专利名称：用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及用于测量台位移的具有波罗棱镜的外差激光干涉仪。
背景技术：
标准的平面镜干涉仪构造可以用于台位移和旋转的多轴测量。但是，此构造对旋转测量具有缺点。当台旋转时，测量束相对于检测器上的参考束位置平移或者偏离。参考束与测量束的重叠量随此偏离而减小。任何减小此偏离的方案都具有优良的动态范围。
除了建立偏离外，台绕任意轴的旋转还可以建立参考束和测量束之间的角度(也称为“束指向”)。两种效果都限制了测量的动态范围。已经以多种形式实现角反射器和脊反射器(roof reflector)，来最小化束指向并扩展动态范围。
在过去已经实现了双程“脊”镜干涉仪设计。美国专利No.6,208,424(“de Groot”)公开了示例性的双程脊镜设计。此de Groot设计要求台上有很大空间来测量一个轴，因为测量束在垂直(Z方向)和水平(Y方向)上都被分开以在四个不同位置处投射到脊镜上。这对晶片光刻是不期望的特征。当台尺寸要求很大时，被测量要求所限制的台更大更重。更重的台可能又限制晶片产量。一般而言，使位移测量所要求的台上空间最小化可以有助于晶片产量。
由此，所需要的是在减小台尺寸要求的同时最小化参考束和测量束之间的偏离和角度的干涉仪设计。
发明内容
在本发明的一个实施例中，一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统包括(1)安装到台的测量脊镜(measurement roof optic)(例如波罗棱镜)，所述台可以沿所述第一方向平移；(2)偏振束分光器，其具有(a)与所述测量脊镜相对的第一面和(b)与所述第一面相反的第二面；(3)位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片；和(4)与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜(redirecting optic)。通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。
图1、2和3图示了在本发明一个实施例中最小化束指向和偏离的干涉仪系统。
图4A、4B、5和6图示了在本发明另一个实施例中最小化束指向和偏离的干涉仪系统。
图7图示了在本发明一个实施例中图1、2和3中干涉仪系统的一种变化。
在不同图中使用相同的标号来表示相似或者相同的元件。附图不是按比例绘制的，而仅仅是为了举例说明的目的。
具体实施例方式
图1图示了本发明一个实施例中的干涉仪系统100。虽然定向为测量沿着Z方向的位移，但系统100也可以被定向来沿着任何轴线进行测量。
激光源101将相干准直光束射向偏振束分光器(PBS)103的左表面102。该光束由两个正交偏振频率分量构成。一个频率分量fA(例如最初相对于PBS斜边表面S偏振的测量束)进入系统的测量路径，而另一个频率分量fB(例如最初相对于PBS斜边表面P偏振的参考束)进入系统的参考路径。
图2单独图示了测量路径。该测量路径包括到测量脊镜104(例如波罗棱镜)的两次穿行。波罗棱镜是45-90-45°反射棱镜，其具有形成90°角的两个反射表面以将光束反射通过180°的总角度。测量波罗棱镜104被安装到台108，将要测量该台108沿着Z方向的平移。在第一测量穿行中，偏振束分光器(PBS)103将测量束反射通过下表面105到半波片106。半波片106将测量束的偏振状态从S偏振旋转到P偏振。测量束然后传播到测量波罗棱镜104的一个反射表面。测量波罗棱镜104具有基本上沿着Y方向的脊，其延伸到纸面中或者延伸到纸面之外。测量波罗棱镜104从两个反射表面反射测量束，并且测量束在偏移路径中不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下返回到PBS 103。因为当测量束入射到测量波罗棱镜104时其基本上P偏振，所以由测量波罗棱镜104的反射几乎不造成相移。不过，可以在测量波罗棱镜104的输入表面上设置适当的涂层来减小任何不期望的相移。
PBS 103现在将测量束传递通过上表面109到重定向镜110(例如立方角回射器)。立方角110从三个反射表面反射测量束，并且测量束在偏移但平行的路径中离开立方角110回到PBS 103。由此，立方角110使测量束在X方向上偏移，并且回射束由于台绕X方向旋转而倾斜。可以在立方角110的反射表面上设置适当的涂层来减小任何不期望的相移。PBS103再次将测量束通过下表面105向着半波片106传递，这开始了通过系统100的第二测量穿行。
