专利名称：一种压电阀门的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种阀门，更特别地说，是指一种采用传统制造工艺与微制造工艺相 结合制造的采用压电驱动器驱动柔性铰链的压电式阀门。
背景技术：
高精度的控制阀门是一种很重要的流体介质控制器件，被广泛地应用在各种需要 对流量等参数作精确控制的场合。对于某些场合，如航天器中的推进系统，不仅要求阀门具 有很高的控制精度，很好的密封性，很低的功耗，还要求其体积和质量很小，此外推进系统 中的高温喷气容易产生恶劣的流体介质环境，还要求阀门能耐一定的温度(温度一般可达 200 0C )。压电驱动器作为一种新型的智能驱动元件目前被广泛地应用在各种驱动场合。其 控制精度极高，驱动力很大，功耗很低，并且结构紧凑，可应用于对体积和质量要求较小的 场合。此外，其不受外界的热、电磁等的干扰，自身也不产生电磁干扰，有利于在航天器中应用。从制造工艺来看，采用压电驱动的阀门主要分为微制造工艺型和传统制造工艺型 两种。对于微制造工艺型来说，其主要采用硅材料经过光刻、刻蚀等制作而成，其在体积和 质量上能做到很小，但其耐压低、流量小、耐温低，只适合于用在生物芯片等微流体领域；对 于传统制造工艺型来说，其主要采用金属材料经过传统制造工艺如切削、钻削等制作而成， 其能满足对耐压、流量和耐温的要求，但其控制精度不够高，体积和质量一般也较大。综上 所述，单纯地采用微制造工艺或者传统制造工艺来制作阀门已不能同时满足对控制精度、 密封性、体积和质量、耐压、流量和耐温的要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种采用传统制造工艺与微制造工艺相结合制造的压电阀 门，该压电阀门通过压电陶瓷堆驱动柔性支架，在施力螺钉、滑动钢珠的力传递过程中，通 过阀体组件与T形柔性件的配合实现了阀门的开/闭。在本发明中压电陶瓷堆能产生对应 于电压的不同的伸长量，从而改变T形柔性件的行程，从而改变了阀芯和阀座之间的间隙， 即改变了流量，实现对流量的精确控制。本发明的一种压电阀门，其包括有前挡板(1)、柔性支架O)、后挡板(3)、阀体组 件G)、压电驱动器(5)、施力螺钉(6)和滑动钢珠(7)；前挡板(1)与后挡板(3)的结构相 同；柔性支架( 安装在前挡板(1)与后挡板C3)之间，压电驱动器( 安装在柔性支架 (2)内，阀体组件(4)安装在柔性支架O)的下方，施力螺钉(6)和滑动钢珠(7)安装在柔 性支架( 上方，且施力螺钉(6) —端与滑动钢珠(7)接触；前挡板(1)上设有A导线通孔(ΙΑ)、B导线通孔(IB)和四个A通孔(IC)，所述的 A通孔(IC)用于螺钉穿过，且该螺钉穿过后螺纹连接在柔性支架( 正面的左框梁03)和 右框梁04)的螺纹孔中，所述的A导线通孔(IA)用于一导线穿过后与压电驱动器(5)的A压电陶瓷堆(51)上的A接线柱(511)连接，B导线通孔(IB)用于另一导线穿过后与压电 驱动器(5)的B压电陶瓷堆(52)上的B接线柱(521)连接；后挡板( 上设有四个B通孔(3A)，所述的B通孔(3A)用于螺钉穿过，且该螺钉 穿过后螺纹连接在柔性支架( 背面的左框梁和右框梁04)的螺纹孔中；柔性支架( 为一体成型加工件；支架( 上设有上框梁、下框梁0 、左框 梁(23)、右框梁04)和T形柔性件0 ；T形柔性件0 的左侧端面与左框梁的内 