可自动补充mo源的装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种可自动补充MO源的装置，包括MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，MO源钢瓶的左侧设置有MO源储罐，所述进气管分支路连接在MO源储罐上，所述MO源储罐通过气管连接在惰性气体储存罐上，所述MO源储罐与惰性气体储存罐之间设置有真空泵，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，通过液位探头控制MO源储罐的开启，所述出气管分支路连接在MO源储罐上。通过MO源储罐对MO源钢瓶进行补料，并且通过液位探头对MO源钢瓶内部的MO源残留量，并自动进行补料，解决了MO源连续供应难的问题。
【专利说明】可自动补充MO源的装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种充装装置，尤其涉及一种可自动对M0源钢瓶进行充M0源的 装直。
【背景技术】
[0002] Μ0源在M0CVD设备中使用非常特殊，物料在使用时需要保持恒温（±0. 1 °C )，恒压 (± ltorr)，稳定气体流量（± lsccm)。M0源存储在钢瓶(一般称为M0源钢瓶冲，惰性气体 (一般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入M0源钢瓶中，经过M0源时产生鼓泡 效应，M0源在鼓泡过程中大量蒸发，形成M0源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来。M0源 钢瓶中M0源消耗完后，需要将M0源钢瓶拆卸并更换1个新的M0源钢瓶。
[0003] 现有使用方法缺点：
[0004] 1.由于M0源具有可燃性和遇空气自燃的特性，因此M0源钢瓶拆装过程需要对管 道系统进行充分置换，并且需要对管道接头进行氦质谱检漏。操作过程繁琐，持续时间较 长，且操作不当会有着火等风险。
[0005] 2.更换新的M0源钢瓶后，需要在恒温水浴槽中进行充分的热交换，需要较长时间 才能够使M0源钢瓶的温度达到恒定。随着M0CVD (金属有机化学气相沉积技术）外延技术 发展，设备大型化已经成为必然趋势，随之而来的原材料供应问题越来越突出。M0源(金属 有机化合物）作为其中最重要的原材料，持续稳定的M0供应是提高M0CVD设备使用效率的 重要手段。
[0006] 目前，能够检索到的文献资料均没有关于M0源连续供应解决方案的公开报道。 实用新型内容
[0007] 本实用新型的目的是提供一种可自动对M0源钢瓶进行充M0源的装置，通过M0源 储罐对M0源钢瓶进行补料，并且通过液位探头对M0源钢瓶内部的M0源残留量，并自动进 行补料，解决了 M0源连续供应难的问题。
[0008] 本实用新型提供一种可自动补充M0源的装置，包括M0源钢瓶，所述M0源钢瓶上 设置有进气管和出气管，M0源钢瓶的左侧设置有M0源储罐，所述进气管分支路连接在M0源 储罐上，所述M0源储罐通过气管连接在惰性气体储存罐上，所述M0源储罐与惰性气体储存 罐之间设置有真空泵，所述M0源钢瓶内部设置有液位探头，通过液位探头控制M0源储罐的 开启，所述出气管分支路连接在M0源储罐上。
[0009] 进一步改进在于：所述M0源储罐与进气管、出气管通过三通接头进行连接。
[0010] 进一步改进在于：所述惰性气体储存罐与真空泵之间设置有气体纯化器，将惰性 气体储存罐纯化后使用。
[0011] 进一步改进在于：所述惰性气体储存罐罐口处设置有流量监测器，防止惰性气体 储存罐中的气体用完无法工作。
[0012] 进一步改进在于：所述惰性气体储存罐中的气体也供气动装置使用。
[0013] 所述M0源储罐可同时对三组M0源钢瓶进行充装，在对三组M0源钢瓶进行充装 时，需设置一备用M0源储罐，防止因充装量过大造成的M0源不足。
[0014] 本实用新型的有益效果：1、通过增加液位探头，满足了 M0源监控计量问题，客户 可以直观的了解到M0源的使用现状。
[0015] 2、三通管接头的设计，可以在不需要改造现有M0源钢瓶，同时能够解决M0源补充 接口问题。
[0016] 3、将充装系统与M0CVD设备联动，通过监控M0CVD设备状态及液位探头状态，自动 判定是否能够补源并自动补源。
【专利附图】
【附图说明】
[0017] 图1是本实用新型的示意图。
[0018] 其中：1-M0源钢瓶，2-进气管，3-出气管，4-M0源储罐，5-惰性气体储存罐，6-真 空泵，7-液位探头，8-三通接头，9-气体纯化器，10-流量监测器。
【具体实施方式】
[0019] 为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述， 该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
[0020] 如图1所示，本实施例提供了一种可自动补充M0源的装置，包括M0源钢瓶1，所 述M0源钢瓶1上设置有进气管2和出气管3，M0源钢瓶1的左侧设置有M0源储罐4,所述 进气管2分支路连接在M0源储罐4上，所述M0源储罐4通过气管连接在惰性气体储存罐 5上，所述M0源储罐4与惰性气体储存罐5之间设置有真空泵6,所述M0源钢瓶1内部设 置有液位探头7,通过液位探头7控制M0源储罐4的开启，所述出气管3分支路连接在M0 源储罐4上。所述M0源储罐4与进气管2、出气管3通过三通接头8进行连接。所述惰性 气体储存罐5与真空泵6之间设置有气体纯化器9,将惰性气体储存罐5纯化后使用。所述 惰性气体储存罐5罐口处设置有流量监测器10,防止惰性气体储存罐5中的气体用完无法 工作。所述惰性气体储存罐5中的气体也供气动装置使用。所述M0源储罐4可同时对三 组M0源钢瓶1进行充装。
【权利要求】
1. 一种可自动补充MO源的装置，包括MO源钢瓶（1)，所述MO源钢瓶（1)上设置有进 气管（2)和出气管（3)，其特征在于：M0源钢瓶（1)的左侧设置有M0源储罐（4)，所述进气 管（2)分支路连接在M0源储罐（4)上，所述M0源储罐（4)通过气管连接在惰性气体储存 罐（5)上，所述M0源储罐（4)与惰性气体储存罐（5)之间设置有真空泵（6)，所述M0源钢 瓶（1)内部设置有液位探头（7)，通过液位探头（7)控制M0源储罐（4)的开启，所述出气管 (3)分支路连接在M0源储罐（4)上。
2. 如权利要求1所述的可自动补充M0源的装置，其特征在于：所述M0源储罐（4)与进 气管（2)、出气管（3)通过三通接头（8)进行连接。
3. 如权利要求1所述的可自动补充M0源的装置，其特征在于：所述惰性气体储存罐 (5)与真空泵（6)之间设置有气体纯化器（9)，将惰性气体储存罐（5)纯化后使用。
4. 如权利要求1或3所述的可自动补充M0源的装置，其特征在于：所述惰性气体储存 罐（5)罐口处设置有流量监测器（10)，防止惰性气体储存罐（5)中的气体用完无法工作。
5. 如权利要求1或3所述的可自动补充M0源的装置，其特征在于：所述惰性气体储存 罐（5)中的气体也供气动装置使用。
【文档编号】F17C5/00GK203847995SQ201420204405
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申请人:安徽亚格盛电子新材料有限公司