在第二测量穿行中，半波片106将测量束的偏振状态从P偏振旋转回到S偏振。测量束然后传播到测量波罗棱镜104。测量波罗棱镜104再次在偏移路径中不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下将测量束反射回PBS103。PBS 103现在将测量束反射通过左表面102到检测器112。
图3单独图示了参考路径。参考路径包括到参考脊镜114(例如波罗棱镜)的两次穿行。在第一参考穿行中，PBS 103将参考束传递通过右表面115到半波片116。半波片116将参考束的偏振状态从P偏振旋转到S偏振。参考束然后传播到参考波罗棱镜114的一个反射表面。
参考波罗棱镜114具有基本上沿着Y方向的脊，其延伸到纸面中或者延伸到纸面之外。参考波罗棱镜114从两个反射表面反射测量束，并且测量束在偏移路径中不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下返回到PBS103。参考波罗棱镜114还帮助使通过干涉仪参考路径中玻璃的光路与通过测量路径中玻璃的光路相匹配，这使热效应最小化。因为当参考束入射到参考波罗棱镜114时其基本上S偏振，所以由参考波罗棱镜114的反射几乎不造成相移。不过，可以在参考波罗棱镜114的反射表面上设置适当的涂层来减小任何不期望的相移。在一个实施例中，用回射器代替参考波罗棱镜114。在该实施例中，测量和参考路径将与图1所示的相同。
PBS 103现在将参考束反射通过上表面109到立方角110。立方角110从三个反射表面反射参考束，并且参考束在偏移但平行的路径中离开回到PBS 103。PBS 103将参考束向着半波片116反射，这开始了通过系统100的第二参考穿行。
在第二参考穿行中，半波片116将参考束的偏振状态从S偏振旋转回到P偏振。参考束然后传播到参考波罗棱镜114。参考波罗棱镜114再次在偏移路径中不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下将参考束反射回PBS103。参照图1，PBS 103现在将参考束与测量束重新结合，并将其传递到检测器112。检测器112然后测量重新结合的束的相位变化，来确定台108沿Z方向的相对位移。
图7图示了干涉仪系统100A，其是本发明一个实施例中干涉仪系统100的变化。在系统100A中，参考波罗棱镜114被参考平面镜114A所代替，而半波片116被延伸跨越PBS 103的右表面115的四分之一波片116A所代替。为了确保使通过测量和参考路径中玻璃的光路相平衡，将玻璃块122放置在四分之一波片116A和参考平面镜114A之间。或者，玻璃块122可以放置在四分之一波片116A和PBS 103之间。此外，四分之一波片116A或者玻璃块122可以涂有代替参考平面镜114A的反射涂层。
系统100A中的测量路径与系统100中的测量路径相同，并且将不再重复。
在参考路径中，PBS 103将参考束传递通过四分之一波片116A和玻璃块122到参考平面镜114A上。参考平面镜114A将参考束反射回其自身上并且通过四分之一波片116A而返回。因为参考束穿行通过四分之一波片116A两次，所以新的S偏振的参考束被PBS 103反射到立方角110中。立方角110在偏移但平行的路径中将参考束返回到PBS 103中。
PBS 103将参考束反射通过四分之一波片116A和玻璃块122到参考平面镜114A上。参考平面镜114A将参考束反射回其自身上并且通过四分之一波片116A而返回。新的P偏振的参考束与测量束重新结合，并由PBS103传递到检测器112上。
图4图示了本发明一个实施例中的干涉仪系统400。虽然被定向为测量沿着Z轴的位移，但系统400可以被定向为沿着任何轴线进行测量。
如上所述，激光源101将由两个正交偏振频率分量构成的光束射到PBS 103的左表面102。同样，一个频率分量fA(例如最初相对于PBS斜边表面S偏振的测量束)进入系统的测量路径，而另一个频率分量fB(例如最初相对于PBS斜边表面P偏振的参考束)进入系统的参考路径。