侧板面接合处为左柔性铰链052)，T形柔性件0 的右侧端面与右框梁04)的内侧板面 接合处为右柔性铰链051)，T形柔性件0 的下端面与下框梁0 的内侧板面接合处为 下柔性铰链053)；上框梁的上面板上设有凸台011)，凸台011)的中心开有C螺纹孔012)， 所述的C螺纹孔(212)用于安装施力螺钉(6)；上框梁的下面板与T形柔性件05)的 上面板之间有一间隙06)；下框梁0 的下面板的下方设有螺纹连接柱021)，螺纹连接柱021)的中心是 C通孔023)，所述的C通孔(22 用于支撑杆002)穿过，螺纹连接柱021)的两侧设有 D螺纹孔022)、F螺纹孔，所述的螺纹连接柱021)安装在阀体组件的上阀体 (401)的E螺纹孔G01A)中；所述的D螺纹孔(222)用于放置A调节螺钉(57)，F螺纹孔 (224)用于放置B调节螺钉(58)；左框梁03)上设有A螺纹孔031)；右框梁(24)上设有B螺纹孔(241)；T形柔性件0 的上板面的中心设有一凹腔，该凹腔内放置有滑动钢珠(7)；阀体组件(4)包括有上阀体G01)、支撑杆002)、密封膜片003)、A支撑环
(404)、施力钢珠(405)、定位环(406)、B支撑环(407)、支撑膜片(408)、定位块(409)、阀芯 (410)、阀座(411)、下阀体(412)；上阀体(401)的上面板(401C)中心开有E螺纹孔(401A)，该E螺纹孔(401A)内 连接有支架( 的螺纹连接柱021)；上阀体001)的下方开有螺纹沉头孔(401B)，该螺纹 沉头孔GOlB)用于安装下阀体G12)；下阀体012)的外缘上设有外螺纹(412A)，该外螺纹012A)实现了上阀体(401) 与下阀体(412)之间的螺纹连接；下阀体(412)的上部设有沉头孔(412B)，沉头孔(412B) 内设有C通孔G12E)和D通孔G12F)，沉头孔G12B)内设有A挡块012C)和B挡块 (412D)；阀体组件(4)的连接关系为阀座011)通过胶粘剂与下阀体G12)粘接，定位 块(409)通过胶粘剂与支撑膜片(4明)粘接，阀芯(410)再通过胶粘剂与定位块(409)粘 接；粘接了定位块(409)和阀芯010)的支撑膜片008)向下与粘接了阀座Gll)的下阀 体(412)沿轴线对齐安装；B支撑环(407)沿轴线对齐安装于支撑膜片(408)上；施力钢珠
(405)置于定位环006)中，再将其沿轴线对齐安装于B支撑环007)中；A支撑环(404) 沿轴线对齐安装于B支撑环(407)上；密封膜片(403)沿轴线对齐安装于A支撑环(404) 上；上面已安装好的各零件最后通过螺纹与上阀体(401)连接；最后将支撑杆002)穿过 上阀体(401)；压电驱动器(5)包括有A压电陶瓷堆(51)、B压电陶瓷堆(52)、A导向块(53)、B导向块(54)、A垫片(55)、B垫片(56)、A调节螺钉(57)、B调节螺钉(58)；A压电陶瓷堆(51)的上端粘接有A导向块(53)，A压电陶瓷堆(51)的下端粘接 有A垫片(55)，A压电陶瓷堆(51)上的A接线柱(511)连接有A导线，该A导线经前挡板 (1)上的A导线通孔(IA)穿过；B压电陶瓷堆(52)的上端粘接有B导向块(54)，B压电陶瓷堆(52)的下端粘接 有B垫片(56)，B压电陶瓷堆(52)上的B接线柱(521)连接有B导线，该B导线经前挡板 (1)上的B导线通孔(IB)穿过；A调节螺钉(57)穿过D螺纹孔(222)后与A垫片(55)顶紧，从而实现对A压电陶 瓷堆(51)的位置的初步固定；B调节螺钉(58)穿过F螺纹孔(224)后与B垫片(56)顶紧，从而实现对B压电陶 瓷堆(5 的位置的初步固定。