专利名称：一种能够平衡受力状态的z轴升降机构的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，尤其涉及一种硅片传输机器人上的Z轴传动升降机构。
背景技术：
在硅片传输机器人的Z轴传动升降机构中，较多使用的是立柱式Z轴传动升降机构，即使用滚珠导轨作为Z轴升降的运动基准，将滚珠导轨安装在立柱的基准面上。但这种传动机构存在着以下缺点一是结构受力状态不好。立柱式Z轴传动升降机构的受力方向在沿滚珠导轨的运动轴线方向，而导轨的最佳受力方向是在与滚珠导轨平面的垂直方向；二是由于上部结构的全部重量都通过支撑滑块以悬臂梁的形式传递给滚珠导轨，滚珠导轨在正常承受的重力外，还额外承受很大的翻转力矩，使滚珠导轨产生较大的微观变形，轻则影响运动的灵活性，重则缩短滚珠导轨的使用寿命；三是由于滚珠导轨的安装面与侧向定位面之间、立柱的上下安装定位面之间、滚珠导轨安装面与滚珠丝杠的安装基准之间都存在着复杂的形状位置公差关系，因此立柱加工工艺复杂、成品率较低，加工成本高；四是由于立柱的重量一般都在十几公斤，安装在机箱内的一侧方向，不可避免的造成重心不稳，易使主机产生倾覆；五是由于立柱的上下安装面与主机的上下安装板之间接触面积很大，使其在装配时不易调整，费时费力。
发明内容
本发明的目的是为解决现有硅片传输机器人的Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形、滚珠导轨的使用寿命短、立柱加工工艺复杂、成品率较低、重心不稳、主机易产生倾覆、装配时不易调整的问题，提供一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构。本发明包括下安装座、Z轴驱动装置组件、预紧轮支撑机构、同步齿传动带、丝母传动机构、上安装盖、两个连接板、三个丝杠传动机构，Z轴驱动装置组件包括Z轴电机座、编码器定位管、编码器、Z轴伺服电机、磨擦式制动器、同步传动主动齿轮和连接板，所述Z轴伺服电机轴的上端为输出轴、下端为电机轴，所述Z轴伺服电机安装在Z轴电机座内，且Z轴伺服电机的输出轴位于Z轴电机座的外部，输出轴的上端设有传动外齿，所述磨擦式制动器和同步传动主动齿轮由下至上依次安装在Z轴伺服电机的输出轴上，且同步传动主动齿轮的中心内齿与传动外齿啮合，连接板安装在同步传动主动齿轮的端面上，所述编码器设置在Z轴电机座内，且编码器安装在Z轴伺服电机 上的电机轴上，编码器定位管设置在Z轴电机座外面，且编码器定位管设置在编码器上的弹性定位片与Z轴电机座下端的法兰之间，预紧轮支撑机构包括预紧轮支撑架、预紧轮支撑架上盖、三个预紧轮滑动架机构，预紧轮支撑架上盖安装在预紧轮支撑架的上端面上，三个预紧轮滑动架机构均布设置在预紧轮支撑架上盖的上端面上，且每个预紧轮滑动架机构安装在预紧轮支撑架上盖上，每个预紧轮滑动架机构包括预紧轮定位块外板、预紧轮定位块、预紧轮定位滑块、预紧轮转动架支撑轴、预紧轮转动架、两个推力顶丝、两个锁紧螺母和两个预紧轮机构，预紧轮定位块的上端面上设有T形槽，预紧轮定位滑块的下端设有与T形槽相配合的T形头，T形头与T形槽配合安装，预紧轮定位块外板安装在预紧轮定位块的外侧端面上，两个推力顶丝通过锁紧螺母与预紧轮定位块外板上的螺孔螺纹连接，螺孔与T形头的端面正对，预紧轮定位滑块上朝向Z轴中心的侧面上设有转动架安装槽，转动架安装槽上侧的预紧轮定位滑块上设有旋转轴光孔，转动架安装槽下侧的预紧轮定位滑块上设有旋转轴螺纹孔，预紧轮转动架设置在转动架安装槽中，预紧轮转动架支撑轴穿过旋转轴光孔和预紧轮转动架与旋转轴螺纹孔螺纹连接，预紧轮转动架上的两个对称的凸圆部上分别安装有预紧轮机构，且预紧轮机构上的预紧轮轴安装在与其对应的预紧轮转动架上的凹孔中，每个丝杠传动机构包括下轴承挡环、下轴用弹性挡圈、下深沟球轴承、止推轴承座、止推轴承、止推轴承座盖、同步传动被动齿轮、传动丝杠轴、上轴承挡环、上深沟球轴承、上轴用弹性挡圈，所述传动丝杠轴的上部为传动丝杠，所述传动丝杠轴的下部为光轴，同步传动被动齿轮安装在光轴上，上轴承挡环、上深沟球轴承和上轴用弹性挡圈由下至上依次安装在传动丝杠轴的上端，止推轴承座盖、止推轴承、止推轴承座、下深沟球轴承、下轴用弹性挡圈和下轴承挡环由上至下依次安装在 