用于振动感应装置的安装平台的利记博彩app

专利名称：用于振动感应装置的安装平台的利记博彩app
用于振动感应装置的安装平台技术领域所公开的主题大体上涉及隔振器和工业工作台。
技术背景现已有了多种用于工业使用的工作台例如光具座工作台或振动工作台。授予Teny的美国专利No.5，154,963中披露了一种IDlk工作台，其具有顶板、底板 以及分隔这两个板的蜂窝构件。上述蜂窝构件使得在顶板上设置有螺纹孔。外 部振动感应的有效载荷装置例如光学系统的光学部件或振动系统处于试验中的 装置可连接在工作台的螺纹孔上。在许多试验研究和工业应用中，将工作台与外部振动例如建筑结构的固有 颤动相隔离是所期望的。授予Houghton等人的美国专利No.6,209,841中披露了 一种放置在建筑物地板和工作台之间使工作台振动减弱的主动隔离组件。所述 隔离件包括与控制器相连的振动传感器和致动器。传感器感应振动并向控制器 提供输出信号。随后控制器对输出信号迸行处理并提供驱动信号以激励致动器 并补偿"，振动。振动隔离件减小了从底板传递至l」工作台上的振动。但是，工作台顶部本身 有其自身的固有频率和相应的弯曲振动模式，所述弯曲振动模式很容易由穿过 隔离件或通过其它源头例如由安装在工作台上的有效载荷装置产生的听觉激 励、空气扰动和动态作用力形成的残余振动激励。主要的弯曲振动模式通常具 有球形特征，这意味着在工作台任意点的激励都产生围绕整个工作台表面的振 动模式。劇,特殊的阻尼體引入工作台构件，否贝娜些固有振动衰减的非 常小并因此会达到较高的振幅。各种设计的从动阻尼器广泛地用于构造光学工作台。CM. harris编著的 1996年第四版和2001年第五版"冲击和振动手册"的第37章提供了本领域的 测量技斜n阻尼器(阻尼处理)的分类。根据其内容，已知的阻尼处理的种类 包括自由层阻尼处理，其中通过由基体构件的弯曲振动产生的阻尼层(由粘弹
性材料制成)的扩张^变形 散能量。强制层阻尼处理，其中强制层有助于响应基体构件的弯曲振动在粘弹性层弓跑相X寸较大的剪切变形，由此提供更有效的能量耗散机构。积分阻尼处理，包括在构造组件中采用阻尼层压板和减阻尼接头。调谐阻尼器，其基本上是具有与基体构件的共振频率相匹配(调谐)的共振的质量-弹簧系统。调谐阻尼器的应用通常通过两个更小的振幅峰值取代了基 体构件的共振峰值。阻尼连接，即连接所述构件牵弓l部分的粘弹性元件，所述牵引部分在振动 过程中经受较大的相对运动。一些弓l用的阻尼技术己经在光学工作台上得到了应用。特别是，Newport 公司(参见2003年Newport公司的"Newport物资"商品目录)在其光学工作 台设计中采用调谐阻尼器、工作表面强帝i展处理以及积分阻尼。尽管如此，对光电和半导体产业中的高精密和高产量日益增长的要求以及 对现代科学试验仪器的需求需要光学工作台的阻尼性能比由现有技术中已知的 方法和装置所能达到的更高。与被动控制相比，主动振动控制方法能够达到较 高的性能是公知的。有时在工作台上监控振动级别是所期望的。例如，在精密测量系统中实时 振动数据可使某一测量合格或不合格。在精密制造系统中实日ffi动数据可表示 特别制造的零件例如半导体晶片存在缺陷的可能性增加。如果所述的工作台是 振动测试装置的一部分，则振动监控也是必须的。振动信号可以仅被用于表示某一时限内平台上增加的振动级。在这种情况 下由于主要的振动模式的球形特征，振动传感器可被放置在工作台的几乎任意 点上；工作台拐角附近的区±或代表安装振动传繊的适当位置，因为这些区士或 响应工作台顶部所有典型的振动模式。在其它情况下，所关注的是在振动感应 装置临界位置处的振动输入的精确值。在这种情况下传感器应该直接靠近振动 感应装置的连接点放置。在工作台的工作表面上布置包括传感器和电缆的振动测量系统将减小重要 的有效载荷空间。由于空间限制，将传 放置在装置最大振动感应部件附近 是不可能的。