本发明压电阀门的优点在于①采用微制造工艺制作了阀门密封关键件阀芯、阀座，克服了压电驱动器位移较 小的困难，并且其密封性很好和有利于提高对流量的控制精度。②采用传统制造工艺制作了柔性铰链机构，其使刚度符合动态特性的要求，能施 加所需要的密封预紧力，并且结构紧凑，减小了体积和质量。③采用传统制造工艺制作了具有膜片结构的封闭式密封腔，使阀门能同时适用于 气体和液体介质，及工作环境恶劣的介质情况。
图1是本发明压电阀门的正面结构图。图IA是本发明压电阀门的背面结构图。图IB是本发明压电阀门的分解图。图IC是本发明压电阀门的A-A视图。图2是本发明压电阀门中的支架的结构图。图2A是本发明压电阀门中的支架的另一视角图。图3是本发明压电阀门中阀体组件的分解图。图3A是本发明阀体组件中的上阀体的结构图。图;3B是本发明阀体组件中的下阀体的结构图。图4是本发明压电阀门中压电驱动器的分解图。图中1.前挡板1A.A导线通孔 1B.B导线通过
1C. A通孔2.支架
22.下框梁221.螺纹连接柱
23.左框梁231. A 螺纹孔 251.右柔性铰链252.左柔性铰链
222. D螺纹孔
24.右框梁
253.下柔性铰链 26.间隙
21.上框梁
223. C通孔
241. B螺纹孔
211.凸台
25. T形柔性件
224. F螺纹孔
212. C螺纹孔
后挡板3A. B通孔4.阀体组件 401C.上面板402.支撑杆 406.定位环407. B 支撑环 411.阀座412.下阀体 412D. B挡块412E.C 通孔 511.A接线柱52. B压电陶瓷堆 55. A垫片56. B 垫片
401.上阀体
403.密封膜片
412F. D通孔
521.B接线柱53.A导向块
412A.外螺纹412B.沉头孔412C.A挡块
408.支撑膜片 409.定位块
57. A调节螺钉 58. B调节螺钉 6.施力螺钉
401A.E螺纹孔 401B.螺纹沉头孔
404. A支撑环
压电驱动器 51. A压电陶瓷堆
405.施力钢珠
54. B导向块
410.阀芯
7.滑动滚珠
具体实施例方式下面将结合附图和实施例对本发明做进一步的详细说明。本发明设计的压电阀门采用微制造工艺制作阀体组件4中的密封关键件阀芯410 和阀座411，阀体组件4中的其余部分采用传统制造工艺制作；采用传统制造工艺制作柔性 支架2中的T形柔性件25，以及三处铰链。采用微制造工艺制作的密封关键件克服了压电 驱动器5位移较小的困难，并能保证阀体组件4具备较好的密封性能和较高的控制精度，同 时能从一定程度上减小阀体组件4的体积和质量；采用传统制造工艺制作的柔性支架2柔 和阀体组件4其余部分，能满足耐压、流量和耐温的要求。参见图1、图1A、图1B、图IC所示，本发明的一种能同时适用于气体和液体两种介 质的压电阀门，其包括有前挡板1、柔性支架2、后挡板3、阀体组件4、压电驱动器5、施力螺 钉6和滑动钢珠7 ；前挡板1与后挡板3的结构相同；柔性支架2安装在前挡板1与后挡板 3之间，压电驱动器5安装在柔性支架2内，阀体组件4安装在柔性支架2的下方，施力螺钉 6和滑动钢珠7安装在柔性支架2上方，且施力螺钉6 —端与滑动钢珠7接触。