静压气体轴承的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型提供一种谋求小型化、轻量化以及低成本的静压气体轴承。在轴承衬垫（9a）以及（9b）的轴承面（51）上设有真空吸附用槽（19）。使基于来自轴承衬垫（9a）的轴承面（51）的压缩空气喷出而产生的垂直方向上的浮起力、和基于由真空吸附用槽（19）的真空吸引而产生的垂直方向上的真空吸附力及轴承衬垫（9a、9b）的重力取得平衡，由此在垂直方向上支承轴承衬垫（9a），并使基于来自轴承衬垫（9b）的轴承面（51）的压缩空气喷出而产生的水平方向上的浮起力、和基于由真空吸附槽（19）的真空吸引而产生的水平方向上的真空吸附力取得平衡，由此将轴承衬垫（9b）在水平方向上支承。
【专利说明】静压气体轴承
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及例如使用在精密直线引导中的静压气体轴承。
【背景技术】
[0002]在以往的使用这种静压气体轴承的轴承装置中，在棱柱状的固定体b上，隔着轴承间隙c而外插有棱筒状的可动体d。
[0003]可动体d具有与固定体b的上下左右侧面隔着轴承间隙c相对配置的上下左右的轴承衬垫e?h,具有轴承衬垫e?h和固定体b的静压气体轴承配设在固定体b的上下左右四处。
[0004]在各轴承衬垫e?h的内部，形成有从外部经由空气导管i等供给压缩空气的供给孔j。向供给孔j供给的压缩空气经由设在各轴承衬垫e?h上的多孔质材料k而向轴承间隙c喷出，由此，在轴承间隙c中形成有空气膜而使可动体d以非接触的方式被支承。
[0005]在该情况下，对于可动体d的垂直以及水平方向的支承，在向上方浮起的上侧轴承衬垫e和向下方浮起的下侧轴承衬垫f之间取得沿上下方向的浮起平衡而在垂直方向上支承可动体d，并且，在向左方浮起的左侧轴承衬垫g和向右方浮起的右侧轴承衬垫h之间取得沿左右方向的浮起平衡而在水平方向上支承可动体d。
实用新型内容
[0006]由于在垂直以及水平方向上支承可动体d时，上下左右共四个轴承衬垫e?h是必需的，所以装置的小型化、轻量化以及低成本化极其困难。本实用新型是为了消除这些不良情况而做出的，其目的是提供一种能够实现小型化、轻量化以及低成本化的静压气体轴承。
[0007]为了解决上述课题，本申请提供如下技术方案。
[0008](I) 一种静压气体轴承，其特征在于，具有固定体和轴承衬垫，该轴承衬垫具有与设在该固定体上的平面状的引导面隔着轴承间隙相对的平面状的轴承面，在所述轴承面上设有对所述轴承间隙喷出压缩气体的压缩气体喷出部、和吸引固定体的真空吸附部。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的静压气体轴承的一例。
[0010]附图标记说明
[0011]I静压气体轴承
[0012]4固定体
[0013]5支承台(可动体)
[0014]9a、9b轴承衬垫
[0015]10轴承外壳
[0016]11轴承间隙[0017]12多孔质材料
[0018]15,22空气导管
[0019]16空气压缩机
[0020]19真空吸附用槽(真空吸附部)
[0021]23真空泵
[0022]50引导面
[0023]51轴承面
【具体实施方式】
[0024]图1是用于说明作为本实用新型的实施方式的一例的静压气体轴承的说明图。
[0025]使用该静压气体轴承的轴承装置I具有通过螺栓3等固定在基台2上的棱柱状且直线导轨状的固定体4、和安装有轴承衬垫9a、9b的支承台(可动体)5,该轴承衬垫9a、9b经由轴承间隙11而被设在固定体4上的平面状的引导面50直线引导。支承台5具有与固定体4的上侧以及左侧面分别隔着规定的间隔而相对配置的四边形板状的衬垫安装部6、7，上侧的衬垫安装部6的左端部和左侧的衬垫安装部7的上端部一体地连结而使截面大致成为 < 字状。
[0026]在衬垫安装部6的朝向固定体4的上侧面的部分、以及衬垫安装部7的朝向固定体4的左侧面的部分上，分别安装有轴承衬垫9a以及％。
