次光刻对步骤7)所得到的产品的金层进行光刻,把需要的部分留下,不需要的部分去掉,即使位于基片上的钼层和金层的结构符合设计要求;9)测试将步骤8)得到的产品根据设计进行测试;10)修调采用激光修调仪对步骤9)得到的产品进行修调,使其达到设计的精度;11)划片、切挑根据设计对步骤10)得到的产品进行划片,将其化成若干个单元, 并对划出的单元进行切挑,每个单元中钼层的两端分别连接有金层;12)键合引线采用键合机对步骤11)所得到的产品进行线连接,将引线连接金层上;13)封装采用蜡和外壳将步骤12)得到的产品进行封装,从而得到成品。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不以本发明为限制,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于包括如下步骤1)制作衬底选用硅片或蓝宝石,然后在该硅片或蓝宝石上刻上网格,从而制得衬底;2)淀积将步骤1)得到的衬底用酸性溶液清洗干净,然后在刻有网格的衬底表面沉积一层绝缘材料制成基片;3)溅射在磁控溅射台上采用磁控溅射的方式将钼溅射在步骤幻所制得的基片上;4)第一次退火将步骤幻所得到的产品放在退火炉中进行退火,使钼老化,从而提高钼的性能稳定性;5)第一次光刻根据设计要求,将步骤4)所得到的产品进行光刻,把需要的部分留下, 不需要的部分去掉;6)金属化在步骤幻得到的产品的在引线处磁控溅射一层金;7)第二次退火将步骤6)得到的产品的金层放在退火炉中进行退火,使金老化,从而提高金的性能稳定性;8)第二次光刻对步骤7)所得到的产品的金层进行光刻,把需要的部分留下,不需要的部分去掉;9)测试将步骤8)得到的产品根据设计进行测试;10)修调采用激光修调仪对步骤9)得到的产品进行修调,使其达到设计的精度;11)划片、切挑根据设计对步骤10)得到的产品进行划片,将其化成若干个单元,并对划出的单元进行切挑,每个单元中钼层的两端分别连接有金层;12)键合引线采用键合机对步骤11)所得到的产品进行线连接,将引线连接金层上;13)封装采用蜡和外壳将步骤1 得到的产品进行封装,从而得到成品。
2.根据权利要求所述的一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于步骤4)中第一次退火,将步骤幻所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,加热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时。
3.根据权利要求所述的一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于步骤7)中第二次退火,将步骤6)所得到的产品放入充满惰性气体的退火炉中,加热至温度为400°C 500°C后冷却到炉温,退火时间为半个小时。
全文摘要
本发明公开一种温度传感器的利记博彩app,其特征在于包括如下步骤制作衬底、淀积、溅射、第一次退火、第一次光刻、金属化、第二次退火、第二次光刻、测试、修调、划片、切挑、键合引线和封装。采用上述制造方法采用硅片或蓝宝石衬底以及分别溅射铂薄膜电阻和金引线层,从而使得本发明容易制作,同时提高了温度传感器的测量精度和灵敏度;具有结构简单、安全可靠、计量准确等特点。
文档编号G01K7/18GK102539004SQ201110439829
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月23日 优先权日2011年12月23日
发明者汪松林 申请人:重庆市伟岸测器制造股份有限公司