一、前挡板1与后挡板3参见图1、图1A、图1B、图IC所示，前挡板1上设有A导线通孔1A、B导线通孔IB 和四个A通孔1C，所述的A通孔IC用于螺钉穿过，且该螺钉穿过后螺纹连接在柔性支架2 正面的左框梁23的A螺纹孔231和右框梁M的B螺纹孔Ml中，从而实现前挡板1与柔 性支架2正面的安装。所述的A导线通孔IA用于一导线穿过后与压电驱动器5的A压电 陶瓷堆51上的A接线柱511连接，B导线通孔IB用于另一导线穿过后与压电驱动器5的B 压电陶瓷堆52上的B接线柱521连接。后挡板3上设有B通孔3A，所述的B通孔3A用于螺钉穿过，且该螺钉穿过后螺纹 连接在柔性支架2背面的左框梁23的A螺纹孔231和右框梁M的B螺纹孔241中，从而 实现后挡板3与柔性支架2背面的安装。
7
在本发明中，前挡板1与后挡板3通过螺钉与螺纹孔(左框梁23上的A螺纹孔 231、右框梁M上的B螺纹孔Ml)的配合，实现其与支架2的左框梁23与右框梁M的安 装，即一螺钉穿过前挡板1上的A通孔IC后螺纹连接在左框梁23和右框梁M上的螺纹孔 内，另一螺钉穿过后挡板3上的B通孔3A后螺纹连接在左框梁23和右框梁23上的螺纹孔 内。对于前挡板1、后挡板3与柔性支架2的安装也可以采用一螺钉顺次从前挡板1上的A 通孔IC穿入，经柔性支架2的框梁上的通孔(不是A螺纹孔或B螺纹孔，孔的结构不同)、 后挡板3上的B通孔3A后连接一螺母来实现三者的安装。二、柔性支架2参见图1B、图1C、图2、图2A所示，柔性支架2为一体成型加工件。柔性支架2上 设有上框梁21、下框梁22、左框梁23、右框梁24和T形柔性件25 ；T形柔性件25的左侧端 面与左框梁23的内侧板面接合处为左柔性铰链252，T形柔性件25的右侧端面与右框梁M 的内侧板面接合处为右柔性铰链251，T形柔性件25的下端面与下框梁22的内侧板面接合 处为下柔性铰链253 ；上框梁21的上面板上设有凸台211，凸台211的中心开有C螺纹孔212，所述的C 螺纹孔212用于安装施力螺钉6 ；上框梁21的下面板与T形柔性件25的上面板之间有一 间隙26 ；所述的间隙沈能够使上框梁21与T形柔性件25在施力螺钉6的作用下产生变 形时不发生干涉。下框梁22的下面板的下方设有螺纹连接柱221，螺纹连接柱221的中心是C通孔 223，所述的C通孔223用于支撑杆402穿过，螺纹连接柱221的两侧设有D螺纹孔222、F 螺纹孔224，所述的螺纹连接柱221安装在阀体组件4的上阀体401的E螺纹孔401A中。 所述的D螺纹孔222用于放置A调节螺钉57，F螺纹孔2 用于放置B调节螺钉58。左框梁23上设有A螺纹孔231，左框梁23的上端与T形柔性件25的一左侧端为 左柔性铰链252连接。右框梁M上设有B螺纹孔Ml，右框梁M的上端与T形柔性件25的一右侧端为 右柔性铰链251连接。T形柔性件25的上板面的中心设有一凹腔，该凹腔内放置有滑动钢珠7 (参见图 IC所示)。该滑动钢珠7与施力螺钉6的一端接触，能够起到传递力的作用，同时在施力螺 钉6进行调节时，防止柔性支架2中上框梁21和T形柔性件25相对扭转。在本发明中，柔性支架2采用铰链结构，在压电驱动器输出较小位移时，也能阀体 组件4达到较高的控制精度。三、阀体组件4参见图1B、图3、图3A、图;3B所示，阀体组件4包括有上阀体401、支撑杆402、密 封膜片403、A支撑环404、施力钢珠405、定位环406、B支撑环407、支撑膜片408、定位块 409、阀芯410、阀座411、下阀体412。