阀、流体控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型设及防止流体的逆流的阀、W及具备该阀的流体控制装置。
【背景技术】
[0002] 专利文献1中公开了具备阀的流体控制装置。
[0003] 该流体控制装置具备压电累和阀。通过使压电累的上表面与阀的底面接合，由此 将阀与压电累连接。
[0004] 在阀设置有与袖套(cuff)的腕带橡胶管连通的袖套连接口。袖套的腕带橡胶管安 装于阀的袖套连接口，流体控制装置连接于袖套。
[0005] 阀具备第二阀壳体、由长方形的薄膜构成的隔膜、W及第一阀壳体，具有将它们依 次层叠的构造。
[0006] 专利文献1:国际公开第2012/141113号公报
[0007] 专利文献1的阀为了使空气不从阀内部泄漏，优选在第二阀壳体与隔膜之间，W及 在隔膜与第一阀壳体之间确保密封性。
[000引因此，本申请的发明人经研究，结果设计出具有如下所示的构造的阀。
[0009] 图10是表示第一比较例的流体控制装置900的主要部分的剖视图。图11是图10所 示的阀901的分解立体图。图12是图10所示的阀901的主要部分的剖视图。在图11和图12中 记载有Z轴方向、Y轴方向W及X轴方向。
[0010] 此外，对各部位的详细情况均在之后进行叙述，Z轴方向表示构成阀901的部件的 层叠方向。X轴方向表示止回阀160、连通路135W及排气阀170的配设方向。Y轴方向表示相 对于Z轴方向W及X轴方向垂直的方向。
[0011] 如图IOW及图11所示，阀901具备第二阀壳体192、由长方形的薄膜构成的第二密 封件952、由长方形的薄膜构成的隔膜920、由长方形的薄膜构成的第一密封件951、W及第 一阀壳体191，阀901具有将它们依次层叠的构造。
[0012] 如图IOW及图11所示，第一阀壳体191具有与袖套109连通的第二通气孔112、与流 体控制装置100外部连通的第=通气孔113、从第=通气孔113的周围朝隔膜920侧突出的阀 座139、W及六个开口部182。阀座139是在中央部具有第=通气孔113的圆筒形状。
[OOK]如图IOW及图11所示，在第二阀壳体192的底面粘合有压电累10的上表面。如图10 W及图11所示，第二阀壳体192具有与压电累10的排出孔56连通的第一通气孔110、与压电 累10的排出孔55连通的第一通气孔111、朝隔膜920侧突出的圆柱状的阀座138、W及与六个 开口部182对置的六个第一突出部180。
[0014] 如图10 W及图11所示，在隔膜920,且在与阀座138对置的区域的中屯、部设置有圆 形的孔部121。孔部121的直径设置为比与隔膜920抵接的阀座138的面的直径小。
[0015] 隔膜920被第一阀壳体191W及第二阀壳体192夹持，并且W与阀座139接触且孔部 121的周围与阀座138接触的方式被固定于第一阀壳体191W及第二阀壳体192。阀座138 W 对隔膜920的孔部121的周围给予压力的方式而设置于第二阀壳体192。
[0016] 由此，隔膜920对第一阀壳体191W及第二阀壳体192内进行分割。隔膜920与第一 阀壳体191W及第二阀壳体192共同构成止回阀160,其中，止回阀160具有与第一通气孔111 连通的环状的第一下阀室131W及经由连通路135与第二通气孔112连通的圆柱状的第一上 阀室133。
[0017] 另外，隔膜920与第一阀壳体191W及第二阀壳体192共同构成排气阀170,其中，排 气阀170具有与第一通气孔110连通的圆柱状的第二下阀室132W及经由连通路135与第一 上阀室133连通的环状的第二上阀室134。各个阀室的形状是在垂直于隔膜920的方向俯视 观察时的形状。止回阀160、连通路135W及排气阀170沿着X轴方向配设。
[0018] 第一阀壳体191的六个开口部182在X轴方向俯视下设置于比第一下阀室131W及 第二下阀室132更靠周边侧的位置。关于六个开口部182,其中=个开口部182沿着X轴方向 配设。其他=个开口部182在隔着第一下阀室131W及第二下阀室132而位于与W上=个开 口部182相反的一侧，并W与W上=个开口部182并列的方式沿着X轴方向配设。
[0019] 第二阀壳体192的六个第一突出部180在X轴方向俯视下设置于比第一上阀室133 W及第二上阀室134更靠周边侧的位置。六个第一突出部180W与六个开口部182对置的方 式配设。
