专利名称：管路堵塞侦测预警方法
技术领域：
本发明涉及一种侦测预警方法，具体涉及一种管路堵塞侦测预警方法。
背景技术：
目前，管路结构被广泛应用于各种机器设备中，以晶圆设备的管路而言，由于管路
内部流道空间难免会逐渐积累污垢而致流道截面积减縮，因此最终往往会因为堵塞的问题
导致管路运作效能衰退，造成生产良率下降，且堵塞的问题将日积月累，严重时，目前业界
的情况通常是因为管路堵塞导致帮浦运作发生异常状况时方加以停机维修，然如此将导致
生产线停摆而造成业界莫大损失，且造成修复成本所费不咨、负担沉重的问题。 对于新建的晶圆厂而言，自可导入新方法以及新设备来解决和预防管路堵塞的问
题；但是，对于已经运作中的厂房和设备而言，若欲加入管路堵塞的预警机制，目前现有的
方法技术大部份仍旧存在工法过于复杂且易影响原有系统设备运作的问题，导致实施困
难、为相关业界所诟病。 是以，针对上述现有的管路结构堵塞的问题点，如何研发出一种能够更具理想实 用性的创新管路堵塞预警方法及系统设计，实有待相关业界再加以思索突破的目标及方 向。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种管路堵塞侦测预警方法，其所欲解决的问题点在 于研发出一种确具理想实用性的管路堵塞侦测预警方法。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案 本发明解决问题的技术特点，在于所述管路堵塞侦测预警方法，其于欲侦测管路 预定部位设置加热构件及温度控制器，以利用该加热构件对所述管路进行加热，并利用该 温度控制器控制所述加热构件的加热温度； 透过一数据收集装置收集各该温度控制器的温度讯号； 透过一人机界面将所述数据收集装置收集的数据加以具体化显现； 欲侦测管路于初步运作时先进行一段时期的温度加热变化观察及数据收集，并将
该数据转换成一正常加热曲线表； 管路侦测管理者透过该人机界面观察各该温度控制器的温度变化状态并对照前
述正常加热曲线表，当其温度变化为相对异常状态时即可获知管路为堵塞状态。 与现有技术相比，本发明所揭管路堵塞侦测预警方法，可在不影响既有系统运作
的情况下导入并与之共存、各自运作，故业界可轻易导入实施而确具实用进步性。
图1为本发明的系系统构成立体示意图；
图2为本发明的系系统构成平面示意 图3为本发明的管路阻塞状态示意图； 图4为本发明的管路畅通状态示意图； 图5为本发明的管路阻塞状态相对应的曲线表对照示意图； 图6为本发明的管路畅通状态相对应的曲线表对照示意图。 图中标记 05、管路；10、加热构件；20、温度控制器；30、数据收集装置；40、人机界面。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。 如图1和图2所示，本发明管路堵塞侦测预警方法的较佳实施例，惟此等实施例仅 供说明之用，在专利申请上并不受此结构的限制。 本发明所提供的管路堵塞侦测预警方法用以侦测既有管路05的堵塞状态，以达 到一种预警作用，所述管路堵塞侦测预警方法，其实体系统方面包含下述构成
至少一加热构件10，组设于欲侦测管路05预定部位，用以可对所述管路05进行加 热，所述加热构件10可采用加热带，令所述加热带包覆于欲侦测管路05的外周而能获得极 为均匀有效率的致热效果； 至少一温度控制器20，用以控制所述加热构件10的加热频率状态，并将该加热频 率状态转换为讯号输出； —数据收集装置30，与所述各温度控制器20电性连结，用以收集各该温度控制器 20的温度控制讯号； —人机界面40，用以将所述数据收集装置30所收集的数据加以具体化显现；
所述人机界面40与该数据收集装置30 二者可为分别独立的两机体型态(如图1 所示)，也可为整合为一体的结构型态。
承上述，本发明的管路堵塞侦测预警方法包含 a、于欲侦测管路05预定部位设置该加热构件10以及温度控制器20，以利用该加 热构件10对所述管路05进行加热的动作，并进一步利用该温度控制器20控制所述加热构 件10的加热频率； b、透过该数据收集装置30收集各该温度控制器20的温度讯号； c、透过该人机界面40将所述数据收集装置30收集的数据加以具体化显现； 其中，所述人机界面40可透过曲线图或数据的方式显现温度变化数据； d、所述欲侦测管路05于初步运作时，先进行一段时期的温度加热变化观察及数