[0027]轴承衬垫9a (9b)具有圆形形状的轴承外壳10，该轴承外壳10与固定体4的引导面50即上侧面(左侧面)隔着轴承间隙11而相对配置。在轴承外壳10的中央部大致同心地埋入有圆板状的多孔质材料12，轴承外壳10以及多孔质材料12的向着固定体4的引导面50的相对面成为平面状的轴承面51。固定体4的引导面50隔着轴承间隙11而与轴承衬垫9a、9b的轴承面51相对，另外，在该多孔质材料12上连通有空气供给孔13的一端。空气供给孔13的另一端与形成在支承台5上的空气导入孔14连通，在该空气导入孔14上经由空气导管15而连接有作为压缩空气源的空气压缩机16。
[0028]通过该空气压缩机16的驱动，压缩空气经由空气导管15、空气导入孔14以及空气供给孔13而供给至多孔质材料12，然后，经由该多孔质材料12内的微细气孔以压缩至适当的压力的状态，从轴承衬垫9a、9b的轴承面51向轴承间隙11喷出，由此，在轴承间隙11中形成有空气膜而对轴承衬垫9a施加垂直方向上的浮起力，并且，对轴承衬垫9b施加水平方向上的浮起力。因此，在轴承衬垫9a、9b的轴承面51上设有压缩气体喷出部。
[0029]此外，在轴承衬垫9a、9b的轴承面51上，在与多孔质材料12邻接的周围设有将从多孔质材料12喷出的空气向外部排出的环状的排气槽17，在排气槽17上连通有排气通路18的一端。该排气通路18的另一端向外部开放，从多孔质材料12向轴承间隙11喷出的压缩空气从排气槽17经由排气通路18而排出至外部。
[0030]在轴承衬垫9a、9b的轴承面51上，与排气槽17相比在半径方向外侧且与排气槽17隔开适当间隔地形成有环状的真空吸附用槽(真空吸附部)19，在该真空吸附用槽19上连通有真空吸引孔20的一端。
[0031]因此，在轴承衬垫9a、9b的轴承面51上设有吸引固定体4的真空吸附部。真空吸附孔20的另一端与形成在支承台5上的空气导出孔21连通，在该空气导出孔21上经由空气导管22而连接有作为真空源的真空泵23。
[0032]通过该真空泵23的驱动，轴承间隙11内的空气经由真空吸附用槽19、真空吸引孔20、空气导出孔21以及空气导管22而被真空吸引，由此，在轴承间隙11中产生负压而对轴承衬垫9a施加垂直方向上的吸附力，并且，对轴承衬垫9b施加水平方向上的吸附力。
[0033]而且，通过例如夹装在空气压缩机16侧的配管系统中的未图示的压力调整阀等，对如下的力进行平衡调整以形成适当的浮起量，该力是基于来自轴承衬垫9a的轴承面51的压缩空气喷出而产生的该轴承衬垫9a的垂直方向上的浮起力、和将支承台5以及轴承衬垫9a、9b的重力与基于由真空吸附用槽19的真空吸引而产生的轴承衬垫9a的垂直方向上的真空吸附力相加而所得的力，由此，沿垂直方向限制支承台5，并且，与上述同样地通过压力调整阀等，对基于来自轴承衬垫9b的轴承面51的压缩空气喷出而产生的该轴承衬垫9b的水平方向上的浮起力、和基于由真空吸附用槽19的真空吸引而产生的轴承衬垫9b的水平方向上的真空吸附力进行平衡调整以形成适当的浮起量，由此，将支承台5沿水平方向支承。
[0034]这样，在本实施方式中，由于能够仅通过两个轴承衬垫9a以及9b来将支承台5在垂直方向以及水平方向上支承，所以，与以往相比，能够将轴承衬垫的数量减至一半，该结果为，能够谋求装置I的轻量化、小型化以及低成本化，而且，由于固定体4的要求高精度的引导面50也削减至一半，所以，能够谋求装置I成本的大幅降低。
[0035]作为实用新型的效果，从上述说明可知，在本实用新型中，由于轴承衬垫即使仅为一个，也能够沿垂直方向以及水平方向等进行支承，所以，使用了本申请实用新型的静压气体轴承的轴承装置能够将轴承衬垫的数量减至一半，该结果为，能够谋求装置的轻量化、小型化以及低成本化，而且，由于固定体的要求高精度的引导面也削减至一半，所以，能够谋求装置成本的大幅降低。
【权利要求】
1.一种静压气体轴承，其特征在于，具有固定体和轴承衬垫，该轴承衬垫具有与设在该固定体上的平面状的引导面隔着轴承间隙相对的平面状的轴承面，在所述轴承面上设有对所述轴承间隙喷出压缩气体的压缩气体喷出部、和吸引固定体的真空吸附部。
【文档编号】F16C32/06GK203743208SQ201420069440
【公开日】2014年7月30日 申请日期:2014年2月18日 优先权日:2014年2月18日
【发明者】佐藤俊德 申请人:日本精工株式会社