在生产环境下，由于需要准备时间因此上述做法是不切合实际的。 于是，非常需要一种监控工作台的振动同时使其表面空出并可由使用者角級的系统。在授予Teny等人的名为"蜂窝工作台审隨和兼有空白空间的蜂窝工作台" 的美国专利No.4，621,006以及授予丁eny的名为"蜂窝工作台制造和兼有空白空 间的蜂窝工作台"的美国专利No.5,500,269中KS了光学工作台设计的要素。 在授予Heide的名为"蜂窝工作台台面"的美国专利No.4,645,171、授予Gertel 的名为"蜂窝工作台"的美国专利No.5,061，541、授予Galpin等人的名为"光 学工作台"的美国专利No.5,626,157、以及授予Gertel等人的名为"光学工作台" 的美国专利No.5,962，104中披露了其它细节和变形。对于光学蜂窝工作台广泛 的总体描述可参照2000年振动控制(Vibration Control)商品目录以及Newport 公司的2002-2003年的"Newport物质"商品目录。TMC、动态系统以及其它制 造商的商品目录也包含了对光学工作台设计的描述。振动隔离件在预定位置被组装在工作台上以使阻尼最优化。有时工作台具 有不同于分析模式的振动特性。另外， 一个有效载荷构造可在工作台上形成与 另一有效载荷构造不同的波节和波腹。所期望的是，即使在工作台被组装后也 可以使操作者在工作台的有效载荷表面附近移动振动阻尼器(多个振动阻尼器) 以优化振动阻尼。发明内容振动阻尼组件与工作台的有效载荷表面相连。


图1是平台的透视图；图2是所述平台的侧向剖视图；图3是与监控器相连的所述平台的透视图；图4是在工作台中心具有阻尼器的一种平台实施方式的横截面图； 图5是在工作台中心的可控阻尼器的示意图； 图6是戶脱平台的一种实施方式的透视图；图7是表示与工作台有效载荷面相连的振动阻尼组件的透视图； 图8是振动阻尼组件的一种实施方式的横截面图；图9是具有位于工作台和振动隔离件之间的振动阻尼组件的工作台组件的具体实施方式
公开的是一种可连接并在工作台表面附近或其它工作表面移动的振动阻尼 组件。所述振动阻尼组件包括位于壳体内的至少一个传 和至少一个阻尼器。 戶腿壳体可连接在工作台的任意表面或工作表面上。例如，在一禾中实施方式中， 振动阻尼组件被构造成连接在光学工作台或平台上，所述光学工作台或平台被 构造成支承任意数量的光学部件。典型的光学工作表面非限制性地包括光学工 作台、光具座、光学试验板、激光平台、光学平台等等。例如，在一种实施方 式中，所述壳体可与光学工作台的一个靠近一个或多个工作台支承件或立柱的 表面相连。在备选的实施方式中，所述壳体可连接在与一个或多个工作台支7承 构件或立柱相对的光学工作台表面上。戶，壳体可被构造皿用一个或多个紧固件连接在工作台或平台表面上。 例如，在一种实施方式中，振动阻尼器可拆分地连接到工作台或平台表面上。 同样地，操作者可将振动阻尼组件移动至l江作台或平台的不同位置，从而允许使用者优化爿;M组件的阻尼功能。参照附图尤其是参照附图^i己，图1和2表示平台10。平台10可包括具 有第一表面14、第二表面16以及多刊则面18的工作台12。第一表面14可沿 第一板20延伸，第1面16可沿第二板22延伸并且侧面18可沿一个或多个 侧板24延伸。第一板20通过内芯26与第二板22分开。平台10的第一板20和第二板 22由一个或多个非限制性地包括不f辩阿、铝、碳纤维、花岗石、钢、職H、层 状金属、复合金属、木材、层压板、复合木材、胶木、覆盖胶木的基底、玻璃 纤维、复合材料、凯夫拉尔(Kevlar)、纖等的材料构成。第一板20和第二 板22可由类似材料制成。在备选的实施方式中，第一板20和第二板22可由不 同的材料制成。和第一和第二板20， 22—样，平台10的内芯26可由多种材料制成。