专利名称：可调恒压探针驱动架的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及探针驱动架，特别是指一种检测红外焦平面器件面阵芯片像元信号的探针驱动架。
目前国内红外焦平面器件结构是由探测器芯片和硅读出电路通过铟柱互连而成，由于互连工艺的需要，须在列阵芯片每一像元上长上铟柱，成为像元电极，像元信号就从铟柱电极上引出。但列阵芯片像元密度高，例如元一元距离为70μm，铟柱直径为10μm，其高度为10μm，并且铟柱结构疏松很容易损坏。要对列阵芯片进行检测必需用探针与每一像元铟柱接触，得到每一像元信号。
常用的探针驱动架其构造是一条矩形弹簧片一端被固定在具有X-Y平移功能的平移台上，另一端置一探针。弹簧片垂直上方有一调节螺钉，旋动调节螺钉强迫压下弹簧片，使探针压下，与像元铟柱接触。反之使探针抬起脱离接触。X-Y平移台把探针移至被测像元的位置上，由调节螺钉顶着弹簧片迫使探针压下或抬起。这种驱动架有两大问题，其一，不能有效控制探针对像元铟柱的接触压力，往往是调节螺钉顶得略紧，探针与铟柱接触压力过大，造成铟柱甚至电极损坏，给互连带来困难，或压力过小造成与铟柱接触不良，给测量带来误差。其二，当弹簧片被调节螺钉顶下，由于用力较大，往往容易使探针着落位置偏移，这一偏移那怕是微小的，也会超出一个铟柱的直径，解决这一问题的方法是反复调正X-Y平移台，操作困难，工作效率低。
本实用新型的目的是为了克服已有技术的缺陷，提供一种操作方便，工作效率高的探针驱动架，称作可调恒压探针驱动架。在探针对铟柱接触时其压力可以调整，压力一旦调整，每次探针对铟柱的接触压力恒定。把探针压力调到最佳状态；既保证探针与铟柱有良好的接触，又保证探针不损坏铟柱。以提高测量的可靠性和工作效率。
本实用新型的目的是这样实现的，一种用于探测红外焦平面器件芯片面阵像元信号的可调恒压探针驱动架，包括杠杆部件、X向平移部件和Y向平移部件，其特征在于所说的杠杆部件由针夹、绝缘节头、杆管、螺管、支块、尾杆，配重块组成，针夹是金属弹性构件，其纵向中间有一小孔，探针插进小孔，并用螺钉紧固，以形成好的电接触，针夹通过绝缘接头与杆管连接，杆管为管状件，其通过螺管与支块连接，支块后端连接尾杆，该尾杆末端置一配重块，支块左右两侧置有刀口支点，配重块垂直上方设有调节螺钉，在螺管上置一法码，该法码与螺管呈螺纹配合，屏蔽电缆线一头与针夹焊接，另一头依次串过绝缘接头，杆管，螺管，支块中心孔与电缆接插件焊件；所说的X向平移部件由箱体、盖板、小轴、弹簧凸台、45°切块和调节螺钉组成，箱体两侧壁上方各有一个心形孔，作支承和定位两刀口支点之用，箱体底面前部置一小轴，该小轴通过箱体底板与Y向平移部件的滑板前端小孔相配，形成箱体相对滑板绕小轴的转动连接，箱体底面后端设有弹簧凸台和45°切块，该弹簧凸台侧面有一孔，孔内置压缩弹簧，弹簧顶住Y向平移部件上的滑板侧面的弹簧档板，箱体底面末端的45°切块的切面朝箱体后方，被置于水平方向的X向调节螺钉顶住，X向调节螺钉被装在滑板后端凸起部分的螺孔内；所说的箱体上方置一盖板，用螺钉与箱体连接，在盖板上对准配重块处有一螺孔，配重块调节螺钉与该螺孔相配，穿过盖板，正对配重块并控制配重块上下移动，盖板前端还置有电缆接插件；所说的Y向平移部件包括导轨阴体、导轨阳体、滑板、压缩弹簧、调节螺钉、底板，所说的导轨阴体为矩形立方体，中间水平方向有一圆柱形孔，导轨阳体为圆柱体，与导轨阴体的圆柱形孔呈精密动配合，并且配合后一齐在园柱体纵向磨出一小平面，此导轨阳体小平面与滑板下平面紧贴，用螺钉