图5单独图示了测量路径。测量路径包括到测量脊镜404(例如波罗棱镜)的两次穿行，测量脊镜404被安装到其沿着Z方向的平移将被测量的台108。在第一测量穿行中，PBS 103将测量束反射通过下表面105到四分之一波片406。四分之一波片406将线偏振光转换成圆偏振光。测量束然后入射到测量波罗棱镜404的脊。测量波罗棱镜404具有基本上沿着Y方向的脊，其在纸面上水平延伸。测量波罗棱镜404在不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下将测量束反射回去通过四分之一波片406。
因为当测量束入射到测量波罗棱镜404时其为圆偏振，所以从棱镜404的反射可能引起不期望的相移，并可能将测量束的偏振从圆改变为椭圆。因此，对于由单块玻璃制成的测量波罗棱镜404，可以在棱镜404的两个反射表面上设置合适的涂层420(图4B)，来补偿不期望的相移并且将旋向性从左向右或者从右向左地改变。在S偏振和P偏振之间产生180(以360为模)度的相移将实现该目的。
在BK7测量波罗棱镜404的一个实施例中，涂层420包括二氧化硅(SiO2)的第一层，其具有1.7504的四分之一波光学厚度(QWOT)并且被形成在棱镜404的未涂覆的玻璃表面415A和415B上；二氧化钛(TiO2)层的第二层，其具有1.2771的QWOT并且被形成在第一层上；SiO2的第三层，其具有1.6731的QWOT并且被形成在第二层上；和TiO2的第四层，其具有1.9918的QWOT并且被形成在第三层上。QWOT等于4×n×t除以λ，其中n是折射率，t是物理厚度，而λ是设计波长。TiO2和SiO2的折射率在633nm设计波长处分别是2.432和1.477。涂层420可以通过离子辅助的物理气相沉积(PVD)来形成。每个反射表面上的涂层420在45度的入射角下实现S偏振和P偏振之间的90度相移。因此，在离开测量波罗棱镜404后，涂层420已经在返回束上产生180度的总相移，并且圆偏振将旋向性从左向右或从右向左地改变。
在另一个实施例中，产生0度相移的第一涂层形成在测量波罗棱镜404的一个反射表面上，并且产生180度相移的第二涂层形成在测量波罗棱镜404的另一个反射表面上。因此，涂层在返回束上产生180度的总相移，并且圆偏振将旋向性从左向右或从右向左地改变。
回头参照图5，四分之一波片406将圆偏振光转换成线偏振光。测量束然后传播到PBS 103。PBS 103现在将测量束传递通过上表面109到立方角110。由此，立方角110在Y方向上偏移测量束，并且回射束由于台绕X方向旋转而倾斜。在另一个实施例中，立方角110被波罗棱镜所代替。立方角110从三个反射表面反射测量束，并且测量束在偏移但平行的路径中离开而回到PBS 103。可以在立方角110的反射表面上设置适当的涂层来减小任何不期望的相移。PBS 103再次将测量束通过下表面105向着四分之一波片406传递，这开始了通过系统400的第二测量穿行。
在第二测量穿行中，四分之一波片406将线偏振光转换成圆偏振光。测量束然后入射到测量波罗棱镜404的脊。测量波罗棱镜404然后在不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下将测量束反射回去通过四分之一波片406。四分之一波片406将圆偏振光转换成线偏振光。测量束然后传播到PBS 103。PBS 103现在将测量束反射通过左表面102到检测器112。
图6单独图示了参考路径。参考路径包括到参考脊镜414(例如波罗棱镜)的两次穿行。在第一参考穿行中，PBS 103将参考束传递通过右表面115到四分之一波片416。四分之一波片416将线偏振光转换成圆偏振光。参考束然后入射到参考波罗棱镜414的脊。参考波罗棱镜414具有基本上沿着Y方向的脊，其在纸面上水平延伸。参考波罗棱镜414在不绕Z方向相对于输入束倾斜的情况下将参考束反射回去通过四分之一波片416。
因为当参考束入射到参考波罗棱镜414时其为圆偏振，所以从棱镜414的反射可能引起不期望的相移，并可能将参考束的偏振从圆改变为椭圆。因此，对于由实心玻璃块制成的参考波罗棱镜414，可以在镜414的反射表面上设置与上述涂层420相似的涂层422(图4B)，来补偿不期望的相移并且保持圆偏振。
在另一个实施例中，参考波罗棱镜414被参考平面镜所代替。但是，如果测量波罗棱镜404由实心玻璃制成，则可以在参考路径中放置玻璃块，来使通过测量和参考路径中玻璃的光路相平衡，与图7所示构造相似。
