专利名称：化学供应系统及其阀箱设计的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种化学供应系统(chemical supply system)及其阀箱(valve box)设计，特别是涉及一种用于制造工厂的多功式(multi-function)的化学供应系统及其阀箱设计。
背景技术：
通常，集成电路或是半导体元件都需要历经许多的制程步骤才得以完成，而这些制程步骤几乎都需要使用化学试剂或是气体来进行。因此一般在半导体工厂中，都会装设化学供应系统，利用其管路的配置及操控装置等元件，将化学试剂或气体配送至各制程机台，而这些制程机台又称为使用端(point of use，POU)。
一般在多楼层的工厂中，其化学供应系统，是包括设置在底层楼层的一化学供应装置，以及分别设置在其它楼层的化学供应装置，且每一楼层的化学供应装置中都各自有其控制单元。藉由底层楼层的化学供应装置中的控制单元的控制，可配送化学试剂或气体至底层楼层的使用端。而其它楼层的化学供应装置则会藉由其控制单元而从底层楼层的化学供应装置要求配送所需求的化学试剂或气体，然后再将化学试剂或气体配送至所在楼层的使用端。特别是，现有习知的连接于底层楼层的化学供应装置的主管路会被分支分成多个管路，以供应化学试剂或气体给底部楼层的使用端以及其它楼层的化学供应装置，因此当需求量暴增时，经常会有限流(flowlimitation)或是无法供应的情况发生。而且因每一楼层的化学供应装置都各自有其控制单元，因此每一楼层的控制系统并未整合在一起，如此对于整个工厂内化学试剂或气体的供应状态并无法轻易的掌控。
为了解决上述问题，一种方式是在底层楼层额外装设一转换单元(transfer unit)，其中该转换单元内具有分别控制每一楼层的化学供应装置的数个控制单元，透过该转换单元内部的数个控制单元的操控，可将化学试剂或是气体分别配送至各楼层的化学供应装置，然后每一楼层的化学供应装置再将化学试剂或气体输送至其使用端。
虽然使用转换单元的方式可以解决限流等问题，但是转换单元的购入却存在有会使成本大幅增加的缺陷。
另外，一般在配送化学试剂或是气体的管路上都会装设有阀箱，用以控制输送至使用端的化学试剂或是气体的流量。然而，上述化学供应系统在长期的使用下，经常会在管路上发现有渗出的化学物或是化学烟雾(chemicalfume)，特别是在阀箱附近的管路上经常会渗出化学物或是化学烟雾，如此不但会影响管路的可透视度，而且还可能造成其它设备元件的污秽。
由此可见，上述现有的化学供应系统及其阀箱设计仍存在有诸多的缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决化学供应系统及其阀箱设计存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的化学供应系统及其阀箱设计存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，积极加以研究创新，以期创设一种新型的化学供应系统及其阀箱设计，能够改进一般现有的化学供应系统及其阀箱设计，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有的化学供应系统存在的缺陷，而提供一种新的化学供应系统，所要解决的技术问题是使其可以解决现有习知的化学供应系统在供应不同楼层的使用端时，经常会有限流或是无法供应的问题，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。
本发明的另一目的在于，提供一种化学供应系统，所要解决的技术问题是使其在不需要增加成本的情况下就可以解决现有技术存在的问题。
本发明的再一目的在于，提供一种阀箱设计，所要解决的技术问题是使其可以解决管路上经常会渗出化学烟雾，而影响管路可透视度的问题。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种化学供应系统，其适用于配送一化学物至多楼层的多个使用端(point of use，POU)，该化学供应系统包括一第一化学供应装置，配置在一第一楼层，其中该第一化学供应装置内具有一控制单元；复数个主管路，其是与该第一供应装置连通，且其中一该些主管路是用来配送该化学物至该第一楼层的使用端；以及一第二化学供应装置，配置在一第二楼层，且另一该些主管路是由该第一化学供应装置连通至该第二化学供应装置，藉由该控制单元的控制以使该化学物能送至该第二化学供应装置，进而配送至该第二楼层的使用端。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的化学供应系统，其中所述的第一化学供应装置中更包括设计有复数个预留接口(port)，用以额外加装主管路。
