真空管道安装支架的利用的利记博彩app
【专利摘要】本发明提供了一种在半导体芯片的制造过程、光伏太阳能电池版的制造等领域，涉及到真空管道系统及其管道系统安装的新方法。此方法是将集中式的动力条件供应，分解为利用本机台真空管道的支架，安装本机台的所有动力管道(包括冷却水循环水、氮气和压空等)，使人们可以清楚地分辨出那些管道属于是那部机台的，且使用点很近，可以有效地节约动力管线，减少由于软管过长而引起的漏水、漏气事故的发生。由于采用了真空管道的支架，节省了独立安装支架所占用的空间，使洁净空间的利用更有效。
【专利说明】真空管道安装支架的利用
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体芯片的制造过程、光伏太阳能电池版的制造等领域，特别涉及在上述领域硅片制造过程中的真空管道系统及其相应的管路系统。
【背景技术】
[0002]在半导体芯片和硅基光伏太阳能电池的制造过程中，有多道工序需要在真空条件下进行，如半导体芯片制造中的刻蚀、CVD、注入等工序，需要使用较多台的真空泵，有时一部机台就要使用两至四台的真空泵。为了节约有限的洁净空间，机台的真空泵大多安装在机台的下一层，即下夹层。在下夹层中需要布置除真空泵外，还要安放机台的电源变压器、电源开关柜、射频电源、Chiller Unit、机台的控制柜等,还要安装机台的配电柜、机台的尾气处理设备、VMB等，这些机台的配件同样要占用了有限的净化空间。
[0003]在一般情况下，真空泵的安装位置要与机台的真空接口有一段距离，所以真空泵的进气管道和排气管道都需要管道支架进行固定。真空泵、射频电源、Chiller Unit和机台的主机，在运行过程中，需要冷却水进行冷却，有的设备还需要氮气和压缩空气等气体供应。在电子厂房的某个区域，通常会集中安装冷却水、氮气和压缩空气等动力管道，然后再分别用软管接至各使用点。集中安装这些冷却水、氮气和压缩空气需要有一定的空间进行管道支架的安放，由于这些动力条件的需求点都比较远，所以散布在地面和支架上的软管很多，即不美观，也不安全，常有跑水的事故发生，同时这些集中供应的动力条件还要占用了有限的洁净室空间，在设备安装集中的区域，有时可能没有空间安置这些动力管道，这样就将无法进行机台的安装。
【发明内容】
[0004]为了最大限度地节约有限的洁净空间，本发明提供了一种方法。
[0005]将集中式的动力条件供应，分解为利用本机台真空管道的支架，安装本机台的所有动力管道(包括冷却水循环水、氮气和压空等)，使人们可以清楚地分辨出那些管道属于那部机台，且使用点很近，可以有效地节约动力管线，减少由于软管过长而引起的漏水、漏气事故的发生。
[0006]如果支架上还有位置可以将真空泵的开关箱也安装到此支架上。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]此图为真空管道安装支架的俯视图。
【具体实施方式】
[0008]首先按照设备平面布置的要求定位真空泵1，然后确认真空管道安装支架2的位置，要求真空管道安装支架2的安装要能方便真空泵I进出，进行真空泵I的检修。所有竖直的真空管道安装支架2要采用H型钢，为了保持真空管道支架2的稳定，支架2与地面和上部的建筑结构要有固定。
[0009]见附图，真空泵I进气、排气管道可以安装在真空管道支架2的内侧和外侧，但为了最大限度地利用管道支架，真空泵进气和排气管道最好安装在管道支架2的内侧。管道支架2的前侧和后侧可以安装动力管道，如冷却水管道、氮气管道和压缩空气管道等，在这些动力管道上可以按照各类管道的安装规范，安装相应的阀门、压力表、流量计和减压阀坐寸ο
[0010]如果真空管道支架2上还有位置，可以安装真空泵的开关箱等。
[0011]附图的左、右两侧可以并排安放多台真空泵，真空管道的支架2可以整体考虑，动力管道的安装也要进行整体考虑。
[0012]此方法不仅仅限于半导体芯片的制造过程和光伏太阳能电池版的制造，在其它应用到此类高真空的场所，也同样可以采用此方法进行真空泵及其相应管道的安装。
【权利要求】
1.真空管道安装支架的利用，提供了一种真空泵安装的新方法。首先确认真空泵的位置，并将其固定，然后按要求进行真空管道的支架安装。见附图，真空泵的进气和排气管道可以安装在真空管道安装支架2的外侧，也可以安装在真空管道安装支架的内侧，为了更有效地利用真空管道安装支架2，真空泵进气和排气管道最好安装在真空管道安装支架2的内侧。
2.真空管道安装支架2安装完成后，在真空管道安装支架2的前、后两侧，见附图按要求安装动力管道，如循环冷却水、氮气管道、压缩空气管道等。
3.附图的左右两侧可以安装多台真空泵，真空管道支架可以一并考虑，动力管道的安装也要整体进行考虑。
4.在真空管道安装支架还有位置的情况下，可以将真空泵的开关箱安装在此支架上。
5.此方法不仅仅限于半导体芯片的制造过程和光伏太阳能电池版的制造，在其它应用到此类高真空的场所，也同样可以采用此方法进行真空泵及其相应管道的安装。
【文档编号】F16L3/00GK104295796SQ201410390830
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年8月11日 优先权日:2014年8月11日
【发明者】林博强 申请人:林博强