回头参照图6，四分之一波片416将圆偏振光转换成线偏振光。参考束传播到PBS 103。PBS 103现在将参考束反射通过上表面109到立方角110。立方角110从三个反射表面反射参考束，并且参考束在偏移但平行的路径中离开而回到PBS 103。PBS 103再次将参考束通过右表面115向着四分之一波片416反射，这开始了通过系统400的第二参考穿行。
在第二参考穿行中，四分之一波片416将线偏振光转换成圆偏振光。参考束然后入射到参考波罗棱镜414的脊。参考波罗棱镜414然后在不绕Z方向相对于输入束倾斜的情况下将参考束反射回去通过四分之一波片416。四分之一波片416将圆偏振光转换成线偏振光。参考束然后传播到PBS 103。PBS 103现在将参考束与测量束重新结合，并将其传递到检测器112。检测器112然后测量重新结合的束的拍频变化，来确定台108沿Z方向的相对位移。
在系统100和400的操作中，波罗棱镜104和404通过确保测量束在不绕Y方向相对于输入束倾斜的情况下进入和离开(即最小化束指向)，来容纳台108沿Y方向的旋转。但是，根据台108的旋转轴118(图1)和418(图4)的位置，测量束的输入和输出路径之间的间距可能改变，并由此导致在检测器112处的偏离。在本实施例中，旋转轴118和418位于测量波罗棱镜104和404内部，以最小化检测器112处的偏离。最优旋转轴与波罗棱镜的脊轴平行。如果从输入表面到波罗棱镜的脊的高度为“h”，且波罗棱镜材料的折射率为“n”，那么此最优旋转轴位于波罗棱镜内离波罗棱镜输入表面的距离h/n处。通常台可以绕任何轴旋转，但台绕这些其他轴的旋转可能导致束偏离。平行但偏移最优轴的旋转不认为是对此系统动态范围的严重限制。
在一个实施例中，测量波罗棱镜104和404每个都被中空镜所代替，该中空镜具有定向成彼此垂直的两个反射表面。在该实施例中，旋转轴118和418可以位于镜104和404的脊处，以最小化检测器112处的偏离。注意，上述实施例中的其他波罗棱镜也可以被这种镜所代替。
系统100、110A和400比现有技术更好地节约空间。测量束现在仅在两个位置处入射到测量波罗棱镜104和404，由此减小了系统100、100A和400的整体尺寸。具体而言，在系统100和100A中，测量和参考束仅在沿X和Z方向的平面中行进，因此在标称对准情况下没有沿Y方向的束分离。在系统400中，测量和参考束仅在沿Y和Z方向的平面中行进，因此在标称对准情况下没有沿X方向的束分离。
所公开实施例的特征的各种其他适应修改和组合都在本发明的范围内。附图中示出了“转向”配置，即干涉仪输入束与基本上垂直于测量轴的方向对齐的配置。但是，“未转向”配置是对部件的不重要的重新布置，使得干涉仪输入束与测量方向一致。注意，上述实施例中说明的任何波片都可以是单独的波片或者在光学部件上形成的波片涂层。各种实施例都被所附权利要求所包括。
权利要求
1.一种系统，用于测量沿第一方向的位移，包括安装到台的测量脊镜，所述台可以沿所述第一方向平移；偏振束分光器，其包括与所述测量脊镜相对的第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片，其中所述第一波片至少部分地跨越所述偏振束分光器的所述第一表面而延伸；与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜，其中通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。
2.如权利要求1所述的系统，其中所述测量脊镜是波罗棱镜，并具有基本上与第三方向对齐的脊，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向；并且在所述测量路径中，测量束从所述偏振束分光器通过所述第一波片而行进到所述测量波罗棱镜上，从所述测量波罗棱镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，穿过所述偏振束分光器到所述重定向镜上，从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，穿过所述偏振束分光器和所述第一波片到所述测量波罗棱镜上，从所述测量波罗棱镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，并且从所述偏振束分光器行进到检测器。
