专利名称：一种透镜面形偏差检测装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及小型球面干涉仪，特别适用于在线无损检验球面镜片曲率半径偏 差、象散偏差、局部偏差的球面干涉仪。
背景技术：
被检光学表面相对于参考光学表面的偏差称面形偏差，面形偏差包括三项半径 偏差、象散偏差、局部偏差。检验抛光后的光学零件面形偏差通常采用光学样板或干涉仪，检验方法都是根据 光的干涉原理。在光学车间检验光学零件的面形偏差，常用的方法有干涉图样法和阴影法。 干涉图样法可分为接触法(即样板法)和非接触法(即干涉仪法)。目前光学加工企业 在线检测常用光学样板对加工镜片接触加压观察干涉环，由于直接接触加压，对镜片的表 面光洁度造成破坏，使得高精度光学镜片的加工过程中好不容易达到了面形精度，检验过 程又破坏了表面光洁，而且光学样板在使用过程中因磨损会给测量结果带来不易察觉的误 差，造成反复返工甚至报废、大大降低了生产效率、增加了生产成本。激光检测技术属于非接触式测量技术，与接触式测量方法相比，干涉测量有更高 的灵敏度和准确度，更高的效率，不会损伤测量表面，不易受被测对象表面状态影响等优 点，扩大了测量范围，在精密、超精密加工测量和实时测控的诸多领域中均获得广泛的应 用。泰曼型干涉测量和斐索型干涉测量是目前两种最为经典、应用也很广泛的干涉测量技 术。目前实验室里、国内外的各种类型干涉仪可以实现对平面和球面光学零件面形的 精确测量，能够达到较高的测量精度但是仪器价格昂贵；在目前的泰曼-格林型、斐索型球 面干涉仪，测量原理都是通过调节待测镜片的球心与有标准镜头射出的标准球面波光束会 聚中心相重合，通过干涉条纹的判读方法，定量处理分析被测镜片的面形偏差。其检测如图 1所示，空间同光轴间隔自左至右依次分布点光源、分束镜、有限共轭距物镜、后表面可实现 半透半反的标准镜头、待测透镜，点光源经过有限共轭距物镜后形成一束平行光，继续前进 在标准镜头的后表面(基准面)，部分反射为参考光束；部分透射并经过待测透镜的被测面 发射为检测光束。检测光束自准直返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹，两束光束经 过分束镜反射后进入观察区域。通过分析干涉条纹情况可实现对待测透镜的被测面的面行 偏差的检测。这样测量范围受到标准镜头相关孔径的限制，需要多种规格的标准镜头，并且 需要一定长度的导轨来实现待测透镜的移动，使基准面的球心与被测面的球心重合。目前 的球面干涉仪只能测量出被测球面面形的局部偏差，干涉图不能反映曲率半径相对名义值 的偏差，所以在实际仪器上带有专门用来测量被测球面曲率半径的附加系统。因此，光学加工企业非常迫切的需要现场应用、特别是对加工过程中的在线检测 的小型化、价格低廉的面形检测系统，实现在线快速无损检验球面镜片的曲率半径偏差、象 散偏差、局部偏差，提高生产效率。发明专利200310122011. 9改进型迈克尔逊干涉仪公开了一种分光器，该分光器是由两片完全相同的等边直角棱镜接和而成的分光棱镜，且在接和面上镀有一层半透半反 膜，它可以实现光束的透镜和反射。它用于波长的测定，未应用到透镜的面形偏差检测。待测透镜处于待测位置其几何位置需要作χ、y、ζ轴空间三方向平动及其球面朝 向，光轴相对角度旋转调节才能满足精确检测，中国专利97231037. 1三维工作台公开了一 种χ、ι、ζ轴调节装置，但不能作旋转及偏摆。
发明内容本实用新型目的在于克服上述缺陷，提供一种透镜面形偏差检测装置。本实用新型方案是装置包括接和面镀有半透半反膜的分光器，其特征在于定 位固定的分光器正上方设置的定位固定的扩束整形装置、扩束整形装置正上方的定位固定 的检测光源、分光器正右方的定位固定的光学样板、分光器正左方的观察接收屏、分光器正 下方的待测透镜组成，扩束整形装置的光束的中心轴线与光学样板的光轴相交于分光器的 接和面上，观察接收屏垂直于光学样板的光轴。本实用新型优点在于1、用光学车间里现有的各种不同曲率半径的光学样板代替价格昂贵的标准镜头 产生干涉的参考波前。2、不用长导轨，使仪器小型化。
图1为现有技术斐索干涉原理图。图2为本实用新型结构示意图。图3为两个同形状等腰三角棱镜接和体示意图。图4为两个同形状长方体接和体示意图。图中1.检测光源，2.扩束整形装置，3.分光器，4.光学样板，4a.光学样板的基准 面，5.待测透镜，5a.待测透镜的待测面，6.观察接收屏，7.镜盘托架，8.万向节上座，9.万 向节下座，10.螺杆，11.万向杆，12.三维工作台
具体实施方式