典型 的芯材料非限审胜地包括各种金属和包括钢、钛、铝、铁、花岗石的金属复合 材料，各种木材和包括中等密度的纤维板、刨花板等的木质复合材料，纸板、 多重层压板、包括碳纤维、凯夫拉尔等的复合材料，以及类似材料。在一种实 施方式中，内芯26可容纳蜂窝构件28以对板20和22^f共^^:。可选^i也， 内芯26可被构造成不具有蜂窝构件。可选择地，第一板20和/麟二板22可被构造成具有任意数量的与其相连 的安装装置。例如，第一板20和/或第二板22可包括多个螺纹孔30，螺纹孔30 被构造成其中容纳在其上形成的安装装置的至少一部分。可选择地，孔30不必 带有螺纹。典型的安装装置非限制性地包括光学支架、支柱、透镜支承件、隔 离支承件或平台等等。在备选实施方式中，平台10可被构造戯其上史承多种 测量装置或振动感应装置。例如，平台10可被构造成在其上^f〈质谱^S、核 磁共振(NMR)测量装置、或类似的振动感应装置。在备选的实施方式中，第 一板20禾口/或第二板22可被构造成具有与其磁耦合的一个或多个架，1蝶置。 同样地，第一板20、第二板22或二者可以被制造成在其中不具有孔30。可选 择地，平台IO可被构造成具有采用多种连接方法中任意一种与其相连的一个或 多个支架或装置。典型的备选连接方法非限制性地包括可拆分地连接、不可拆 分鹏接、焊接、粘合连接、摩擦连接、电磁连接等等。再次参照图1和2，夕卜部振动感应有效载荷32可连接在工作台12的一个 或多个螺纹 L 30上。有效载荷32可以是任意类型的，例如光学系统的光学 部件、在振动器上处于试验中的装置，等等。另外，工作台是用于制造半导体 晶片、集成电路等的设备的平台。通常工作台可以是被用于支承在制造或试验 环境使用的部件、系统或设备的任意平台。为了解释权利要求，术语"平台" 或"工作台"不包括飞机或建筑物的任何构件，其中上述构件包括飞机机翼、 机身、建筑物墙壁或地基。—个或多个振动传感器34可位于内芯26内并与第一板20的下垫面36相 连。振动传感器(多个振动传繊)34可以是任意类型的體，例如可以感应 振动的加速计、地音探测器或位移传麟。尽管示出了三个振动传繊34,但 是可以働率，任意数量传繊34可设置在工作台的任意{體。传驗(多个传 感器)34可与电连接器38相连，其中连接器38连接在工作台12的侧板24之 一上。传感器34可通过穿过内芯26的电缆40与电连接器38相连。传感器(多 个传感器)34可提供输出信号，fM输出信号通过电缆40传送到电连接器38。如图3所示，M将电缆44插入电连接器38而{，控器和/或控制装置42 与传感器(多个传感器)34相连。监控器和/或控制装置42可记录和/或显示由 传繊(多个传麟)34提供的振动信息。可选择地，监控器和/或控制驢42 可被构造成向结合在工作台10内的可控阻尼器(未示出)提f^制信号。再次 参照图3， M将振动传感器34定位在内芯26内，传感器34可直接测量外部
装置32下面的振动，由此提供更准确的数据。电连接器38^m空器42可以很 容易与传感器(多个传感器)34相连，由此减少对工作台12内的振动进行监控 的准备时间。尽管示出并描述了电缆40和电连接器38，但可以理解，传離(多 个传感器)34可具有il过无线方式传送输出信号(多个输出信号)的无线发送 器(未示出)。图4表示具有设置在内芯26内的阻尼器50的工作台组件10'的一种实施方 式。阻尼器50可包括被激励以产生振动的致动器52例如音圈，Jl^振动补偿 和消除了工作台12内的振动。致动器52可包括与磁铁块56电^^矛妾的电磁线 圈54。磁铁块56可被构造成通过一对柔'性膜片58与致动器壳体57相连。壳体 57连接在板20和22上。膜片58起到结合块56的弹簧的作用以形成弹簧欺组 件。向线圈54提供电流以产生移动块56的磁力。线圈54可以一种方式被 以与弹簧/±央组件一起产生动态作用力，从而补偿工作台12上的振动。可采用本领域通常已知的任意技术使振动传自34与工作台12相连。