[0020] 在第一密封件951，且在面对第一上阀室133、连通路135W及第二上阀室134的区 域设置有第二贯通孔156A~156C。第二贯通孔156A例如是中屯、轴与第一上阀室133大致相 同的圆形状。第二贯通孔156B例如是中屯、轴与第二上阀室134大致相同的圆形状。
[0021] 接下来，在第二密封件952,且在面对第一下阀室131W及第二下阀室132的区域设 置有第一贯通孔155A~155B。第一贯通孔155A例如是中屯、轴与第一下阀室131大致相同的 圆形状。第一贯通孔155B例如是中屯、轴与第二下阀室132大致相同的圆形状。
[0022] 接下来，对阀901的制造方法进行说明。首先，将第二阀壳体192、第二密封件952、 隔膜920、第一密封件951、W及第一阀壳体191层叠，使六个第一突出部180与六个开口部 182嵌合。由此，隔膜920经由第一密封件951W及第二密封件952被第一阀壳体191W及第二 阀壳体192夹持。
[0023] 接下来，将由第二阀壳体192、第二密封件952、隔膜920、第一密封件951W及第一 阀壳体191所构成的层叠体载置于台S上（参照图12)，对六个第一突出部180的前端部进行 热馴接。由此，六个第一突出部180的前端部被压塌，从而得到阀901。
[0024] 对于W上那样的阀901，谋求进一步的低成本化。特别是隔膜920需要使用可靠性 非常高的材料，因此运成为阀901的制造成本高的一个因素。
[0025] 因此本申请的发明人设计了如下的阀501，其具备除去了未直接有助于作为阀的 功能的第一密封件951、隔膜920 W及第二密封件952中的从X轴方向俯视观察时比止回阀 160W及排气阀170更靠周边侧的外侧部分Jl~J6(参照图11、图12)之后的第一密封件151、 第二密封件152W及隔膜120(参照图13)。由此，减少隔膜920的使用面积，从而实现了对阀 901的制造成本的削减。
[0026] 然而，在阀501中，如图13所示，在从X轴方向俯视观察时比第一突出部180更靠内 侧的部分，第一阀壳体191W及第二阀壳体192经由第一密封件151与第二密封件152夹持隔 膜120，但在比第一突出部180更靠外侧的部分，第一阀壳体191W及第二阀壳体192什么也 没有夹持。
[0027] 若对该阀501进行上述热馴接的话，则会导致第一阀壳体191的比第一突出部180 更靠外侧的部分朝第二阀壳体192侧翅曲，且第二阀壳体192的比第一突出部180更靠外侧 的部分朝第一阀壳体191侧翅曲。
[0028] 因此，对于阀501的构造，来自阀501的内部的空气的泄漏变多，从而存在阀501的 性能降低的问题。
[0029] 另外，如图10所示，在将阀901与压电累10连接而成的流体控制装置900中，阀901 的翅曲也对压电累10的翅曲给予影响。因此，也存在压电累10的性能的降低的问题。 【实用新型内容】
[0030] 本实用新型的目的在于提供能够相比W往减少阀的制造成本而不使阀的性能比 W往差的阀W及具备该阀的流体控制装置。
[0031] 本实用新型的阀为了解决上述课题而具备W下的结构。
[0032] (1)隔膜，其设置有孔部；
[0033] 第一密封件，其设置于上述隔膜的一个主面；
[0034] 第一阀壳体，其经由上述第一密封件与上述隔膜接合，并具有第一孔、位于上述隔 膜的一个主面侧并与上述第一孔连通的第一阀室、W及位于比上述第一阀室更靠外侧的 位置的多个开口部；
[0035] 第二密封件，其设置于上述隔膜的另一个主面；W及
[0036] 第二阀壳体，其经由上述第二密封件与上述隔膜接合，并具有第二孔、位于上述隔 膜的另一个主面侧并与上述第二孔连通的第二阀室、W及位于比上述第二阀室更靠外侧的 位置的多个第一突出部，
[0037] 通过上述多个第一突出部与上述多个开口部嵌合，由此上述隔膜经由上述第一密 封件W及上述第二密封件而被上述第一阀壳体W及上述第二阀壳体夹持，
[0038] 上述隔膜的上述孔部的周围在上述第二阀室与上述第二阀壳体抵接，从而将上述 孔部覆盖，
[0039] 上述第一密封件、上述隔膜W及上述第二密封件的各自的外周比上述第一阀壳体 W及上述第二阀壳体的外周小，并设置于相对上述多个第一突出部靠内侧的位置，
[0040] 上述第一阀壳体W及上述第二阀壳体的至少一方具有位于比上述多个第一突出 部靠外侧的位置的多个第二突出部。
[0041] 该结构的阀具有将第一阀壳体