传动丝杠轴的下端，所述丝母传动机构包括Z轴活动托架和三个滚珠丝母,Z轴活动托架由中心盘和三个丝母托架，三个丝母托架沿中心盘的外表面均布设置，每个丝母托架的外侧端面上设有丝母安装孔，每个丝母安装孔中装有一个滚珠丝母，每个滚珠丝母的轴心处设有与传动丝杠配合的螺扣，上安装盖与下安装座上下正对设置，下安装座的端面上靠近边缘处沿同一圆周均布设有三个下轴承安装孔，上安装盖的端面上沿同一圆周均布设有三个上轴承安装孔，且三个上轴承安装孔与三个下轴承安装孔一一正对，Z轴驱动装置组件、预紧轮支撑机构、同步齿传动带、丝母传动机构、两个连接板和三个丝杠传动机构均设置在上安装盖与下安装座之间，Z轴电机座与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，且预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，预紧轮支撑机构上的六个预紧轮机构贴覆在同步传动主动齿轮的齿面上，Z轴活动托架设置在预紧轮支撑机构的上方，且预紧轮支撑机构上的三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，每个丝杠传动机构上的下深沟球轴承安装在下安装座相应的下轴承安装孔内，每个丝杠传动机构上的上深沟球轴承安装在相应的上轴承安装孔内，两个连接板以Z轴伺服电机的轴心线对称设置。本发明与现有技术相比具有以下有益效果一、与立柱式Z轴传动机构相比，本发明将Z轴伺服电机15输出的旋转运动通过三个呈120°布置的丝杠传动机构4与滚珠丝母61传动，将Z轴伺服电机15输出的旋转运动转化为滚珠丝母61的直线运动，实现Z轴活动托架59沿Z轴方向向上或向下的直线运动，本发明的传动原理具有很高的传动精度，并且本发明只均匀地承受上部机构的重量，而不会因受力不均产生额外的翻转力矩，极大的改善了受力状态，使Z轴传动机构更加合理。二、由于本发明的Z轴驱动装置组件2为居中设计，三个呈120°均布的丝杠传动机构4使整个系统的负载能力具有较大的提升，因此本发明的Z轴升降机构负载能力强，适用于传输重量较重、体积较大的物品。三、由于本发明取消了重量较重的立柱，且负载是沿圆周均匀分布的，纠正了立柱易产生的重心不稳问题，使主机重心稳定。四、由于本发明的Z轴升降机构的关键安装孔都规定了相应的同工位加工要求，因此在装配中，调整过程相对简单。
图I是本发明Z轴升降机构的整体结构立体图；图2是本发明Z轴升降机构的立体分解图；图3是Z轴驱动装置组件2的结构立体图；图4是Z轴驱动装置组件2的立体分解图；图5是预紧轮支撑机构3的结构立体图；图6是预紧轮滑动架机构27号件的立体分解图；图7是丝杠传动机构4的立体分解图；图8是丝母传动机构8的立体分解图。
具体实施例方式具体实施方式