参见图3A所示，上阀体401的上面板401C中心开有E螺纹孔401A，该E螺纹孔 40IA内连接有支架2的螺纹连接柱221 ；上阀体401的下方开有螺纹沉头孔401B，该螺纹 沉头孔401B用于安装下阀体412。参见图;3B所示，下阀体412的外缘上设有外螺纹412A，该外螺纹412A实现了上阀 体401与下阀体412之间的螺纹连接；下阀体412的上部设有沉头孔412B，沉头孔412B内设有C通孔412E和D通孔412F，沉头孔412B内设有A挡块412C和B挡块412D。阀体组件4的连接关系为阀座411通过胶粘剂与下阀体412粘接，定位块409通 过胶粘剂与支撑膜片408粘接，阀芯410再通过胶粘剂与定位块409粘接；粘接了定位块 409和阀芯410的支撑膜片408向下与粘接了阀座411的下阀体412沿轴线对齐安装；B支 撑环407沿轴线对齐安装于支撑膜片408上；施力钢珠405置于定位环406中，再将其沿轴 线对齐安装于B支撑环407中；A支撑环404沿轴线对齐安装于B支撑环407上；密封膜片 403沿轴线对齐安装于A支撑环404上；上面已安装好的各零件最后通过螺纹与上阀体401 连接；最后将支撑杆402穿过上阀体401。四、压电驱动器5参见图4所示，压电驱动器5包括有A压电陶瓷堆51、B压电陶瓷堆52、A导向块 53、B导向块Μ、A垫片55、B垫片56、A调节螺钉57、B调节螺钉58 ；A压电陶瓷堆51的上端粘接有A导向块53，A压电陶瓷堆51的下端粘接有A垫 片55，A压电陶瓷堆51上的A接线柱511连接有A导线，该A导线经前挡板1上的A导线 通孔IA穿过；B压电陶瓷堆52的上端粘接有B导向块54，B压电陶瓷堆52的下端粘接有B垫 片56，B压电陶瓷堆52上的B接线柱521连接有B导线，该B导线经前挡板1上的B导线 通孔IB穿过；在本发明中，A导线、B导线的另一端连接在控制电源上，该控制电源为A压电陶瓷 堆51、B压电陶瓷堆52供电。A调节螺钉57穿过D螺纹孔222后与A垫片55顶紧，从而实现对A压电陶瓷堆 51的位置的初步固定；B调节螺钉58穿过F螺纹孔2 后与B垫片56顶紧，从而实现对B压电陶瓷堆 52的位置的初步固定。在本发明中，可以通过调节施加在A压电陶瓷堆51、B压电陶瓷堆52上的电压，实 现阀门流量的调节。本发明的压电阀门的工作原理如下压电堆(A压电陶瓷堆51、B压电陶瓷堆52) 在断电状态下，通过调节施力螺钉6，使柔性支架2上部的上框梁21产生变形，进而使T形 柔性件25、以及柔性支架2上的三处柔性铰链(左柔性铰链252、右柔性铰链251、下柔性铰 链25 变形；在施力螺钉6调节时产生的力通过滑动钢珠7顺次传递给T形柔性件25、支 撑杆402、密封膜片403、施力钢珠405、支撑膜片408、定位块409，最后施加到阀芯410和阀 座411上，从而实现密封；当压电堆(A压电陶瓷堆51、B压电陶瓷堆52)通电后，A压电陶 瓷堆51和B压电陶瓷堆52伸长，抬起T形柔性件25、上框梁21，从而消除施加在阀芯410 和阀座411上的力，阀芯410在流体压力的作用下抬起，打开阀门。流体可以是气体、液体。本发明设计的压电阀门的驱动机构采用微制造工艺制作阀门密封关键件阀芯阀 座，其属于硬接触式密封，能克服压电驱动器位移较小的困难，同时其密封性很好并有利于 提高对流量的控制精度。在此基础上，设计了柔性铰链驱动机构，在柔性铰链机构中取消位 移放大功能，使刚度符合动态特性的要求，同时设计柔性铰链机构和施加预紧力的结构在 一体的支架中，使结构紧凑，减小了体积和质量。此外，在阀体部分，设计了具有膜片结构的 封闭式密封腔，使阀门能同时适用于气体和液体介质，及工作环境恶劣的介质情况。综上所述，此阀门同时满足了对控制精度、密封性、体积和质量、耐压、流量和耐温的要求。