据收集，并将该数据转换成一正常加热曲线表； e、管路侦测管理者透过该人机界面40观察各该温度控制器20的温度变化状态并 对照前述正常加热曲线表，当其温度变化为相对的异常状态时，即可获知管路05为堵塞状 态。 承上所述，其中针对所述欲侦测管路05初步运作时所进行的温度加热变化观察 及数据收集的具体作法，兹进一步配合图面说明如下，如图3所示，该欲侦测管路05为阻塞 状态示意(图中W为阻塞物)，如图4所示则为该欲侦测管路05畅通状态的示意图；复如图 5、图6所示，为管路阻塞状态与管路畅通状态相对应的曲线表对照示意图，该曲线表上显示Y轴以温度为单位，而X轴以时间为单位，且设定该温度控制器20为100度；当于10:00 开始常温测试，首先将该加热构件10设定至100度，则阻塞状态的管路05实际温度值(如 图5中L所示，以下简称L)维持稳定100度的情况，而加热频率(如图5中Ll所示，以下 简称L1)则偶有浮动，但趋于平稳状态；然而，畅通状态的管路05实际温度值(如图6中L2 所示，以下简称L2)维持稳定IOO度的情况，而加热频率(如图6中L3所示，以下简称L 3) 偶有浮动但趋于平稳状态，两者并无太大差异；而模拟加热带于13:30为抽取真空状态，此 时L与L2持续维持100度状态，而Ll稍微提高曲线，但L3则大幅提升至一高度，之后则固 定在此高度上不见落下，与L1有明显差异；通过该曲线表得知，当常温下，两者显示几乎相 同，并无差异，但开始抽取真空时(亦即移除该管路内部温度)，由于阻塞状态的管路05温 度不易流失，因此加热次数并无太大差异，反之，畅通状态的管路05当一抽取真空，原本管 路05里的温度将快速流失，导致必须增加更多的加热频率才能达到管路05设定的100度， 藉此差异化测试结果所得的曲线表数据，即可事先建制出所谓的「正常加热曲线表」以及管 路05阻塞时所对应的曲线表状态，是以日后管路05侦测过程中即可依此事先测试所得数 据作为参考。 由上述模拟测试结果可证，管路05的内部畅通与堵塞状态，透过外部加热构件10
的温度控制状态变化的数据收集分析以及配合事先预设数据、历史数据的建立，确实能够
达到相当准确的预警效果。 综上所述，本发明的优点如下 本发明所揭管路堵塞侦测预警方法，其可在不影响既有系统运作的情况下导入并 与之共存、各自运作，其组构成极为简单且容易整合于既有管路系统，是以，本发明便于该 领域技术人员实施应用，具有较好的实用进步性。 以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵 盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
权利要求
一种管路堵塞侦测预警方法，用以侦测管路的堵塞状态以达到预警作用，包含a、于欲侦测管路预定部位设置加热构件以及温度控制器，以利用该加热构件对所述管路进行加热，并利用该温度控制器控制所述加热构件的加热温度以及侦测所述管路实际温度；b、透过一数据收集装置收集各该温度控制器的温度讯号；c、透过一人机界面将所述数据收集装置收集的数据加以具体化显现；d、所述欲侦测管路于初步运作时，先进行一段时期的温度加热变化观察及数据收集，并将该数据转换成一正常加热曲线表；e、管路侦测管理者透过该人机界面观察各该温度控制器的温度变化状态并对照前述正常加热曲线表，当其温度变化为相对的异常状态时，即可获知管路为堵塞状态。
2. 权利要求1所述的管路堵塞侦测预警方法，其特征在于所述人机界面可透过曲线 图或数据的方式显现温度变化数据。
全文摘要
本发明公开了一种管路堵塞侦测预警方法，涉及一种侦测预警方法。解决了现有技术成本高、实施难度大的技术问题。本发明于欲侦测管路预定部位设置加热构件及温度控制器，以利用该加热构件对所述管路进行加热，并利用该温度控制器控制所述加热构件的加热温度；透过一数据收集装置收集各该温度控制器的温度讯号；透过一人机界面将所述数据收集装置收集的数据加以具体化显现；欲侦测管路于初步运作时先进行一段时期的温度加热变化观察及数据收集，并将该数据转换成一正常加热曲线表；管路侦测管理者透过该人机界面观察各该温度控制器的温度变化状态并对照前述正常加热曲线表。本管路堵塞侦测预警方法应用于侦测、预警管路堵塞。
文档编号F17D5/00GK101737628SQ200810177029
公开日2010年6月16日 申请日期2008年11月12日 优先权日2008年11月12日
发明者谢益寿 申请人:泰亚国际科技股份有限公司