专利名称：过滤血液细胞的生物芯片及其制造方法
技术领域：
本发明是有关一种生物芯片(Biochip),特别是关于一种过滤血液细胞的
生物芯片及其制造方法。
背景技术：
随着微型化芯片制造技术的蓬勃发展，将微芯片的生产技术引入生物科技 与医疗用途的微型仪器的趋势已成为现今生物学与微机电工程整合发展的趋 势，因而有各种检测用的生物芯片的应用。
一般常用的生物芯片同尝试用来放置如基因、蛋白质或细胞等的大分子
(Macromolecules)，然后再利用生化特性观察其变化的结果，以作为检测病 人的症状，其具有分析可信度及精确性高、分析速度快的特性。
另外，在具有与血液相关疾病的病人，在治疗时通常是以药物的方式对血 液细胞实施药物性治疗，此药物治疗方式会对所有的血液细胞作影响，而不会 针对受疾病感染或病变的细胞作专一性的治疗。
因此，本发明在提出一种制作成本低且可过滤血液细胞的生物芯片及其制 造方法。
发明内容
本发明的一目的是提出一种过滤血液细胞的生物芯片，借由集成电路的亚 微米制程而于一生物芯片上形成多个微米孔洞，可以过滤一般正常人的血液细 胞。
本发明的另一目的是在提供一种过滤血液细胞的生物芯片的制造方法，其 是利用集成电路制程制造，可以大量生产使成本降低，且可以较少的程序制作 使制造简单化。
根据本发明所提出的过滤血液细胞的生物芯片，其包括 一基板，其具有
3一特定形状，基板中间具有一凹陷部位，凹陷部位设有数个具有特定几何形状 的穿孔，且数个穿孔的椭圆形孔径为短径2.5lim至3.6lim，长径为25um至 50 ti m。
另外，本发明所提出的过滤血液细胞的生物芯片制造方法包括提供一基 板；于基板表面蚀刻一凹陷部；以及在凹陷部实施等离子蚀刻形成数个具有一 特定几何形状的穿孔穿过基板，且每一穿孔的椭圆形孔径为短径2.5 U m至3.6 U m， 长径为25 H m至50 U w。
以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本发明的目 的、技术内容、特点及其所达成的功效。
图1为本发明的正面示意图。 图2为本发明的剖面示意图。 图3A 图3C为本发明的制造方法流程图。
具体实施例方式
本发明是借由集成电路的制程而形成一具有数个微米大小孔洞的生物芯片。
请参阅图1所示为本发明的正面示意图，包括一基板10，基板10为一为 硅基板或晶圆(wafer)，其形状为一边长约1.5 cm的正方形，基板10中间具 有一凹陷部位12，凹陷部位12为一边长约l.Ocm左右的正方形并设有数个椭 圆形形状的穿孔穿透基板的背面如图2所示本发明的剖面示意图，凹陷部位12 距离该基板背面约50 u w至60u w，且穿孔的椭圆形孔径为短径2.5 u m至3.6 U m， 长《5为25 y m至50 U m。
上述的具有微米穿孔的生物芯片的穿孔的椭圆形孔径的短径为2.5um至
3.6wm，刚好可以通过一般正常人的血液中细胞，如白血球、红血球或血小板 等，这些血液中的细胞的直径小于3um，所以当一患有血液疾病的病人的血液 细胞受到病毒感染时，血液中受感染的细胞会因结构改变而增加体积，/其直径 会大于3y/n，如此一来，就可利用本发明将病人受感染的细胞阻挡而让正常细胞通过，使得病人的血管中只能流通正常细胞，能够对病患有很大的助益，也 能提供医生在治疗血液相关的疾病时有一方便且简易的治疗工具。
图3A 图3C为本发明的制造方法流程图，如图3A 图3B所示，在基板 20表面以氢氟酸蚀刻成一边长约为lcm的正方形凹陷部22，其中，基板厚度 约为300wm至500P m且凹陷22部距离该基板背面约50u m至60um;接 着，如图3C所示，在凹陷部22实施等离子蚀刻形成数个具有一椭圆形的穿孔 穿过该基板，且每一穿孔的孔径为短径2.5Pm至3.6iim，长径为25y/w至50 y w。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而己，并非用来限定本发明实施的范 围。故凡是依据本发明权利要求书所述的形状、构造、特征及精神所为的均等 变化与修饰，均应包括于本发明的要求保护的范围内。
权利要求
1. 一种过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于包括一基板，其具有一特定形状，该基板中间具有一凹陷部位，该凹陷部位设有数个椭圆形的穿孔，且该等穿孔的椭圆形孔径的短径为2.5μm至3.6μm，长径为25μm至50μm。
2. 如权利要求1所述的过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于，该基板是 为硅基板或晶圆。
3. 如权利要求1所述的过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于，该基板厚 度为300u w至500u m。
4. 如权利要求1所述的过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于，该特定形 状为一正方形或长方形。
5. 如权利要求1所述的过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于，该凹陷部 位为一正方形或长方形。
6. 如权利要求1所述的过滤血液细胞的生物芯片，其特征在于，该凹陷部 位距离该基板背面约50u w至60um。
7. —种过滤血液细胞的生物芯片制造方法，其特征在于包括 提供一基板；于该基板表面蚀刻一凹陷部；以及在该凹陷部实施等离子蚀刻形成数个椭圆形的穿孔穿过该基板，且每一该 穿孔的椭圆形孔径为短径2.5" m至3.6y m，长径为25y m至50y m。
8. 如权利要求7所述的过滤血液细胞的生物芯片制造方法，其特征在于， 该基板系为硅基板或晶圆。
9. 如权利要求7所述的过滤血液细胞的生物芯片制造方法，其特征在于， 该基板厚度约为300um至500um。
10. 如权利要求7所述的过滤血液细胞的生物芯片制造方法，其特征在于， 该基板表面是以氢氟酸蚀刻成该凹陷部。
全文摘要
本发明提供一种过滤血液细胞的生物芯片及其制造方法，生物芯片包括一基板，其具有一特定形状，该基板中间具有一凹陷部位，该凹陷部位设有数个椭圆形的穿孔，且该等穿孔的椭圆形孔径的短径为2.5μm至3.6μm，长径为25μm至50μm。由于该生物芯片具有数个微形孔可以过滤人体血液中的正常细胞，而将受细菌感染或病变的细胞阻挡住，如此可以应用在医学或生物学的领域中，使人体血液的清洗很容易的被处理，且本发明应用芯片制程方式制造可以简化生产成本及适合大量生产的制造方式。
文档编号G01N33/483GK101446584SQ20071019409
公开日2009年6月3日 申请日期2007年11月27日 优先权日2007年11月27日
发明者郑秋雄 申请人:环国科技股份有限公司