3.如权利要求1所述的系统，其中所述测量脊镜是波罗棱镜，并具有基本上与所述第二方向对齐的脊；并且在所述测量路径中，测量束从所述偏振束分光器通过所述第一波片而行进到所述测量波罗棱镜的所述脊上，从所述测量波罗棱镜基本上反射回其自身并到所述第一波片上，穿过所述第一波片和所述偏振束分光器到所述重定向镜上，从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，穿过所述偏振束分光器和所述第一波片到所述测量波罗棱镜的所述脊上，从所述测量波罗棱镜反射回其自身并到所述第一波片上，穿过所述第一波片到所述偏振束分光器上，并且从所述偏振束分光器行进到检测器。
4.如权利要求3所述的系统，还包括在所述测量波罗棱镜的未涂覆玻璃反射表面上的相位补偿涂层。
5.如权利要求4所述的系统，其中所述相位补偿涂层包括所述未涂覆玻璃反射表面上的第一层，所述第一层包括二氧化硅和1.7504的四分之一波光学厚度；在所述第一层上的第二层，所述第二层包括二氧化钛和1.2771的四分之一波光学厚度；在所述第二层上的第三层，所述第三层包括二氧化硅和1.6731的四分之一波光学厚度；在所述第三层上的第四层，所述第四层包括二氧化钛和1.9918的四分之一波光学厚度，其中所述这些厚度都是在633nm设计波长处的四分之一波光学厚度。
6.如权利要求1所述的系统，其中所述偏振束分光器还包括第三表面，所述系统还包括与所述第三表面相对地定位的参考镜；至少部分地位于所述参考镜和所述偏振束分光器的所述第三表面之间的第二波片；其中通过所述系统的参考路径仅包括基本上位于由所述第一方向和所述第二方向所界定的平面中的部分。
7.如权利要求6所述的系统，其中，在所述参考路径中，参考束从所述偏振束分光器通过所述第二波片而行进到所述参考镜上，从所述参考镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，从所述偏振束分光器反射到所述重定向镜上，从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，从所述偏振束分光器反射通过所述第二波片到所述参考镜上，从所述参考镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，并且从所述偏振束分光器行进到检测器。
8.如权利要求7所述的系统，其中所述第一波片和所述第二波片是半波片，并且所述参考镜是从包括波罗棱镜和回射器的组中选择的。
9.如权利要求6所述的系统，其中，在所述参考路径中，参考束从所述偏振束分光器通过所述第二波片而行进到所述参考镜上，从所述参考镜基本上反射回其自身并到所述偏振束分光器中，从所述偏振束分光器反射到所述重定向镜，从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上，从所述偏振束分光器反射通过所述第二波片并到所述参考镜上，从所述参考镜基本上反射回其自身并到所述偏振束分光器中，并且从所述偏振束分光器行进到检测器。
10.如权利要求9所述的系统，其中所述第一波片是半波片，所述第二波片是四分之一波片，并且所述参考镜是平面镜。
11.如权利要求9所述的系统，其中所述第一波片和所述第二波片是四分之一波片，并且所述参考镜是包括基本上与所述第一方向对齐的脊的波罗棱镜。
12.如权利要求11所述的系统，还包括在所述波罗棱镜的未涂覆玻璃反射表面上的相位补偿涂层。
13.一种方法，用于测量沿第一方向的位移，包括提供通过偏振束分光器、第一波片、测量脊镜和重定向镜的测量路径，其中所述测量路径的各部分仅位于基本上沿着所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中。
14.如权利要求13所述的方法，其中所述提供测量路径的步骤包括使测量束从所述偏振束分光器定向到所述第一波片；使所述测量束穿过所述第一波片并到所述测量脊镜上，所述测量脊镜的脊平行于第三方向，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向；使所述测量束从所述测量脊镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上；使所述测量束穿过所述偏振束分光器并到所述重定向镜上；使所述测量束从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上；使所述测量束穿过所述偏振束分光器和所述第一波片到所述测量脊镜上；使所述测量束从所述测量脊镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器上；和使所述测量束从所述偏振束分光器定向到检测器。
