专利名称：一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置的利记博彩app
技术领域：
本发明属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像 光学仪器成像质量测试装置。
背景技术：
对成像光学仪器系统的成像质量评价是光学仪器研发过程中必 不可少的环节，也是仪器应用功能验证的重要指标之一。光学系统成 像质量评价方法主要有星点法、刀口法、阴影法、分辨率测量、调制 传递函数测量等。其中分辨率测量是最简单，最直接的方法。 一般情 况下，大多数可见或红外光学仪器系统采用分辨率测量的的检测方法 和装置如参考图l，表述如下光源1产生的平行光通过鉴别率板2 后经反射镜3和4，最后经过待检成像系统5在探测器6上成像，根 据所成影像中鉴别率板的线对的清晰程度，经过计算既可得到待检成 像光学系统的分辨率数据。
随着极紫外光刻光学和空间高分辨率极紫外成像光学系统研究 的深入，迫切需要一种能在极紫外波段检测该波段光学成像系统的成 像质量的装置。对于极紫外成像光学系统的成像质量尤其是分辨率的
检测用前面所述的通常做法是无法实现的。这是因为极紫外光无法
在除真空以外的任何其它介质中传播,而常规的分辨率板都是在石英
玻璃或其它光学材料上进行刻画而得到的，所以用常规的分辨率板不
能实现极紫外成像系统成像质量检测。
发明内容
本发明的目的在于:参照普通成像光学仪器系统成像质量检测方 法，设计一种能够用于极紫外成像光学系统成像质量检测的装置。
为实现上述目的，在本发明中设计了如图2所表示的检测装置， 整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束经过 精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极紫外 成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与所成 的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。
极紫外光源可选择空心阴极光源或者激光等离子体光源，网栅可 通过微机械加工方法、常规光刻或者同步辐射LIGA工艺获得，网栅 网格精度2—25um.。用金属镍制成。
本发明的有益效果为提供了一种结构简单、性能可靠能够对 极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。
图1为大多数可见或红外光学仪器系统采用分辨率测量的的检 测方法和装置。
图2为本发明极紫外成像光学系统成像质量检测的装置。 图3为金属网栅的放大照片。 其中图2为说明书摘要附图。
具体实施例方式
具体实施方式
l:
整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束
经过精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极 紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与 所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。 极紫外光源可选择空心阴极光源，网栅可通过微机械加工方法、 获得，网栅网格精度19um.。用金属镍制成。
具体实施方式
2:
整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束 经过精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极 紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与 所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。
极紫外光源选择激光等离子体光源，网栅可通过同步辐射LIGA 工艺获得，网栅网格精度13um.。用金属镍制成。
具体实施方式
3:
整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束 经过精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极 紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与 所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。
极紫外光源选择激光等离子体光源，网栅通过同步辐射LIGA 工艺获得，网栅网格精度2lim.。用金属镍制成。
权利要求
1、一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置，光源(1)产生的平行光通过鉴别率板(2)后经反射镜(3)和(4)，最后经过待检成像系统(5)在探测器(6)上成像，根据所成影像中鉴别率板的线对的清晰程度，经过计算既可得到待检成像光学系统的分辨率数据，其特征是所述鉴别率板(2)是精密刻画的金属栅网(7)。
2、 根据权利要求1所述的一种6nm—100nm波段极紫外成像光学 仪器成像质量测试装置，其特征是所述光源(1)为激光等离子体 极紫外光源。
3、 根据权利要求1或2所述的一种6nm—100nm波段极紫外成像 光学仪器成像质量测试装置，其特征是所述网栅网格精度2—25U m.。
4、 根据权利要求3所述的一种6nm—100nm波段极紫外成像光学 仪器成像质量测试装置，其特征是所述网栅用金属镍制成。
全文摘要
本发明属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本发明中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源1发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网7后，打到反射镜3和4，最后经过待测极紫外成像光学系统5在极紫外相机6上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本发明的有益效果为提供了一种结构简单、性能可靠能够对极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。
文档编号G01M11/00GK101169349SQ20061016327
公开日2008年4月30日 申请日期2006年12月18日 优先权日2006年12月18日
发明者岩 巩 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所