例 如，可采用延伸穿过顶板20并连接在传離壳体62上的螺钉60使振动传麟 34与工作台相连。传感器34可与致动器52同轴并与致动器52紧固连接。传感 器34向控制电路64提供输出信号。控制电路64对f^信号进行处理并向线圈 54樹共激励信号以产生消除工作台振动的补偿振动。控制电路64可位于内芯 26内并通过电缆66与传感器34和线圈54相连。图5是结合到工作台10'内的可控阻尼器的示意图。来自振动传感器34的 信号被传送到控制器64。控制器64可包含放大器75、补偿器76以及过滤器77。 可采用数字控制或模拟控制。已变换的信号进入容纳在工作台构件内的致动器 的主动元件54例如线圈内。振动致动器还包括可带有磁铁的反作用块56以及 在戶脱i央和工作台面之间提供弹性连接的柔性元件58。控制器模块的放大增益 和其它参数被设定并与传感器、致动器以及机械组件的特性相协调，使得在工 作台顶面板上感应的力Fa使该点的振动减小。当控制电流流过线圈54时，电磁力作用在反作用块56上，并且等效的反 作用力作用在与工作台构件固定在一起的固定线圈上。控审ij回路被设计成使得 被传送到工作台构件的总的力的相位和振幅抵消工作台的振动。设计用于减少 振动的控制器和致动器的方法在本领域内是已知的。
在一种实施方式中，由图5中点A、 B和C所代表的位置处在同一垂直轴 线上同轴并相互紧固连接。可选择地，控制回路可被设计成使得作用在工作台 上的主动力在包含工作台面弯曲振动的主要固有频率的频域内模拟粘性阻尼器 的效果。这种方法相对于有效载荷的变化形成了固有稳定性和强度。为了实现 这一策略，控制器的传递函数应该被设计成其中6) = 2< =圆周频率。^(必)-致动器(振动器)传递函数，或者由致动器施加在戶;M构件上的总的力N与输入电压的比值，N/V。S(")-传繊传递函数，或者传麟输入电压与动劍立移的比值，V/m。〖@)=控制器传递函数，V/V。k二可调增益。因此，由主动系统施加在工作台构件上的力等于/献"，其中"是工作台的 动态位移振幅，其相当于粘性阻尼器的作用。当然，也可以采用其它单元。传 感器可以是加速计、速度计(例如地音探测器)或位移传感器。可采用附加的 校正滤波器改进稳定边际或其它参数。图6表示工作台12的备选实施方式，其中狭条80位于顶板20和 L密封瓦 片82之间。孑L密封瓦片82可具有多个靠近螺纹孔30设置的套84以收集穿过 孔30落下的碎屑。狭条80可以^传 和/或致动器作用的压电装置。备选 地，可在板20和瓦片82之间设置光缆或其它装置以提供感应和/或致动功能。 瓦片82可在构造工作台12的制造过程中f射户狭条80。图7表示一X寸与工作台12的第一有效载荷表面14相连的振动阻尼组件 100。有效载荷表面14可5>承载荷例如一对光学體102。可采用多种體和/ 或方法使每个阻尼组件100连接在有效载荷表面14的不同位置上。例如，在一 种实施方式中，每个阻尼组件100通过以攻丝方式拧紧在工作台12的螺纹孔30 内的紧固件104固定在工作台12上。可选择地，可采用任意类型的连接技术使 每个阻尼器连接在工作台12上。典型备选的连接技术非限制性地包括焊接、粘 合连接、磁耦合、夹紧等等。再次参照图7。同样地，阻尼器100可拆分或不可 拆分地连接在工作台上。当可拆分i鹏接在工作台12上时，工作台12的操作者可拆开并将齡阻尼组件脂移动到有效载荷表面14的不同位置以优化组件 100的阻尼功能。组件100与控制器106相连。控制器106可与图5所示并在附加内容中描 述的控制器64相同或相似。尽管所示和描述的是夕卜部控制器106，但可以理解， 组件100中至少一个可被改装成包含一个或多个控制器106电路。图8表示振动阻尼组件100的一种实施方式。组件100包括壳体110。壳 体110可包括容纳振动传感器114的第一室112和容纳阻尼器118的第二室116。 传感器114和阻尼器118可与图4所示并在所附加内容中描述的传，和阻尼 器相同。