一结合图I 图8说明本实施方式，本实施方式包括下安装座I、Z轴驱动装置组件2、预紧轮支撑机构3、同步齿传动带7、丝母传动机构8、上安装盖9、两个连接板6和三个丝杠传动机构4，见图3和图4 Z轴驱动装置组件2包括Z轴电机座10、编码器定位管12、编码器14、Z轴伺服电机15、磨擦式制动器17、同步传动主动齿轮19和连接板20，所述Z轴伺服电机15轴的上端为输出轴15-1、下端为电机轴15-2，所述Z轴伺服电机15通过螺钉16安装在Z轴电机座10内，且Z轴伺服电机15的输出轴15-1位于Z轴电机座10的外部，输出轴15-1的上端设有传动外齿15-1-1，所述磨擦式制动器17和同步传动主动齿轮19由下至上依次安装在Z轴伺服电机15的输出轴15-1上，且同步传动主动齿轮19的中心内齿与传动外齿15-1-1啮合，磨擦式制动器17通过螺钉18与Z轴伺服电机15上端的机壳平面固定连接，连接板20通过安装螺钉21安装在同步传动主动齿轮19的端面上，安装螺钉22穿过连接板20的中心孔与输出轴15-1端面的中心螺孔螺纹连接，连接板20的作用是将同步传动主动齿轮19与Z轴伺服电机15在电机轴线方向上进行固定；所述编码器14设置在Z轴电机座10内，且编码器14安装在Z轴伺服电机15上的电机轴15-2上，编码器14以自带顶丝夹紧，编码器定位管12设置在Z轴电机座10外面，且编码器定位管12设置在编码器14上的弹性定位片14-1与Z轴电机座10下端的法兰之间，编码器14的径向定位由安装螺钉13依次穿过弹性定位片14-1上的定位孔、编码器定位管12的中心孔、Z轴电机座10的安装孔后与安装座I紧固；磨擦式制动器17的作用是在系统突发停电事故时，能够迅速反应，对因惯性继续旋转的Z轴伺服电机15进行制动，防止了因系统的重力作用使上部机构自行下降，造成设备事故；见图5 :预紧轮支撑机构3包括预紧轮支撑架24、预紧轮支撑架上盖25、三个预紧轮滑动架机构27，预紧轮支撑架上盖25通过安装螺钉26安装在预紧轮支撑架24的上端面上，三个预紧轮滑动架机构27均布设置在预紧轮支撑架上盖25的上端面上，且每个预紧轮滑动架机构27通过安装螺钉32安装在预紧轮支撑架上盖25上；见图6 :每个预紧轮滑动架机构27包括预紧轮定位块外板31、预紧轮定位块33、预紧轮定位滑块34、预紧轮转动架支撑轴35、预紧轮转动架37、两个推力顶丝28、两个锁紧螺母29和两个预紧轮机构38，预紧轮定位块33的上端面上设有T形槽33_1，预紧轮定位滑块34的下端设有与T形槽33-1相配合的T形头34-1，T形头34_1与T形槽
33-1配合安装，且预紧轮定位滑块34可沿T形槽33-1滑动，预紧轮定位块外板31通过安装螺钉30安装在预紧轮定位块33的外侧端面上，两个推力顶丝28通过锁紧螺母29与预紧轮定位块外板31上的螺孔3-1螺纹连接，螺孔3-1与T形头34-1的端面正对，顺时针方向旋转推力顶丝28时，随着推力顶丝28旋入预紧轮定位块外板31，可将预紧轮定位滑块34沿预紧轮支撑架24的径向方向顶出；所述锁紧螺母29的作用是将推力顶丝28的旋入位置进行锁定；预紧轮定位滑块34上朝向Z轴中心的侧面上设有转动架安装槽34-2，转动架安装槽34-2上侧的预紧轮定位滑块34上设有旋转轴光孔34-3，转动架安装槽34_2下侧的预紧轮定位滑块34上设有旋转轴螺纹孔34-4，预紧轮转动架37设置在转动架安装槽
34-2中，预紧轮转动架支撑轴35穿过旋转轴光孔34-3和预紧轮转动架37与旋转轴螺纹孔34-4螺纹连接，两个紧固顶丝36对称设置在预紧轮定位滑块34两侧，且与预紧轮转动架支撑轴35垂直方向将预紧轮转动架支撑轴35锁定，紧固顶丝36的作用是防止预紧轮转动架支撑轴35与预紧轮定位滑块34的螺纹松动，预紧轮转动架37可在预紧轮转动架支撑轴35上自由旋转，预紧轮转动架37上的两个对称的凸圆部上分别安装有预紧轮机构38且预紧轮机构38上的预紧轮轴39安装在与其对应的预紧轮转动架37上的凹孔37-1中；预紧轮支撑机构3的作用一是为预紧轮机构38提供高度方向的正确定位，二是为预紧轮机构38提供径向方向的调节，确保通过预紧轮机构38将同步齿传动带7的齿面紧紧的贴合在同步传动主动齿轮19的齿面上；见图7 :每个丝杠传动机构4包括下轴承挡环44、下轴用弹性挡圈45、下深沟球轴承46、止推轴承座47、止推轴承49、止推轴承座盖50、同步传动被动齿轮53、传动丝杠轴54、上轴承挡环56、上深沟球轴承57、上轴用弹性挡圈58，所述传动丝杠轴54的上部为传动丝杠54-1，所述传动丝杠轴54的下部为光轴54-2，同步传动被动齿轮53安装在光轴54-2上，且同步传动被动齿轮53通过安装螺钉52与传动丝杠轴54上的凸缘固定连接，上轴承挡环56、上深沟球轴承57和上轴用弹性挡圈58由下至上依次安装在传动丝杠轴54的上端，止推轴承座盖50、止推轴承49、止推轴承座47、下深沟球轴承46、下轴用弹性挡圈45和下轴承挡环44由上至下依次安装在传动丝杠轴54的下端，止推轴承座盖50通过安装螺钉51与止推轴承座47固定连接；下深沟球轴承46和上深沟球轴承57的作用是为传动丝杠轴54的旋转提供精确的定位；止推轴承49的作用是承担来自Z轴活动托架59上承载的系统重量，防止因重量造成下深沟球轴承46的损坏；见图8 :所述丝母传动机构8包括Z轴活动托架59和三个滚珠丝母61，Z轴活动托架59由中心盘59-1和三个丝母托架59-2，三个丝母托架59-2沿中心盘59_1的外表面均布设置，每个丝母托架59-2的外侧端面上设有丝母安装孔59-2-1，每个丝母安装孔59-2-1中装有一个滚珠丝母61,每个滚珠丝母61的轴心处设有与传动丝杠54-1配合的螺扣61-1,滚珠丝母61通过安装螺钉60与丝母托架59-2固定连接；见图I和图2 :上安装盖9与下安装座I上下正对设置，下安装座I的端面上靠近边缘处沿同一圆周均布设有三个下轴承安装孔1-1，上安装盖9的端面上沿同一圆周均布设有三个上轴承安装孔9-1，且三个上轴承安装孔9-1与三个下轴承安装孔1-1 一一正对，Z轴驱动装置组件2、预紧轮支撑机构3、同步齿传动带7、丝母传动机构8、两个连接板6和三个丝杠传动机构4均设置在上安装盖9与下安装座I之间，Z轴驱动装置组件2上的Z轴电机座10通过安装螺钉11与下安装座I连接，预紧轮支撑机构3上的预紧轮支撑架24套装在Z轴驱动装置组件2上，且预紧轮支撑架24通过安装螺钉23与下安装座I连接，三个丝杠传动机构4沿同一圆周均布设置在上安装盖9与下安装座I之间，同步齿传动带7的中心端7-1套装在同步传动主动齿轮19上，同步齿传动带7的三个外侧端7-2分别套装在三个同步传动被动齿轮53上，在预紧轮支撑机构3的预紧力的作用下，预紧轮支撑机构3上的六个预紧轮机构38紧紧的贴覆在同步传动主动齿轮19的齿面上，以实现同步齿传动带7与同步传动主动齿轮19的同步传动；Z轴活动托架59设置在预紧轮支撑机构3的上方，且预紧轮支撑机构3上的三个滚珠丝母61分别与三个传动丝杠54-1螺纹连接，每个丝杠传动机构4上的下深沟球轴承46安装在下安装座I相应的下轴承安装孔1-1内，下轴承挡环44通过安装螺钉43与下安装座I固定连接，每个丝杠传动机构4上的上深沟球轴承57安装在相应的上轴承安装孔9-1内，上轴承挡环56通过安装螺钉55与上安装盖9固定连接，止推轴承座47通过安装螺钉48与下安装座I固定连接，两个连接板6以Z轴伺服电机15的轴心线对称设置，且每个连接板6的两端通过安装螺钉5与其对应的下安装座I和上安装盖9固定连接。
具体实施方式
二 结合图6说明本实施方式，本实施方式的每个预紧轮机构38包括预紧轮轴39、预紧轮41、轴用弹性挡圈42和两个预紧轮轴承40，所述在预紧轮41的内腔上下凹缘处各安装一个预紧轮轴承40，预紧轮41安装在预紧轮轴39上，轴用弹性挡圈42安装于外露在预紧轮41上端面的预紧轮轴39上端的凹槽内，轴用弹性挡圈42用以固定预紧轮轴承40的相对位置。其它组成及连接关系与具体实施方式