权利要求
1. 一种压电阀门，其特征在于所述压电阀门包括有前挡板(1)、柔性支架O)、后挡板 (3)、阀体组件(4)、压电驱动器(5)、施力螺钉(6)和滑动钢珠(7)；前挡板(1)与后挡板(3) 的结构相同；柔性支架(2)安装在前挡板(1)与后挡板(3)之间，压电驱动器(5)安装在柔 性支架O)内，阀体组件(4)安装在柔性支架O)的下方，施力螺钉(6)和滑动钢珠(7)安 装在柔性支架( 上方，且施力螺钉(6) —端与滑动钢珠(7)接触；前挡板(1)上设有A导线通孔(ΙΑ)、B导线通孔(IB)和四个A通孔(1C)，所述的A通 孔(IC)用于螺钉穿过，且该螺钉穿过后螺纹连接在柔性支架O)正面的左框梁和右 框梁04)的螺纹孔中，所述的A导线通孔(IA)用于一导线穿过后与压电驱动器(5)的A 压电陶瓷堆(51)上的A接线柱(511)连接，B导线通孔(IB)用于另一导线穿过后与压电 驱动器(5)的B压电陶瓷堆(52)上的B接线柱(521)连接；后挡板(3)上设有四个B通孔(3A)，所述的B通孔(3A)用于螺钉穿过，且该螺钉穿过 后螺纹连接在柔性支架( 背面的左框梁和右框梁04)的螺纹孔中；柔性支架O)为一体成型加工件；支架( 上设有上框梁(21)、下框梁(22)、左框梁 (23)、右框梁(24)和T形柔性件(25) ；T形柔性件(25)的左侧端面与左框梁(23)的内侧 板面接合处为左柔性铰链052)，T形柔性件0 的右侧端面与右框梁04)的内侧板面接 合处为右柔性铰链051)，T形柔性件0 的下端面与下框梁0 的内侧板面接合处为下 柔性铰链053)；上框梁的上面板上设有凸台011)，凸台011)的中心开有C螺纹孔012)，所述 的C螺纹孔(212)用于安装施力螺钉(6)；上框梁的下面板与T形柔性件05)的上 面板之间有一间隙06)；下框梁0 的下面板的下方设有螺纹连接柱021)，螺纹连接柱021)的中心是C通 孔023)，所述的C通孔(22 用于支撑杆002)穿过，螺纹连接柱021)的两侧设有D螺 纹孔(222)、F螺纹孔(224)，所述的螺纹连接柱(221)安装在阀体组件(4)的上阀体(401) 的E螺纹孔G01A)中；所述的D螺纹孔(222)用于放置A调节螺钉(57)，F螺纹孔(224) 用于放置B调节螺钉(58)；左框梁上设有A螺纹孔031)； 右框梁04)上设有B螺纹孔041)；T形柔性件0 的上板面的中心设有一凹腔，该凹腔内放置有滑动钢珠(7)； 阀体组件(4)包括有上阀体G01)、支撑杆002)、密封膜片003)、A支撑环004)、施 力钢珠(405)、定位环(406)、B支撑环(407)、支撑膜片(408)、定位块(409)、阀芯(410)、 阀座(411)、下阀体(412)；上阀体001)的上面板G01C)中心开有E螺纹孔(401A)，该E螺纹孔0O1A)内连接 有支架( 的螺纹连接柱021)；上阀体001)的下方开有螺纹沉头孔(401B)，该螺纹沉头 