例如，阻尼器118可包括一个或多个主动致动器。第一室112可由O 形环120或其它类型的密封件密封。壳体110可由金属材料构成以衞专感器114与电磁噪声尤其是由阻尼器 118产生的噪声隔离。壳体110实际上可由外壳122、内壳124以及底座126构 成。壳体部件122、 124以及126可通过多个紧固件128 i^接在一起。阻尼器118 可通过螺纹接头130连接在内壳124上并由紧固件132固定在适当位置。底座126可具有凸缘134，凸缘134具有向将组件100连接在工作台上的 紧固件(参见图7)提供通孔的多个孔136。尽管示出和描述了通孔，但可以理 解，可采用其它装置将组件连接在工作台上。例如，底座126可具有多个从凸 缘134延伸并压入工作台的孔30内的螺栓。组件100可包^il过电缆(多个电缆)140与传感器114相连的第一电连 接器138以及舰电缆(多个电缆)144与阻尼器118相连的第二电连接器142。 电连接器138和142与图7所示的控制器106相连。在操作中，振动阻尼组件(多个振动阻尼组件)100通过穿过凸缘孔136 插入紧固件104并将壳体110固定在工作台12上而与有效载荷14相连。电连 接器138和142与控制器106相连，尽管如此可以理解，在壳体110连接到工 作台12上之前连接电连接器138和142。振动传麟114感应振动并向控制器 106提供信号(多个信号)。控制器106对戶腿信号(多个信号)进行处理并向 阻尼器118提供驱动信号(多个驱动信号)以使振动衰减。操作者可将监控器(参见图3)连接在组件100上以利用传,感应工作 台位置处的振动。操作者可来回移动组件100以感应有效载荷表面14的不同位 置的振动并优^X寸工作台12的阻尼。
图9表示具有位于工作台12和振动隔离件150之间的振动ffljS组件100'的工作台组件的一种实施方式。振动隔离件150的作用主要是使工作台12与地 板上的振动隔离。振动阻尼组件100'和隔离件150处于各自的壳体内，从而使 得4顿者可以从工作台组件上增加或拆除阻尼组件100'。振动隔离件150可以 是本领域内已知的任意类型。作为举例，隔离件150可以是由受让人加禾幅尼 亚Irvine的Newport公司销售的产品。单个阻尼组件在工作台的阻尼振动方面 给操作者提供了适应性。尽管在图l、 3和7中未示出，但可以理解，在这些图 中示出的工作台12可由隔离件150或任何其它构件例如工作台立柱支承。尽管在附图中己经描述和示出了某些典型的实施方式，但可以理解，这些 实施方式仅仅是示意性的而不是对宽泛的发明进行限制，同时本发明并不限于 所示和描述的特定的构造和结构，因为本领域的那些普通技术人员可以做出各 种其它变形。特别地，所提及的作为工作台的构件可以是任何类型的支承构件，包括多 级平台或支座平台。这种支承构件的工作表面可以是水平、垂直或者甚至是倾 斜的。由此，传感器和主动阻尼器的作用线可以是垂直、7K平或倾斜的；多向 传感器或主动阻尼器也可以作为本发明的变形。尽管图4表示致动器由具有移 动磁铁和固定线圈的电磁振动器实现，但也可以采用其它类型的致动器设计， 特别是具有固定磁铁和移动线圈的电磁设计、具有一个固定和一个移动线圈的 电磁线圈，等等。备选地，可采用刚性(例如压电)致动器形成反作用i央和工 作台的相对运动。主动致动器通常位于固定位置，通常在工作台的拐角。这一布置可以有效 地减小工作台在其共振频率下的固有振动。它不會瞎效地减小由机械或声学激 励所弓l起的工作台在固定频率下的强制振动。即使通过编程在这一频率下形成 增加的机械阻抗，它们也只是减小安装点局部的振动。根据本发明的附加的受 控阻尼器被安装在最大振动感应部件的附近或强制振动源的附近并被编程以减 小在某些固定频率下的振动，由此免受强制振动的影响。
权利要求