15.如权利要求13所述的方法，其中所述提供测量路径的步骤包括使测量束从所述偏振束分光器定向到所述第一波片；使所述测量束穿过所述第一波片并到所述测量脊镜的脊上，所述测量脊镜的所述脊平行于所述第二方向；使所述测量束从所述测量脊镜基本上反射回其自身并到所述第一波片上；使所述测量束穿过所述第一波片和所述偏振束分光器到所述重定向镜上；使所述测量束从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器中；使所述测量束穿过所述偏振束分光器和所述第一波片到所述测量脊镜的所述脊上；使所述测量束从所述测量脊镜基本上反射回其自身并到所述第一波片上；使所述测量束穿过所述第一波片并进入所述偏振束分光器中；和使所述测量束从所述偏振束分光器定向到检测器。
16.如权利要求15所述的方法，其中所述测量脊镜是波罗棱镜，并且使所述测量束从所述测量脊镜反射的所述步骤还包括补偿所述测量束的相移来改变所述测量束的偏振状态的旋向性。
17.如权利要求13所述的方法，还包括提供通过所述偏振束分光器、第二波片、参考镜和所述重定向镜的参考路径，其中所述参考路径的各部分仅位于基本上沿着所述第一方向和所述第二方向所界定的平面中。
18.如权利要求17所述的方法，其中所述提供参考路径的步骤包括使参考束从所述偏振束分光器定向通过所述第二波片并到所述参考镜上；使所述参考束从所述参考镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器中；使所述参考束从所述偏振束分光器反射到所述重定向镜；使所述参考束从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器中；使所述参考束从所述偏振束分光器反射通过所述第二波片到所述参考镜中；使所述参考束从所述参考镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器中；和使所述参考束从所述偏振束分光器定向到检测器。
19.如权利要求18所述的方法，其中所述第一波片和所述第二波片是半波片，并且所述参考镜是从包括波罗棱镜和回射器的组中选择的。
20.如权利要求17所述的方法，其中所述提供参考路径的步骤包括使参考束从所述偏振束分光器定向通过所述第二波片并到所述参考镜上；使所述参考束从参考镜基本上反射回其自身并到所述第二波片上；使所述参考束穿过所述第二波片并到所述偏振束分光器中；使所述参考束从所述偏振束分光器反射到所述重定向镜；使所述参考束从所述重定向镜以偏移但基本上平行的路径反射到所述偏振束分光器；使所述参考束从所述偏振束分光器反射到所述第二波片上；使所述参考束穿过所述第二波片到所述参考镜上；使所述参考束从所述参考镜基本上反射回其自身并到所述第二波片上；使所述参考束穿过所述第二波片到所述偏振束分光器中；和使所述参考束从所述偏振束分光器定向到检测器。
21.如权利要求20所述的方法，其中所述第一波片是半波片，所述第二波片是四分之一波片，并且所述参考镜是平面镜。
22.如权利要求20所述的系统，其中所述第一波片和所述第二波片是四分之一波片，并且所述参考镜是包括基本上与所述第一方向对齐的脊的波罗棱镜。
23.如权利要求22所述的系统，还包括在所述波罗棱镜的未涂覆玻璃反射表面上的相位补偿涂层。
全文摘要
本发明公开了一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统，包括(1)安装到台的测量脊镜(例如波罗棱镜)，所述台可以沿所述第一方向平移；(2)偏振束分光器，其具有(a)与所述测量脊镜相对的第一表面和(b)与所述第一表面相反的第二表面；(3)位于所述测量脊镜和所述偏振束分光器的所述第一表面之间的第一波片；和(4)与所述偏振束分光器的所述第二表面相对地定位的重定向镜。通过所述系统的测量路径仅包括基本上位于由所述第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向所界定的平面中的部分。
文档编号G01B9/02GK1724968SQ200510079850
公开日2006年1月25日 申请日期2005年6月29日 优先权日2004年7月23日
发明者W·克莱·施卢赫特尔, L·哈克查·李 申请人:安捷伦科技有限公司