一相同。本发明的工作原理为a轴伺服电机15运转时，安装在Z轴伺服电机15下端电机轴15-2上的编码器14开始工作，向上位计算机反馈数据以控制Z轴伺服电机15的工作状态；由于同步传动主动齿轮19的内齿与Z轴伺服电机15上的传动外齿15-1-1啮合，因此，同步传动主动齿轮19与Z轴伺服电机15的输出轴15-1同步运转，并带动同步齿传动带7、同步传动被动齿轮53、三个传动丝杠轴54进行同步运转，由于传动丝杠轴54上的传动丝杠54-1与滚珠丝母61上的螺扣61-1配合，因此，Z轴活动托架59沿传动丝杠轴54上下移动，即Z轴伺服电机15输出的旋转运动转化为滚珠丝母61的直线运动，实现Z轴活动托架59沿Z轴方向向上或向下的直线运动。
权利要求
1.一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，其特征在于所述Z轴升降机构包括下安装座(I)、Z轴驱动装置组件(2)、预紧轮支撑机构(3)、同步齿传动带(7)、丝母传动机构(8)、上安装盖(9)、两个连接板￠)、三个丝杠传动机构(4)，Z轴驱动装置组件(2)包括Z轴电机座(10)、编码器定位管(12)、编码器(14)、Z轴伺服电机(15)、磨擦式制动器(17)、同步传动主动齿轮(19)和连接板(20)，所述Z轴伺服电机(15)轴的上端为输出轴(15-1)、下端为电机轴(15-2)，所述Z轴伺服电机(15)安装在Z轴电机座(10)内，且Z轴伺服电机(15)的输出轴(15-1)位于Z轴电机座(10)的外部，输出轴(15-1)的上端设有传动外齿(15-1-1)，所述磨擦式制动器(17)和同步传动主动齿轮(19)由下至上依次安装在Z轴伺服电机(15)的输出轴(15-1)上,且同步传动主动齿轮(19)的中心内齿与传动外齿(15-1-1)啮合，连接板(20)安装在同步传动主动齿轮(19)的端面上，所述编码器(14)设置在Z轴电机座(10)内，且编码器(14)安装在Z轴伺服电机(15)上的电机轴(15-2)，编码器定位管(12)设置在Z轴电机座(10)外面，且编码器定位管(12)设置在编码器(14)上的弹性定位片(14-1)与Z轴电机座(10)下端的法兰之间；预紧轮支撑机构(3)包括预紧轮支撑架(24)、预紧轮支撑架上盖(25)、三个预紧轮滑动架机构(27)，预紧轮支撑架上盖(25)安装在预紧轮支撑架(24)的上端面上，三个预紧轮滑动架机构(27)均布设置在预紧轮支撑架上盖(25)的上端面上，且每个预紧轮滑动架机构(27)安装在预紧轮支撑架上盖(25)上，每个预紧轮滑动架机构(27)包括预紧轮定位块外板(31)、预紧轮定位块(33)、预紧轮定位滑块(34)、预紧轮转动架支撑轴(35)、预紧轮转动架(37)、两个推力顶丝(28)、两个锁紧螺母(29)和两个预紧轮机构(38)，预紧轮定位块(33)的上端面上设有T形槽(33-1)，预紧轮定位滑块(34)的下端设有与T形槽(33-1)相配合的T形头(34-1)，T形头(34_1)与T形槽(33-1)配合安装，预紧轮定位块外板(31)安装在预紧轮定位块(33)的外侧端面上，两个推力顶丝(28)通过锁紧螺母(29)与预紧轮定位块外板(31)上的螺孔(3-1)螺纹连接，螺孔(3-1)与T形头(34-1)的端面正对，预紧轮定位滑块(34)上朝向Z轴中心的侧面上设有转动架安装槽(34-2)，转动架安装槽(34-2)侧的预紧轮定位滑块(34)上设有旋转轴光孔(34-3)，转动架安装槽(34-2)下侧的预紧轮定位滑块(34)上设有旋转轴螺纹孔(34-4)，预紧轮转动架(37)设置在转动架安装槽(34-2)中，预紧轮转动架支撑轴(35)穿过旋转轴光孔(34-3)和预紧轮转动架(37)与旋转轴螺纹孔(34-4)螺纹连接，预紧轮转动架(37)上的两个对称的凸圆部上分别安装有预紧轮机构(38)，且预紧轮机构(38)上的