1.一种支承振动感应的有效载荷的平台组件，所述组件包括具有第一表面、第二表面、以及位于所述第一和第二表面之间的内芯的工作台，其中第一表面与所述振动感应的有效载荷相连；以及位于所述内芯内的振动传感器。
2. 如权利要求1戶腿的组件，其特征在于，戶，第一表面沿第一板延伸并且戶脱振动传麟与戶欣第一板相连。
3. 如权利要求i戶脱的组件，其特征在于，还包 链接在戶;Mx作台夕卜表面上并与所述振动传感器相连的电连接器。
4. 如权禾腰求l戶舰的组件，其特征在于，还包括位于戶脱内芯内的阻尼器。
5. 如权利要求4戶脱的组件，其特征在于，戶湖阻尼器包括与戶诚振动传 感器相连的主动致动器。
6. 如权禾腰求5戶腿的组件，其特征在于，还包括与戶腿振动传感器和所 述主动致动器相连的控制电路。
7. 如权利要求1戶，的组件，其特征在于，还包括与戶，振动传 相连 的监控器。
8. 如权禾腰求l戶脱的组件，其特征在于，还包括在戶诚内芯内的蜂窝芯板。
9. 如权禾腰求6戶脱的组件，其特征在于，戶脱控制电路导致戶腿主动致动器形成主动力，所述主动力模拟粘性阻尼器在包含所述第一表面弯曲振动的 多个固有频率的频域内的效果。
10. 如权利要求1所述的组件，其特征在于，所述振动传ii^包括无线发
11. 一种支承振动感应的有效载荷的平台组件，所述组件包括-具有第一表面、第二表面、以及位于所述第一和第1面之间的内芯的工作台，其中第一表面与所述振动感应的有效载荷相连；以及 用于感应戶皿第一表面振动的振动传 装置。
12. 如权利要求n戶服的组件，其特征在于，戶腿第一表面沿第一板延伸 并且戶，振动传感器装置包括与所述第一板相连的振动传感器。
13.如权利要求ll所述的组件，其特征在于，还包括连接在戶，工作台外表面上并与戶;f^振动传感器装置相连的电连接器。
14. 如权禾腰求ll戶腿的组件，其特征在于，还包括位于戶腿内芯内的阻 尼器。
15. 如权禾腰求14戶腿的组件，其特征在于，戶脱阻尼器包括与戶舰振动 传 装置相连的主动致动器。
16. 如权利要求15所述的组件，其特征在于，还包括与所述振动传皿和戶脱主动致动器相连的控制电路。
17. 如权利要求ll戶诚的组件，其特征在于，还包括与戶脱振动传繊装置相连的监控器。
18. 如权利要求ll所述的组件，其特征在于，还包括在所述内芯内的蜂窝 芯板。
19. 如权利要求16戶腿的组件，其特征在于，戶脱控制电路导致戶腿主动 致动器形成主动力，所述主动力模拟粘性阻尼器在包含所述第一表面弯曲振动 的多个固有频率的频域内的效果。
20. 如权利要求ll戶腿的组件，其特征在于，戶，振动传感器装置包l玩 线发送器。
21. —种用于对与平台式工作台的第一表面相连的振动感应的有效载荷的 振动进行感应的方、法，戶，方^^括用位于平台式工作台的内芯内的振动传感器感应戶，振动。
22. 如权利要求2i所述的方法，其特征在于，还包括力A^;M振动传感器向外部监控:t^专送 俞出信号。
23. 如权利要求22戶脱的方法，其特征在于，戶脱输出信号M^接在所 述平台式工作台上的电缆和电连接器传送。
24. 如权利要求21所述的方法，其特征在于，采用位于所述内芯内的主动 致动器对戶，平台式工作台的第一表面进行阻尼。
25. 如权利要求24戶诚的方法，其特征在于，戶;f^动致动器形成主动力， 所述主动力模拟粘性阻尼器在包含所述平台式工作台的第一表面弯曲振动的多 个固有频率的频:威内的效果。
26. —种可连接在工作台上的振动阻尼组件，所述工作台具有第一表面以 及与一构件相连的第二表面，所述组件包括具有连接特征的壳体，戶腿连接特征使所述壳体可以连接在所虹作台的 第一表面上；以及位于戶，壳体内的振动传感器；以及位于戶皿壳体内的阻尼器。
27. 如权利要求26所述的组件，其特征在于，所述连擦待征是具有至少一 个孔的凸缘。
28. 如权利要求26戶脱的组件，其特征在于，戶脱壳体包括容纳戶脱振动 传感器的第一室以及容纳所述阻尼器的第二室。