孔GOlB)用于安装下阀体G12)；下阀体(412)的外缘上设有外螺纹(412A)，该外螺纹G12A)实现了上阀体(401)与下 阀体G12)之间的螺纹连接；下阀体G12)的上部设有沉头孔(412B)，沉头孔G12B)内设 有C通孔(412E)和D通孔(412F)，沉头孔(412B)内设有A挡块(412C)和B挡块(412D)； 阀体组件⑷的连接关系为阀座Gll)通过胶粘剂与下阀体G12)粘接，定位块 (409)通过胶粘剂与支撑膜片(4明)粘接，阀芯(410)再通过胶粘剂与定位块(409)粘接；粘接了定位块G09)和阀芯010)的支撑膜片008)向下与粘接了阀座Gll)的下阀体 (412)沿轴线对齐安装；B支撑环(407)沿轴线对齐安装于支撑膜片(408)上；施力钢珠 (405)置于定位环006)中，再将其沿轴线对齐安装于B支撑环007)中；A支撑环(404) 沿轴线对齐安装于B支撑环(407)上；密封膜片(403)沿轴线对齐安装于A支撑环(404) 上；上面已安装好的各零件最后通过螺纹与上阀体(401)连接；最后将支撑杆002)穿过 上阀体(401)；压电驱动器(5)包括有A压电陶瓷堆(51)、B压电陶瓷堆(52)、A导向块(53)、B导向 块(54)、A垫片(55)、B垫片(56)、A调节螺钉(57)、B调节螺钉(58)；A压电陶瓷堆(51)的上端粘接有A导向块(53)，A压电陶瓷堆(51)的下端粘接有A垫 片(55)，A压电陶瓷堆(51)上的A接线柱(511)连接有A导线，该A导线经前挡板(1)上 的A导线通孔(IA)穿过；B压电陶瓷堆(52)的上端粘接有B导向块(54)，B压电陶瓷堆(52)的下端粘接有B垫 片(56)，B压电陶瓷堆(52)上的B接线柱(521)连接有B导线，该B导线经前挡板(1)上 的B导线通孔(IB)穿过；A调节螺钉(57)穿过D螺纹孔(22 后与A垫片(5 顶紧，从而实现对A压电陶瓷堆(51)的位置的初步固定；B调节螺钉(58)穿过F螺纹孔(224)后与B垫片(56)顶紧，从而实现对B压电陶瓷堆(52)的位置的初步固定。
2.根据权利要求1所述的压电阀门，其特征在于所述的压电阀门能同时适用于气体 和液体两种介质。
3.根据权利要求1所述的压电阀门，其特征在于所述的压电阀门采用微制造工艺制 作阀体组件⑷中的阀芯(410)和阀座011)，采用传统制造工艺制作阀体组件⑷中的除 阀芯010)和阀座011)以外的器件；采用传统制造工艺制作柔性支架(2)中的T形柔性 件0 以及三处铰链。
全文摘要
本发明公开了一种压电阀门，其包括有前挡板、柔性支架、后挡板、阀体组件、压电驱动器、施力螺钉和滑动钢珠；前挡板与后挡板的结构相同；柔性支架安装在前挡板与后挡板之间，压电驱动器安装在柔性支架内，阀体组件安装在柔性支架的下方，施力螺钉和滑动钢珠安装在柔性支架上方，且施力螺钉一端抵紧滑动钢珠。该压电驱动器采用传统制造工艺与微制造工艺相结合的制造方式。该柔性支架为铰链结构。本发明的压电阀门能满足航天器微推进系统使用，且能同时适用于气体和液体介质，密封性好。
文档编号F16K31/02GK102072352SQ20101054899
公开日2011年5月25日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者吕建路, 吴吉良, 张德远, 李翔 申请人:北京航空航天大学