固定结合，这样导轨阴体和导轨阳体配合后，导轨阴体相对滑板能作精密移动，导轨阳体中间纵向有一圆柱孔，孔内放一压缩弹簧，导轨阴体下面与一底板用螺钉固定连接，底板前后各有一凸起，前端凸起部分档住了导轨阳体中间孔内的压缩弹簧伸展，使弹簧呈压缩状态，后端凸起部分水平方向置一调节螺钉，螺钉穿过底板后端凸起部分，顶住导轨阳体，这样导轨阳体前端被压缩弹簧压住，后端被调节螺钉顶住，旋紧调节螺钉，推动导轨阳体相对导轨阴体向前移动，反之，弹簧舒展推动导轨阳体相对导轨阴体向后移动，导轨阳体相对导轨阴体移动，通过小轴带动X向平移部件移动，从而就带动了探针移动，形成探针Y向平移功能；所述的可调恒压探针驱动架，其特征在于所说的导轨阴体下面的底板由螺钉固定在测量工位上。
本实用新型具有如下积极效果1、功能可靠，探针压力连续可调，可调范围2～10克。探针压力调整后，每次探针对被测电极的接触，压力恒定，不必担心探针损坏电极，或探针与电极接触不良。X、Y向平移部件调节精度高，能把探针准确地送到被测点位置。
2、操作方便，操作探针起落，由于引用杠杆原理，使探针放下时呈力臂自重落下，作用力极小，不会影响探针着落点。不需要多次调正X、Y平移台。
3、测量误差小，由于探针与电极有良好稳定的电接触，又不损坏电极，所以测量信号噪音小。采用屏蔽电缆线和屏蔽电缆接插件输送信号，信噪比高。总之本实用新型工作效率高。
下面结合实施例及其附图对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型实施例的外观示意图。
图2是本实用新型实施例的结构示意图。
图3是本实用新型图2的A-A剖示图。
图4是本实用新型图2的B向示意图。
图5是本实用新型图2的C向示图。
本实用新型的可调恒压探针驱动架由杠杆部件、X向平移部件、Y向平移部件三部分组成。X、Y向平移部件，负责把探针30送到被测点位置，杠杆部件控制探针30与被测点的接触或脱离。所说的杠杆部件(参阅图2)依次由针夹29、绝缘接头28、杆管1、螺管3、支块5、尾杆34，配重块8等组成。针夹29是金属弹性构件，其纵向中间有一小孔，探针30插进小孔，并用螺钉31紧固之。针夹29通过绝缘接头28与杆管1连接。杆管1为管状件，杆管1又通过螺管3与支块5连接，支块5后端连接尾杆34，尾杆34另一端置一配重块8。支块5左右两侧设有刀口支点23(参阅图5)，配重块8的垂直上方设置有调节螺钉10。在螺管3上置一法码2，法码2与螺管3呈螺纹配合。这样就形成了以刀口支点23为中点，以探针30为重点，以配重块8为力点的杠杆机构。探针30一端的力距大于配重块8一端力距，配重块8向上跷起被调节螺钉10顶住，旋动调节螺钉10，压下配重块8使探针抬起，脱离被测点。反之，使探针30落下与被测点接触。旋动螺管3上的法码2，调整法码2与刀口支点23之间的距离，就可以调整探针30落下时与被测点接触的压力。探针压力连续可调，可调范围2～10克。探针压力调整后，每次探针对被测电极的接触的压力是恒定的。支块5两侧的刀口支点23形成杠杆支点刀口支撑，用来提高杠杆转动的灵敏度。从而也就提高了探针30对被测点接触压力的稳定性。探针30与针夹29有良好的电接触，有屏蔽电缆线27一头与针夹29焊接，另一头依次串过绝缘接头28，杆管1、螺管3、支块5等的中心孔与电缆接插件7焊接，用来输送电信号。
