专利名称:单晶炉真空铰链安全阀的利记博彩app
技术领域:
本实用新型涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉真空铰链安全阀。
背景技术:
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和 半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重 要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用 太阳能的主要功能材料。单晶炉在硅单晶拉制过程中,当炉体漏水等异常情况发生时,炉压会突然增大时, 炉内会从真空变更高压状态,这时需要通过安全阀打开放气,泄压,从而减少安全隐患。如图1所示,现有的安全阀包括压紧弹簧1、导杆螺钉2、盖板3和四通管4,所述的 盖板3通过导杆螺钉2盖在四通管4的放气口上,导杆螺钉2上设置压紧弹簧1,所述的盖 板3和四通管4之间用密封圈5密封。装有该安全阀的单晶炉在工作中炉内压力升高时, 压力克服压紧弹簧1后盖板3打开泄压;这种方式使得弹力不易调节造成放气不畅通,而且 在硅单晶拉制过程中,会产生大量的氧化物,顺着真空管道排放,拉晶结束后,需要打开真 空管道清扫,这时就需要先卸掉导杆螺钉2、压紧弹簧1和盖板3,清扫完毕后,还需要再装 上,操作不便。发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉真空铰链安全阀,该安全阀无 弹性复位机构,放气可靠,打开清扫方便。本实用新型是这样实现的一种单晶炉真空铰链安全阀,包括盖板、四通管、密封 圈、铰链座和铰链销,所述的盖板设置在四通管的放气口上,所述的铰链座固定在四通管的 放气口便,盖板的一侧通过铰链销铰接在铰链座上,盖板与四通管之间用密封圈密封。所述四通管的放气口向上设置,所述的铰链座设置在四通管上的位置高于放气本实用新型单晶炉真空铰链安全阀为铰接式翻开结构,盖板利用真空和重力密封 覆盖在四通管的放气口上,无需弹性机构,卸压时炉内气体压力自然会推开盖板,放出气 体,,从而增加了设备的安全性;而且该铰链式安全阀,清扫真空管道时,无需拆卸部件,打 开更方便。
图1为现有的安全阀结构示意图;图2为本实用新型单晶炉真空铰链安全阀结构示意图。图中1压紧弹簧、2导杆螺钉、3盖板、4四通管、5密封圈、6铰链座、7铰链销。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本 实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型表述的内容 之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申 请所附权利要求书所限定的范围。实施例1如图2所示,一种单晶炉真空铰链安全阀,包括盖板3、四通管4、密封圈5、铰链座 6和铰链销7,所述的盖板3设置在四通管4的放气口上,所述的铰链座6固定在四通管4 的放气口便,盖板3的一侧通过铰链销7铰接在铰链座6上,盖板3与四通管4之间用密封 圈5密封。因为单晶炉在工作时内部为真空,所以盖板3被吸附在放气口上并通过密封圈5 密封,为了操作方便使盖板能直接放置,不用开始时人工操作,在本实施例中四通管4的放 气口向上设置,所述的铰链座6设置在四通管4上的位置高于放气口,这样盖板3就在重力 的作用下直接盖在放气口上,更加方便。当单晶炉内漏水,压力升高,超过外界压力时,单晶炉内气体压力会推动盖板1围 绕铰链销4旋转,打开该盖板1,放出气体,起到泄压目的,从而增加设备的安全性;需要清 扫真空管道时,也仅需要将盖板1围绕铰链销4翻转上来即可,十分方便。
权利要求1.一种单晶炉真空铰链安全阀,其特征是包括盖板(3)、四通管G)、密封圈(5)、铰 链座(6)和铰链销(7),所述的盖板C3)设置在四通管的放气口上,所述的铰链座(6) 固定在四通管(4)的放气口便,盖板C3)的一侧通过铰链销(7)铰接在铰链座(6)上,盖板 (3)与四通管⑷之间用密封圈(5)密封。
2.如权利要求1所述的单晶炉真空铰链安全阀,其特征是所述四通管的放气口 向上设置,所述的铰链座(6)设置在四通管(4)上的位置高于放气口。
专利摘要本实用新型涉及单晶炉领域,尤其涉及一种单晶炉真空铰链安全阀。一种单晶炉真空铰链安全阀,包括盖板、四通管、密封圈、铰链座和铰链销,所述的盖板设置在四通管的放气口上,所述的铰链座固定在四通管的放气口便,盖板的一侧通过铰链销铰接在铰链座上,盖板与四通管之间用密封圈密封。本实用新型单晶炉真空铰链安全阀为铰接式翻开结构,盖板利用真空和重力密封覆盖在四通管的放气口上,无需弹性机构,卸压时炉内气体压力自然会推开盖板,放出气体,从而增加了设备的安全性;而且该铰链式安全阀,清扫真空管道时,无需拆卸部件,打开更方便。
文档编号F16K17/00GK201835004SQ20102057194
公开日2011年5月18日 申请日期2010年10月22日 优先权日2010年10月22日
发明者杨金海 申请人:宁夏日晶新能源装备股份有限公司