前述的化学供应系统，其更包括复数个阀箱(valve box)，配置在该第一化学供应装置与该第一楼层的使用端之间，以及该第二化学供应装置与该第二楼层的使用端之间，其中每一该些阀箱包括一阀箱主体，该阀箱主体是与对应的该化学供应装置连通，并且与对应的该些使用端连通；一排放装置，其与该阀箱主体连通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗装置，其是与该阀箱主体连通，用以通入清洗物以净化管路。
前述的化学供应系统，其中所述的清洗装置包括一空气清洗装置，用以通入空气以净化管路。
前述的化学供应系统，其更包括至少一化学供应装置，分别配置在该第二楼层以上的各楼层，其中各该些化学供应装置都分别以分开的主管路与该第一化学供应装置连通，且藉由该控制单元而从该第一化学供应装置配送该化学物至各该些化学供应装置，进而配送该化学物至各楼层的使用端。
前述的化学供应系统，其中所述的化学物是选自一化学试剂以及一气体其中之一。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种阀箱的设计，其是装设在一供应端以及复数个使用端之间的管路上，该阀箱包括一阀箱主体，该阀箱主体是藉由该管路而与该供应端连通并与该些使用端连通；一排放装置，其是与该阀箱主体连通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗装置，其是与该阀箱主体连通，用以通入清洗物以净化管路。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下的技术措施进一步实现。前述的阀箱设计，其中所述的清洗装置包括一空气清洗装置，用以通入空气以净化管路。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上的技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下本发明提出一种化学供应系统，其适用于配送化学物至多楼层的多个使用端，该化学物例如是化学试剂或是气体，而该化学供应系统是包括一第一化学供应装置、数个主管路以及一第二化学供应装置。其中，第一化学供应装置是配置在一第一楼层，且第一化学供应装置内具有一控制单元。数个主管路是与第一化学供应装置连通，且其中一主管路是用来配送化学物至第一楼层的使用端。而第二化学供应装置是配置在一第二楼层，且另一主管路是由第一化学供应装置连通至第二化学供应装置，藉由第一化学供应系统中的控制单元的控制以使化学物能输送至第二化学供应装置，进而配送至第二楼层的使用端。
本发明又提出一种阀箱的设计，其装设在一供应端以及数个使用端之间的管路上，该阀箱包括一阀箱主体、一排放装置以及一清洗装置。其中，阀箱主体是藉由管路而与供应端连通并且与数个使用端连通。另外，排放装置是与阀箱主体连通，用以排放出管路及阀箱主体中的污染物。而清洗装置是与阀箱主体连通，用以通入清洗物以净化管路及阀箱主体。
由于本发明的化学供应系统是使用多个主管路而分别使各楼层的化学供应装置与底层楼层的化学供应装置总相连通，因此可以解决当使用量暴增时，会发生管路限流或是无法供应的问题。
本发明由于仅在底部楼层的化学供应装置中设置控制单元，以控制所有楼层的化学供应装置的供应，因此本发明将所有化学供应装置的控制系统整合起来，可以易于掌控厂内的化学试剂以及气体的供应状态。
本发明由于在阀箱设置有排出装置以及清洗装置，因此可以使渗出管路的化学烟雾被排出或清洗掉，进而可恢复管路的可透视度。
经由上述可知，借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点1、本发明的化学供应系统可以解决当使用量暴增时，会发生管路限流或是无法供应的问题。
2、本发明将所有化学供应装置的控制系统整合起来，可以易于掌控厂内的化学试剂以及气体的供应状态。
3、本发明在阀箱设计有排出装置以及清洗装置，而可以使渗出管路的化学烟雾被排出或清洗掉，进而可恢复管路的可透视度。
综上所述，本发明特殊结构的化学供应系统及其阀箱设计，可以解决现有习知的化学供应系统在供应不同楼层的使用端时，经常会有限流或是无法供应的问题，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值；其在不需要增加成本的情况下就可以解决现有技术存在的问题，且可以解决管路上经常会渗出化学烟雾，而影响管路可透视度的问题。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大改进，在技术上有较大进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的化学供应系统及其阀箱设计具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
图1是依照本发明一较佳实施例的化学供应系统的示意图。