预紧轮轴(39)安装在与其对应的预紧轮转动架(37)上的凹孔(37-1)中；每个丝杠传动机构(4)包括下轴承挡环(44)、下轴用弹性挡圈(45)、下深沟球轴承(46)、止推轴承座(47)、止推轴承(49)、止推轴承座盖(50)、同步传动被动齿轮(53)、传动丝杠轴(54)、上轴承挡环(56)、上深沟球轴承(57)、上轴用弹性挡圈(58)，所述传动丝杠轴(54)的上部为传动丝杠(54-1)，所述传动丝杠轴(54)的下部为光轴(54-2)，同步传动被动齿轮(53)安装在光轴(54-2)，上轴承挡环(56)、上深沟球轴承(57)和上轴用弹性挡圈(58)由下至上依次安装在传动丝杠轴(54)的上端，止推轴承座盖(50)、止推轴承(49)、止推轴承座(47)、下深沟球轴承(46)、下轴用弹性挡圈(45)和下轴承挡环(44)由上至下依次安装在传动丝杠轴(54)的下端；所述丝母传动机构(8)包括Z轴活动托架(59)和三个滚珠丝母￠1)，Z轴活动托架(59)由中心盘(59-1)和三个丝母托架(59-2)，三个丝母托架(59_2)沿中心盘(59_1)的外表面均布设置，每个丝母托架(59-2)的外侧端面上设有丝母安装孔(59-2-1)，每个丝母安装孔(59-2-1)中装有一个滚珠丝母(61)，每个滚珠丝母￠1)的轴心处设有与传动丝杠(54-1)配合的螺扣(61-1)，上安装盖(9)与下安装座(I)上下正对设置，下安装座(I)的端面上靠近边缘处沿同一圆周均布设有三个下轴承安装孔(1-1)，上安装盖(9)的端面上沿同一圆周均布设有三个上轴承安装孔(9-1)，且三个上轴承安装孔(9-1)与三个下轴承安装孔(1-1) 一一正对，Z轴驱动装置组件(2)、预紧轮支撑机构(3)、同步齿传动带(7)、丝母传动机构(8)、两个连接板(6)和三个丝杠传动机构(4)均设置在上安装盖(9)与下安装座⑴之间，Z轴电机座(10)与下安装座⑴连接，预紧轮支撑架(24)套装在Z轴驱动装置组件(2)上，且预紧轮支撑架(24)与下安装座(I)连接，三个丝杠传动机构(4)沿同一圆周均布设置在上安装盖(9)与下安装座(I)之间，同步齿传动带(7)的中心端(7-1)套装在同步传动主动齿轮(19)上，同步齿传动带(7)的三个外侧端(7-2)分别套装在三个同步传动被动齿轮(53)上，预紧轮支撑机构(3)上的六个预紧轮机构(38)贴覆在同步传动主动齿轮(19)的齿面上，Z轴活动托架(59)设置在预紧轮支撑机构(3)的上方，且预紧轮支撑机构(3)上的三个滚珠丝母￠1)分别与三个传动丝杠(54-1)螺纹连接，每个丝杠传动机构(4)上的下深沟球轴承(46)安装在下安装座(I)相应的下轴承安装孔(1-1)内，每个丝杠传动机构(4)上的上深沟球轴承(57)安装在相应的上轴承安装孔(9-1)内，两个连接板(6)以Z轴伺服电机(15)的轴心线对称设置。
2.根据权利要求I所述一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，其特征在于每个预紧轮机构(38)包括预紧轮轴(39)、预紧轮(41)、轴用弹性挡圈(42)和两个预紧轮轴承(40)，所述在预紧轮(41)的内腔上下凹缘处各安装一个预紧轮轴承(40)，预紧轮(41)安装在预紧轮轴(39)上，轴用弹性挡圈(42)安装于外露在预紧轮(41)上端面的预紧轮轴(39)上端的凹槽内。
全文摘要
一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
文档编号F16H25/22GK102623375SQ20121006862
公开日2012年8月1日 申请日期2012年3月15日 优先权日2012年3月15日
发明者刘延杰, 吴明月, 孙立宁, 荣伟彬 申请人:哈尔滨工业大学