29. 如权利要求26所述的组件，其f寺征在于，戶，阻尼器包括主动致动器。
30. 如权利要求26所述的组件，其f寺征在于，还包括与戶，传^l相连并 从鹏壳体延伸的电连接器。
31. 如权利要求26所述的组件，其特征在于，还包括与戶，阻尼器相连并 从戶皿壳体延伸的电连接器。
32. 如权利要求26戶脱的组件，其特征在于，戶脱壳体由金属材料构成。
33. —种可连接在工作台上的振动阻尼组件，所述工作台具有第一表面以 及与一构件相连的第二表面，所述组件包括具有连接装置的壳体，戶皿连接装置^^述壳体可以连接在戶万述工作台的 第一表面上；以及位于所述壳体内的振动传感器；以及 位于所述壳体内的阻尼器。
34. 如权利要求33所述的组件，其f寺征在于，所述连接，包括具有至少 一个孔的凸缘。
35. 如权利要求33所述的组件，其特征在于，所述壳体包括容纳戶;M振动 传感器的第一室以及容纳戶，阻尼器的第二室。
36. 如权利要求33所述的组件，其特征在于，戶，阻尼器包括主动致动器。
37. 如权利要求33所述的组件，其特征在于，还包括与戶皿传，相连并 从戶，壳体延伸的电连接器。
38. 如权利要求33所述的组件，其牛寺征在于，还包括与所述阻尼器相连并 从戶脱壳体延伸的电连接器。
39. 如权利要求33所述的组件，其特征在于，所述壳体由金属材料构成。
40. —种工作台组件，其包括 具有第一表面和第二表面的工作台； 与所述第二表面相连的构件； 连接在所述工作台的所述第一表面上的壳体； 位于所述壳体内并与所述工作台相连的振动传感器；以及 位于所述壳体内并与所述工作台相连的阻尼器。
41. 如权禾腰求4o戶舰的组件，其特征在于，还包括^妙脱壳体与戶;Mx作台相连的紧固件。
42. 如权禾腰求40戶脱的组件，其特征在于，戶脱壳体包括容纳戶脱振动 传感器的第一室以及容纳所述阻尼器的第二室。
43. 如权禾腰求40戶脱的组件，其特征在于，所述阻尼器包括主动致动器。
44. 如权利要求40所述的组件，其特征在于，还包括与戶，传,相连并 从戶，壳体延伸的电连接器。
45. 如权禾腰求40戶舰的组件，其特征在于，还包括与戶腿阻尼器相连并 从戶脱壳体延伸的电连接器。
46. 如权利要求40戶诚的组件，其特征在于，戶做壳体由金属材料构成。
47. —种用于衰减工作台上的振动的方法，所述工作台具有第一表面以及与一构件相连的第i面，戶;M方纟跑括将振动阻尼组件连接在戶，工作台的第一表面上； 采用戶腿振动阻尼组件感应戶脱振动；以及 采用戶/M振动阻尼组件^j3，振动衰减。
48. 如权禾腰求47戶腿的方法，其特征在于，采用至少一个紧固件j妙腐振动阻尼组件连接在戶;M工作台的第一表面上。
49. 如权利要求47戶皿的方法，^#征在于，还包括,A0M第一表面上拆 除所述振动阻尼组件并将所述振动阻尼组件重新连接在有效载荷表面的不同位 置上。
50. 如权禾腰求47戶脱的方法，其特征在于，还包括将振动阻尼组件的电 连接器连接在控制器上。
51. —种工作台组件，其包括 具有第一表面和第二表面的工作台；与所述第二表面相连的振动阻尼组件；以及与所述振动阻尼组件相连的振动隔离件。
52. 如权利要求51所述的组件，其特征在于，所述振动阻尼组件和戶，振动隔离件位于各自的壳体内。
53. 如权利要求51所述的组件，其特征在于，还包括与所述振动阻尼组件相连的控制器。
全文摘要
一种可被连接并在工作台的有效载荷表面附近移动的振动阻尼组件。所述振动阻尼组件包括位于壳体内的传感器和阻尼器。所述壳体通过一个或多个紧固件连接在有效载荷表面上。操作者可将振动阻尼组件移动到有效载荷的不同位置以优化所述组件的阻尼功能。
文档编号F16F15/02GK101128694SQ200480031241
公开日2008年2月20日 申请日期2004年10月25日 优先权日2003年10月24日
发明者T·里格尼, V·赖亚博伊, W·布思 申请人:纽波特公司