X向平移部件包括箱体4、盖板9、小轴26、弹簧凸台22、45°切块14、调节螺钉10。箱体4两侧壁上方各有一个 形孔35(图1)，作支承和定位杠杆两刀口支点23用。箱体4底面前部置一小轴26，小轴通过箱体底板也与Y向平移部件的滑板12前端小孔相配，形成箱体4相对滑板12绕小轴转动姿态。箱体4底面后端有弹簧凸台22和45°切块14。弹簧凸台22侧面有一孔，孔内置一压缩弹簧18，该弹簧18顶Y向平移部件上的滑板12侧面的弹簧档板15，形成箱体4相对滑板12被压缩弹簧18推动之势(参阅图3、图4)。参阅图4，箱体4底面末端的45°切块14的切面140朝箱体4后方，被置于水平方向的X向调节螺钉13顶住。X向调节螺钉13被装在滑板12后端凸起部分的螺孔内，旋紧调节螺钉13，推动切块14的切面140，由于斜面作用使箱体4相对滑板12绕小轴26顺时针转动，弹簧18被压缩。反之旋退调节螺钉13，弹簧18舒展，使箱体4相对滑板12绕小轴26反时针方向转动。箱体4的转动带动杠杆前端的探针30位移，形成探针30的X向平移。箱体4上方置一盖板9，用螺钉11与箱体4连接。在盖板9上对准配重块8处有一螺孔90，配重块调节螺钉10与该螺孔相配，穿过盖板9，顶住配重块8，控制配重块8上下移动。盖板9前端还置有电缆接插件7，从探针30上引出的电信号由电缆线27通过该电缆接插7输出。
Y向平移部件包括导轨阴体33、导轨阳体24、滑板12、压缩弹簧25、调节螺钉16、底板17。导轨阴体33为矩形立方体，中间水平方向有一圆筒形孔330。导轨阳体24为圆柱体。参阅图3，导轨阳体24与导轨阴体33中间的圆筒形孔330呈精密动配合，并且配合后一齐在园柱体纵向磨出一小平面240，此导轨阳体小平面240与滑板12下平面紧贴用螺钉32连接，这样导轨阴体33和导轨阳体24配合后，导轨阴体33相对滑板12能作精密移动。导轨阳体24中间纵向有一圆筒形孔241，孔内放一压缩弹簧25(图2)，导轨阴体33下面与一底板17用螺钉20连接，底板前后各有一凸起，前端凸起部分170档住了导轨阳体24中间孔内的压缩弹簧25伸展，使弹簧呈压缩状态。后端凸起部分171水平方向置一调节螺钉16，螺钉16穿过底板后端凸起部分171，顶住导轨阳体24，这样导轨阳体24前端被压缩弹簧25压住，后端被调节螺钉16顶住。旋紧调节螺钉16，推动导轨阳体24相对导轨阴体33向前移动。反之，弹簧舒展推动导轨阳体24相对导轨阴体33向后移动。导轨阳体24相对导轨阴体33移动，通过小轴26带动X向平移部件移动，从而就带动了探针30移动。形成探针Y向平移功能。底板17由螺钉21固定在测量工位上。
权利要求1.一种用于探测红外焦平面器件芯片面阵像元信号的可调恒压探针驱动架，包括杠杆部件、X向平移部件和Y向平移部件，其特征在于所说的杠杆部件由针夹(29)、绝缘接头(28)、杆管(1)、螺管(3)、支块(5)、尾杆(34)，配重块(8)组成，针夹(29)是金属弹性构件，其纵向中间有一小孔，探针(30)插进小孔，并用螺钉(31)紧固，以形成好的电接触，针夹(29)通过绝缘接头(28)与杆管1连接，杆管(1)为管状件，其通过螺管(3)与支块(5)连接，支块(5)后端连接尾杆(34)，该尾杆34另一端置一配重块(8)，支块(5)左右两侧置有刀口支点(23)，配重块(8)垂直上方设有调节螺钉(10)，在螺管(3)上置一法码(2)，该法码(2)与螺管(3)呈螺纹配合，屏蔽电缆线(27)一头与针夹(29)焊接，另一头依次穿过绝缘接头(28)，杆管(1)，螺管(3)，支块(5)的中心孔与电缆接插件(7)焊件。