图2是依照本发明一较佳实例的阀箱的设计的示意图。
100、200、300化学供应装置 102控制单元
104、204、304；阀箱 106a、106b使用端110a、110b、110c主管路112；预留接口206a、206b使用端 306a、306b使用端406a、406b使用端 400供应端402管路 404阀箱主体408排出装置 410清洗装置具体实施方式
以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的化学供应系统及其阀箱设计其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
为了解决现有技术中用于多楼层的化学供应系统经常会发生限流或无法供应的情形，因此本发明提出新型结构的一种化学供应系统，其是使用多个主管路来配送化学物至不同楼层，其中该化学物例如是化学试剂或气体，以解决现有技术中将主管路分支成多个管路以供应化学试剂或气体至不同楼层时，经常会发生限流或无法供应的问题。
请参阅图1所示，是依照本发明一较佳实施例的化学供应系统的示意图。本发明的化学供应系统，是适用于配送化学物至多楼层的多个使用端(point of use，POU)，其中，该化学物例如是化学试剂或是气体，而这些使用端包括配置在第一楼层的使用端106a、106b，配置在第二楼层的使用端206a、206b，甚至是其它楼层的使用端306a、306b。倘若本发明的化学供应系统是应用在一半导体工厂中，则上述的使用端例如是蚀刻机台或是沉积机台等制程机台。
本发明所提出的化学供应系统，是包括配置在第一楼层的化学供应装置100、配置在第二楼层的化学供应装置200、配置在其它楼层(例如是第N楼层)的化学供应装置300以及数个主管路110a、110b、110c。除此之外，本发明的化学供应系统更包括在各楼层的管路上配置有阀箱104、204、304。
其中，配置在第一楼层的化学供应装置100中具有一控制单元102，该控制单元系用来控制工厂中所有楼层的化学试剂或是气体的供应。而在化学供应装置100中包括了加压单元(pump)等现有习知常用的装置单元。而数个主管路110a、110b、110c都与化学供应装置100连通，其中该主管路110a是用来配送化学试剂或是气体至第一楼层的使用端106a、106b，且在化学供应装置100与使用端106a、106b之间的主管路110a上更包括配置有阀箱104，用以控制化学试剂或是气体配送至各使用端106a、106b的供应量。
而另一主管路110b是连接于化学供应装置100以及第二楼层的化学供应装置200之间，藉由控制单元102的控制，化学试剂或是气体会从化学供应装置100经主管路110b配送至第二楼层的化学供应装置200中，之后才由化学供应装置200输送化学试剂或是气体至第二楼层的使用端206a、206b，同样的，在化学供应装置200与使用端206a、206b之间的管路上更包括配置有一阀箱204，用以控制化学试剂或是气体配送至各使用端206a、206b的供应量。当然，化学供应装置200中亦包括加压单元等现有习知常用的装置单元。
因此，本发明由于在化学供应装置100中就以分开的主管路110a、110b配送化学试剂或气体至第一楼层以及第二楼层的使用端106a、106b、206a、206b，因此可以解决现有技术中将主管路分支成数个管路以配送化学试剂或气体至各楼层时，经常会发生限流或是无法供应的情形。而且，本发明将每一楼层的化学供应装置的控制系统整合在一起，由单一控制单元102来控制每一楼层的化学试剂或气体的供应状态，而可以使整个工厂内的化学试剂或气体的供应状态较易于掌控。
倘若本发明的化学供应系统是应用在两层楼以上的工厂时，则在第一楼层的化学供应装置100上更连接有另一主管路110c，用以与第N楼层的化学供应装置300连通。同样的，藉由控制单元102的控制，化学试剂或是气体会从化学供应装置100经由主管路110c配送至第N楼层的化学供应装置300中，之后才由化学供应装置300输送化学试剂或是气体至第N楼层的使用端306a、306b。而且，在化学供应装置300与使用端306a、306b之间的管路上亦包括配置有一阀箱304，用以控制化学试剂或是气体配送至各使用端306a、306b的供应量。当然，化学供应装置300中亦包括加压单元等现有习知常用的装置单元。
特别值得一提的是，在化学供应装置100上更包括配置有数个预留接口112，其是提供额外的主管路接口，以因应当某一楼层化学试剂或是气体使用量增加时可额外加装主管路，以满足该楼层的需求。当然，该预留接口112亦可以预留于工厂增建楼层时，可提供给供应给连接至其它楼层的主管路使用。