本实用新型装置包括接和面镀有半透半反膜的分光器3，其特征在于定位固定 的分光器3正上方设置的定位固定的扩束整形装置2、扩束整形装置2正上方的定位固定的 检测光源1、分光器3正右方的定位固定的光学样板4、分光器3正左方的观察接收屏6、分 光器3正下方的待测透镜5组成，扩束整形装置2的光束的中心轴线与光学样板4的光轴 相交于分光器3的接和面上，观察接收屏6垂直于光学样板4的光轴。分光器各有效透射面镀有增透膜。分光器3是两个同形状等边直角棱镜接和体或是两个同形状等腰三角棱镜接和 体或是两个同形状长方体接和体，上述三种接和体的接和面在装置中处于与光学样板4光 轴45度交角状态，三者光学原理是等同的。检测凸待测透镜5时则用凸光学样板4，检测凹检测透镜5时则用凹光学样板4。从检测光源1射出的细光束入射到用于扩大该激光光束直径的扩束整形装置2，由该扩束整形装置2扩束到适应于检测口径的光束直径为止，该光束可以是平行光束或发 散光束。当光束入射到分光器3的半透半反表面分成两束光束，一束光束沿着光轴X方向 射向凸光学样板4或凹光学样板4的基准面4a，经反射后沿原路返回，形成参考波前。另一 束光束沿光轴Y反方向射向凸待测透镜或凹待测透镜的待测面5a，经反射后沿原路返回， 形成测试波前。参考波前与测试波前经分光棱镜汇合后形成干涉，在观察接收屏6处可以 观察到干涉条纹。若干个凸待测透镜5安装在镜盘托架7的外凸球缺体上或是若干个凹待测透镜5 安装在镜盘托架7的碗状体内凹球面上，镜盘托架7下部为圆锥空腔轴套；另设置有五维平 转工作台，工作台结构为三维工作台12顶面上固定一个万向杆11，万向杆11顶部为一个 大于半球形的球台，球台上部套合有万向节上座8，万向节上座8下部中央为半球状空腔凹 槽，另设置有两个对称的万向节下座9，两个万向节下座9合体后上部呈球台状空腔，球台 状空腔下部为圆孔，万向节上座8与万向节下座9将万向杆11球台套合包裹其中后，四螺 杆10穿过万向节下座9的通孔后拧合在万向节上座8的螺纹孔中实施定位；镜盘托架7下 部圆锥空腔套合在万向节上座8上部对应的圆锥外圆上。上述三维工作台12为中国专利号97231037. 1的现有技术，由于万向节上下座与 万向杆11的套合为过渡配合，两者之间有阻尼力作用，所以在调节过程中间镜盘托架7可 以实施定位阻尼转动及偏摆，五维平转工作台可作五维调节。将镜盘托架7上的一个待测透镜5通过五维平转工作台调节使其光轴与扩束整形 装置2的光束的中心轴线重合，并在中心轴线方向上下移动使两束光束的光程大致相等， 在观察接收屏6上可以观察到干涉条纹，而且参考波前和测试波前在前后很大范围内重叠 在一起，因此可在很大的深度范围内观察到清晰的干涉条纹。观察接收屏6沿光学样板4 的光轴中心线方向可以前后移动，以便得到合适的干涉图样，对干涉图样进行分析计算就 可以得到待测透镜的待测面fe的面形偏差。还可以通过在光学样板4上装有压电陶瓷移相器，驱动光学样板4使其产生几分 之一波长量级的光程变化，使干涉场产生变化的干涉图样，通过对干涉图样的处理，自动消 除干涉场中的固定噪声和面阵探测器的不一致性。
权利要求1.一种透镜面形偏差检测装置，包括接和面镀有半透半反膜的分光器(3)，其特征在 于定位固定的分光器C3)正上方设置的定位固定的扩束整形装置O)、扩束整形装置(2) 正上方的定位固定的检测光源(1)、分光器(3)正右方的定位固定的光学样板G)、分光器 (3)正左方的观察接收屏(6)、分光器C3)正下方的待测透镜( 组成，扩束整形装置(2)的 光束的中心轴线与光学样板的光轴相交于分光器(3)的接和面上，观察接收屏(6)垂 直于光学样板的光轴。
2.根据权利要求1所述的一种透镜面形偏差检测装置，其特征在于分光器各有效透 射面镀有增透膜。
3.根据权利要求1或2所述的一种透镜面形偏差检测装置，其特征在于若干个凸待 测透镜( 安装在镜盘托架(7)的外凸球缺体上或是若干个凹待测透镜( 安装在镜盘托 架(7)的碗状体内凹球面上，镜盘托架(7)下部为圆锥空腔轴套；另设置有五维平转工作 台，工作台结构为三维工作台(12)顶面上固定一个万向杆(11)，万向杆(11)顶部为一个 大于半球形的球台，球台上部套合有万向节上座(8)，万向节上座(8)下部中央为半球状空 腔凹槽，另设置有两个对称的万向节下座(9)，两个万向节下座(9)合体后上部呈球台状空 腔，球台状空腔下部为圆孔，万向节上座(8)与万向节下座(9)将万向杆(11)球台套合包 裹其中后，四螺杆(10)穿过万向节下座(9)的通孔后拧合在万向节上座⑶的螺纹孔中实 施定位；镜盘托架(7)下部圆锥空腔套合在万向节上座(8)上部对应的圆锥外圆上。
专利摘要一种透镜面形偏差检测装置，涉及小型球面干涉仪。装置包括接和面镀有半透半反膜的分光器，其特征在于其由定位固定的分光器正上方设置的定位固定的扩束整形装置、扩束整形装置正上方的定位固定的检测光源、分光器正右方的定位固定的光学样板、分光器正左方的观察接收屏、分光器正下方的待测透镜组成，扩束整形装置的光束的中心轴线与光学样板的光轴相交于分光器的接和面上，观察接收屏垂直于光学样板的光轴。优点在于1、用光学车间里现有的各种不同曲率半径的光学样板代替价格昂贵的标准镜头产生干涉的参考波前。2、不用长导轨，使仪器小型化。
文档编号G01B11/24GK201867177SQ20102061429
公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月19日 优先权日2010年11月19日
发明者卓金寨, 林健, 林峰, 梁秀玲, 王敏, 韩振华 申请人:福建师范大学