2.根据权利要求1所述的可调恒压探针驱动架，其特征在于所说的X向平移部件由箱体(4)、盖板(9)、小轴(26)、弹簧凸台(22)、45°切块(14)和调节螺钉(10)组成，箱体(4)两侧壁上方各有一个心形孔(35)，作支承和定位两刀口支点(23)之用，箱体(4)底面前部置一小轴(26)，该小轴(26)通过箱体(4)底板与Y向平移部件的滑板(12)前端小孔相配，形成箱体(4)相对滑板(12)绕小轴(26)的转动连接，箱体(4)底面后端设有弹簧凸台(22)和45°切块(14)，该弹簧凸台(22)侧面有一孔，孔内置压缩弹簧(18)，弹簧顶住Y向平移部件上的滑板(12)侧面的弹簧档板(15)，箱体(4)底面末端的45°切块(14)的切面(140)朝箱体(4)后方，被置于水平方向的X向调节螺钉(13)顶住，X向调节螺钉(13)被装在滑板(12)后端凸起部分的螺孔内。
3.根据权利要求2所述的可调恒压探针驱动架，其特征在于所说的箱体(4)上方置一盖板(9)，用螺钉(11)与箱体(4)连接，在盖板(9)上对准配重块(8)处有一螺孔(90)，配重块调节螺钉(10)与该螺孔(90)相配，穿过盖板(9)，正对配重块(8)并控制配重块(8)上下移动，盖板(9)前端还置有电缆接插件(7)。
4.根据权利要求3所述的可调恒压探针驱动架，其特征在于所说的Y向平移部件包括导轨阴体(33)、导轨阳体(24)、滑板(12)、压缩弹簧(25)、调节螺钉(16)、底板(17)，所说的导轨阴体(33)为矩形立方体，中间水平方向有一圆筒形孔(330)，导轨阳体(24)为圆柱体，与导轨阴体(33)的圆筒形孔(330)呈精密动配合，并且配合后一齐在园柱体纵向磨出一小平面(240)，此导轨阳体小平面(240)与滑板(12)下平面紧贴，用螺钉(32)固定结合，这样导轨阴体(33)和导轨阳体(24)配合后，导轨阴体(33)相对滑板(12)能作精密移动，导轨阳体(24)中间纵向有一圆筒形孔(241)，孔内放一压缩弹簧(25)，导轨阴体(33)下面与一底板(17)用螺钉(20)固定连接，底板前后各有一凸起，前端凸起部分(170)档住了导轨阳体(24)中间孔内的压缩弹簧(25)伸展，使弹簧呈压缩状态，后端凸起部分(171)水平方向置一调节螺钉(16)，螺钉(16)穿过底板后端凸起部分(171)，顶住导轨阳体(24)，这样导轨阳体(24)前端被压缩弹簧(25)压住，后端被调节螺钉(16)顶住，旋紧调节螺钉(16)，推动导轨阳体(24)相对导轨阴体(33)向前移动，反之，弹簧舒展推动导轨阳体(24)相对导轨阴体(33)向后移动，导轨阳体(24)相对导轨阴体(33)移动，通过小轴(26)带动X向平移部件移动，从而就带动了探针(30)移动，形成探针Y向平移功能。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的可调恒压探针驱动架，其特征在于所说的导轨阴体(33)下面的底板(17)由螺钉(21)固定在测量工位上。
专利摘要一种用于探测红外焦平面器件芯片面阵像元信号的可调恒压探针驱动架,它包括杠杆部件、X向平移部件和Y向平移部件构成的X—Y精密移动平台,其特点是所说的杠杆部件的杠杆的一端置一探针,另一端置有一平衡力距的配重块,在配重块垂直上方置一调节螺钉,旋动调节螺钉,可推动配重块上下移动,以使探针抬起、落下。在探针一端靠近支点处设一法码,调正法码和支点之间的距离,便能控制探针落下的压力,形成可调恒压探针驱动架。
文档编号G01R1/06GK2457596SQ00265490
公开日2001年10月31日 申请日期2000年12月27日 优先权日2000年12月27日
发明者王正官, 陈伯良 申请人:中国科学院上海技术物理研究所