六方轴结构的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型公开了一种六方轴结构，涉及机械领域。六方轴结构包括：第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴，所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内；所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承；所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。本实用新型所述六方轴结构采用转动轴取代轴头，通过2个轴承、转动轴和主轴芯配合有效的避免了磁钢支座与靶筒的相对偏心转动，达到了使整个旋转溅射系统更稳定的目的。
【专利说明】六方轴结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种机械结构，尤其涉及一种六方轴结构。
【背景技术】
[0002]现有的磁控溅射旋转靶内部的旋转支撑结构(六方轴结构)采用自润滑轴承，该自润滑轴承容易磨损，导致磁钢支座相对于靶筒产生偏心转动，刮蹭靶筒，在一定程度上影响了磁场的均匀性，因而存在使整个旋转溅射系统不稳定的问题。
实用新型内容
[0003]本实用新型为解决现有自润滑轴承容易磨损，导致磁钢支座相对于靶筒产生偏心转动，刮蹭靶筒，在一定程度上影响了磁场的均匀性，因而存在使整个旋转溅射系统不稳定的问题，从而提供六方轴结构的技术方案。
[0004]实用新型所述六方轴结构，包括:第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴，
[0005]所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内；
[0006]所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承；
[0007]所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。
[0008]优选的，所述第一轴承为冲压外圈滚针轴承。
[0009]优选的，所述第二轴承为深沟球轴承。
[0010]优选的，还包括:油封，所述油封设置于第二轴承的一侧，位于转动轴的尾部。
[0011]优选的，还包括:垫圈，所述垫圈设置于所述油封与所述第二轴承之间。
[0012]优选的，所述转动轴的尾部设置有一凹槽。
[0013]优选的，所述主轴芯包括:轴芯部和连接端部，
[0014]所述轴芯部与所述连接端部为一体式结构，所述轴芯部为管形结构，所述管形结构的端面外圈形状为正六边形；
[0015]所述连接端部的端面的宽度大于所述正六边形的外接圆的直径，所述转动轴的一端伸出所述连接端部。
[0016]本实用新型的有益效果:
[0017]本实用新型所述六方轴结构是磁控溅射旋转靶驱动端头内部带动靶筒旋转的一个部件，主要有作用:通过电机带动靶筒旋转；通过与水电端头配合支撑磁钢支座，使磁钢支座与靶筒产生相对转动；使驱动端与靶筒之间绝缘。
[0018]本实用新型所述六方轴结构采用转动轴取代轴头，通过2个轴承、转动轴和主轴芯配合有效的避免了磁钢支座与靶筒的相对偏心转动，达到了使整个旋转溅射系统更稳定的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为本实用新型所述六方轴结构的结构示意图；
[0020]图2为六方轴结构与驱动端头、磁钢支架以及靶筒的连接结构示意图。
[0021]附图中:1.第一轴承；2.主轴芯；21.轴芯部；22.连接端部；3.转动轴；4.第二轴承；5.塾圈；6.油封；7.驱动纟而头；8.TK方轴结构；9磁钢支座；10.祀筒；11水电纟而头；12.驱动电机。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
[0023]如图1所示，本实用新型的六方轴结构，包括:第一轴承1、第二轴承4、桶形的主轴芯2和转动轴3，
[0024]所述转动轴3可转动的套设于所述主轴芯2内；
[0025]所述转动轴3的头部与所述主轴芯2的内壁之间设置所述第一轴承I ;
[0026]所述转动轴3的尾部与所述主轴芯2的内壁之间设置所述第二轴承4。
[0027]第一轴承1、第二轴承4使转动轴3在转动的同时保持轴中心位置的固定。
[0028]如图2所示，六方轴结构8的主轴芯2的一端固定于驱动电机12的驱动端头7上，主轴芯2的另一端与靶筒10连接，通过驱动电机12带动靶筒10旋转；转动轴3与磁钢支座9连接，转动轴3与的一端磁钢支座9的一端连接，该磁钢支座9的另一端固定于水电端头11上。第一轴承1、第二轴承4使转动轴3在转动的同时保持轴中心位置的固定。主轴芯2为管形，该管一端的外圈的横截面为正六边形。
[0029]上述技术方案中，第一轴承I为冲压外圈滚针轴承。
[0030]上述技术方案中，第二轴承4为深沟球轴承。
[0031]上述技术方案中，还包括:油封6，油封6设置于第二轴承4的一侧，位于转动轴3的尾部。
[0032]上述技术方案中，还包括:垫圈5，垫圈5设置于油封6与第二轴承4之间。
[0033]上述技术方案中，转动轴3的尾部设置有一凹槽，用以固定磁钢支座9。
[0034]上述技术方案中，主轴芯2包括:轴芯部21和连接端部22，
[0035]轴芯部21与连接端部22为一体式结构，轴芯部21为管形结构，管形结构的端面外圈形状为正六边形；
[0036]连接端部22的端面的宽度大于正六边形的外接圆的直径，转动轴3的一端伸出连接端部22。
[0037]连接端部22与靶筒10连接。
[0038]以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.六方轴结构，其特征在于，包括:第一轴承、第二轴承、桶形的主轴芯和转动轴， 所述转动轴可转动的套设于所述主轴芯内； 所述转动轴的头部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第一轴承； 所述转动轴的尾部与所述主轴芯的内壁之间设置所述第二轴承。
2.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述第一轴承为冲压外圈滚针轴承。
3.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述第二轴承为深沟球轴承。
4.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，还包括:油封，所述油封设置于第二轴承的一侧，位于转动轴的尾部。
5.如权利要求4所述六方轴结构，其特征在于，还包括:垫圈，所述垫圈设置于所述油封与所述第二轴承之间。
6.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述转动轴的尾部设置有一凹槽。
7.如权利要求1所述六方轴结构，其特征在于，所述主轴芯包括:轴芯部和连接端部， 所述轴芯部与所述连接端部为一体式结构，所述轴芯部为管形结构，所述管形结构的端面外圈形状为正六边形； 所述连接端部的端面的宽度大于所述正六边形的外接圆的直径，所述转动轴的一端伸出所述连接端部。
【文档编号】F16C35/12GK203835986SQ201420104875
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2014年3月7日
【发明者】沈喜丰 申请人:上海北玻镀膜技术工业有限公司, 洛阳北方玻璃技术股份有限公司