专利名称：加入光学检查功能的聚焦离子束机台的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种聚焦离子束机台，尤指一种加入光学检查功能的聚焦离子束
机台。
背景技术：
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常 小尺寸的显微切割仪器，现有的聚焦离子束机台利用离子作为电镜检查功能，如图1所示， 包含有腔体71，离子源72，电子侦测器73以及样品座74，离子源72发射离子束轰击样品座 上的样品75表面产生电子，轰击出的二次电子与背向电子再由电子侦测器73收取讯号成 像，即所谓的电子显微影像。 但是，现有的FIB机台利用离子作为电镜检查功能，一般电子显微镜只能观察样 品表层，因此对于多层次芯片的样品只能检查到最上层表层的结构，对于多层次芯片的样 品下层的异常或定位时常花长时间在样品定位的工作上。
发明内容有鉴于上述现有聚焦离子束机台的不足，本实用新型的主要目的在于提供一种 可检查多层次样品各个层次的聚焦离子束机台。 为达到上述目的，本实用新型提供一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，其 包含有腔体，安装于所述腔体内顶部的离子源，安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器，光学 摄像头以及样品座；所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面，所述电子侦测 器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像，所述光学摄像头安装于腔体的内侧 壁电子侦测器旁，拍摄所述样品的光学成像。 本实用新型透过在聚焦离子束机台腔体内加入一光学摄像头可以观察到整个样 品的光学概括，再透过电镜观察对样品进行微观检查功能；本实用新型可以减少定位加速 工程时间，同时可配合光学与电子显微检查来达到查找失效点的目的。
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步地详细说明
图1为现有聚焦离子束机台的简易示意图；以及 图2为本实用新型的简易示意图。
具体实施方式本实用新型的一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，如图2所示，其包含有 腔体IO，安装于所述腔体10内顶部的离子源20，安装于所述腔体10内侧壁的电子侦测器 30，光学摄像头60以及样品座40 ;所述离子源20发射离子束21至放置于样品座40上的 样品50表面，所述电子侦测器30接收样品50表面受到离子束21轰击而激发出的电子51
3成像，所述光学摄像头60安装于腔体10的内侧壁电子侦测器30旁，外接一屏幕(图中未
示)，通过该屏幕可观察到光学摄像头60拍摄到的样品50的光学成像。 本实用新型中的样品50为多层次芯片，使用离子源20与电子侦测器30作为电子
显微观察样品50的最上层表层结构，另外在电子侦测器30旁安装一光学摄像头60，光学摄
像头60观察整个样品50各个层次的结构，因此本实用新型的聚焦离子束机台可以有电子
成像与光学成像两种观察检查方式。本实用新型透过在聚焦离子束机台腔体内加入一光学
摄像头可以由其外接的屏幕持续观察样品各层次的光学概括，要定位或是检查样品查找失
效点时，通过光学摄像头确定位置范围，再透过电镜观察作微观检查，因此本实用新型可以
减少定位加速工程时间，同时可配合光学与电子显微检查达到查找失效点的目的。
权利要求一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，其特征在于，包含有腔体，安装于所述腔体内顶部的离子源，安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器，光学摄像头以及样品座；所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面，所述电子侦测器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像，所述光学摄像头安装于腔体的内侧壁电子侦测器旁，拍摄所述样品的光学成像。
专利摘要本实用新型涉及一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，其包含有腔体，安装于所述腔体内顶部的离子源，安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器，光学摄像头以及样品座；所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面，所述电子侦测器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像，所述光学摄像头安装于腔体的内侧壁电子侦测器旁，拍摄所述样品的光学成像；本实用新型可以减少定位加速工程时间，同时可配合光学与电子显微检查来达到查找失效点的目的。
文档编号G01N23/04GK201523001SQ20092021219
公开日2010年7月7日 申请日期2009年11月10日 优先权日2009年11月10日
发明者张育嘉, 曾元宏 申请人:宜硕科技(上海)有限公司