专利名称：撬装式超纯氨现场供气装置的利记博彩app
技术领域：
撬装式超纯氨现场供气装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种汽化恒压供气一体化装置，特别涉及一种撬装式超纯氨现场供气装置。
背景技术：
[0002]近年来，在全球关注低碳经济模式的背景下，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景下，我国的LED技术及相关产业得到了迅猛发展。尤其以高亮度GaN基蓝光LED为核心的半导体照明技术对照明领域带来了很大的冲击，并成为目前全球半导体领域研究和投资的热点。随着半导体发光器件(LED)等光电子产业的迅猛发展，行业中的单体设计产能有了爆发式的增长，对上游原材料的需求量有了更为庞大的需求。[0003]7N电子级超纯氨是LED行业中的一种重要原材料，是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。其基本原理在于超高纯氨气用于金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)外延生长过程中，它与金属有机物的前驱物三甲基镓(Ga(CH3))在高温高压下发生化学反应生成氮化镓:[0004]Ga (CH3) 3 (g) +NH3 (g) — GaN (s) +3CH4 (g)。[0005]氮化镓是LED技术的核心，决定着LED产业的发展。因此，产业的发展对超纯氨的供应提出了更高的要求。目前，全球LED行业中的单体工厂对超纯氨的用量规模，其供应最大的流量不超过100Nm3/h，而实际需求上，对超纯氨的流量超过400Nm3/h的LED工厂其数量正在迅速增加。[0006][0004]当前LED生产过程中广泛使用的对超纯氨的三种液氨罐(Y瓶、T瓶、ISO槽车)的现场汽化供气模式如下:[0007]
权利要求1.一种撬装式超纯氨现场供气装置，其特征是该装置包括液氨罐车、缓冲罐、空气源热泵热水系统、恒压调节阀组、自动控制系统和载车，所述液氨罐车与缓冲罐外部均设计有夹套，所述液氨罐车管线与空气源热泵热水系统出水口相连；所述缓冲罐与液氨罐车出口相连，所述缓冲罐夹套入口与液氨罐车夹套出口通过管线连接，所述空气源热泵热水系统与液氨罐车出口管线进水口相连，所述调压系统连接缓冲罐出口管线。
2.根据权利要求1所述的撬装式超纯氨现场供气装置，其特征是所述缓冲罐、空气源热泵热水系统、恒压调节阀组和自动控制系统共同用一辆载车承载。
3.根据权利要求1所述的撬装式超纯氨现场供气装置，其特征是所述液氨罐车与缓冲罐的夹套外层用保温材料包裹，夹套内部设有热水循环系统。
专利摘要本实用新型公开了一种撬装式超纯氨现场供气装置，该装置包括液氨罐车、缓冲罐、空气源热泵热水系统、恒压调节阀组、自动控制系统和载车。所述液氨罐车与缓冲罐外部均设计有夹套，所述液氨罐车管线与空气源热泵热水系统出水口相连；所述缓冲罐与液氨罐车出口相连，所述缓冲罐夹套入口与液氨罐车夹套出口通过管线连接，所述空气源热泵热水系统与液氨罐车出口管线进水口相连，采用该系统高效方便的实现了液氨罐车和加热系统的对接，满足了客户的需求而无需客户增加附带的设备，克服了时间、空间和地域的限制，有利于公司客户源的进一步开辟。
文档编号F17D1/04GK202972530SQ20122050183
公开日2013年6月5日 申请日期2012年9月28日 优先权日2012年9月28日
发明者金向华, 陈琦峰, 黄军聘 申请人:苏州金宏气体股份有限公司