除此之外，在本发明的化学供应系统中，每一楼层的化学供应装置以及使用端之间的管路上都会配置有阀箱(如图1所标示的104、204、206)，用以控制配送至各使用端的化学试剂或是气体的量。由于化学供应系统在长期的使用下，经常会在管路上发现有渗出的化学物或是化学烟雾(chemicalfume)，特别是在阀箱附近的管路上经常会渗出化学物或是化学烟雾，其不但会影响管路的可透视度，而且还可能造成其它设备元件的污秽。因此本发明又特别提出一种阀箱的设计，以解决上述的问题。
请参阅图2所示，本发明的阀箱是装设在一供应端400以及数个使用端406a、406b之间的管路402上，在该供应端400例如是图1的化学供应装置100、200或300，而使用端406a、406b例如是各制程机台。该阀箱包括一阀箱主体404、一排放装置408以及一清洗装置410。其中阀箱主体404是藉由管路402而与供应端400连通并且与使用端连通406a、406b。而排放装置408是与阀箱主体连通，用以排放出阀箱主体404与管路402中的污染物。而清洗装置410是与阀箱主体404连通，用以通入清洗物以净化阀箱主体404与管路402，当然通入的清洗物亦会从排放装置408排放出。在一较佳实施例中，清洗装置410例如是一空气清洗(air purge)装置，藉由通入干净的空气至阀箱主体404以及管路402内，以清除渗出的化学物或化学烟雾，进而改善管路的可透视度并避免设备元件污秽。
上述的阀箱设计并非限定只能在用本发明的化学供应系统中其它种类的供应系统或是配送系统，只要会使用到阀箱的系统，皆可以使用本发明的阀箱。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种化学供应系统，其是适用于配送一化学物至多楼层的多个使用端(point of use，POU)，其特征在于该化学供应系统包括一第一化学供应装置，配置在一第一楼层，其中该第一化学供应装置内具有一控制单元；复数个主管路，其是与该第一供应装置连通，且其中一该些主管路是用来配送该化学物至该第一楼层的使用端；以及一第二化学供应装置，配置在一第二楼层，且另一该些主管路是由该第一化学供应装置连通至该第二化学供应装置，藉由该控制单元的控制以使该化学物能送至该第二化学供应装置，进而配送至该第二楼层的使用端。
2.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于其中所述的第一化学供应装置中更包括设计有复数个预留接口(port)，用以额外加装主管路。
3.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于其更包括复数个阀箱(valve box)，配置在该第一化学供应装置与该第一楼层的使用端之间，以及该第二化学供应装置与该第二楼层的使用端之间，其中每一该些阀箱包括一阀箱主体，该阀箱主体是与对应的该化学供应装置连通，并且与对应的该些使用端连通；一排放装置，其是与该阀箱主体连通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗装置，其是与该阀箱主体连通，用以通入清洗物以净化管路。
4.根据权利要求3所述的化学供应系统，其特征在于其中所述的清洗装置包括一空气清洗装置，用以通入空气以净化管路。
5.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于其更包括至少一化学供应装置，分别配置在该第二楼层以上的各楼层，其中各该些化学供应装置都分别以分开的主管路与该第一化学供应装置连通，且藉由该控制单元而从该第一化学供应装置配送该化学物至各该些化学供应装置，进而配送该化学物至各楼层的使用端。
6.根据权利要求1所述的化学供应系统，其特征在于其中所述的化学物是选自一化学试剂以及一气体其中之一。
7.一种阀箱的设计，其是装设在一供应端以及复数个使用端之间的管路上，其特征在于该阀箱包括一阀箱主体，该阀箱主体是藉由该管路而与该供应端连通并与该些使用端连通；一排放装置，其是与该阀箱主体连通，用以排放出管路中的污染物；以及一清洗装置，其是与该阀箱主体连通，用以通入清洗物以净化管路。
8.根据权利要求7所述的阀箱设计，其特征在于其中所述的清洗装置包括一空气清洗装置，用以通入空气以净化管路。
全文摘要
本发明是关于一种化学供应系统及其阀箱设计，该化学供应系统，包括一第一化学供应装置、数个主管路以及一第二化学供应装置。其中，第一化学供应装置是配置在一第一楼层，且该第一化学供应装置内具有一控制单元。数个主管路是与第一供应装置连通，且其中一主管路是用来配送化学物至第一楼层的使用端。而第二化学供应装置是配置在一第二楼层，且另一主管路是由第一化学供应装置连通至第二化学供应装置，以配送化学物至第二楼层的使用端。本发明使用多个主管路以配送化学试剂或气体，因此可以解决管路限流的问题。
文档编号F17D1/00GK1609501SQ20031010160
公开日2005年4月27日 申请日期2003年10月21日 优先权日2003年10月21日
发明者洪锡焜, 徐乾智 申请人:旺宏电子股份有限公司