用于平衡真空泵转子或真空泵旋转单元转子的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于平衡真空泵，特别是涡轮分子泵转子或真空泵，特别是涡轮分子泵旋转单元转子的方法，其中，转子借助至少一个磁性轴承特别是永磁轴承，相对于真空泵或旋转单元的定子，以环绕旋转轴可旋转地被支承。
【背景技术】
[0002]真空泵在真空技术领域发挥着重要作用，并在极其不同的技术应用中用于吸入特别是吸入气态的介质，及用于空腔的抽真空。在此方面，此外使用涡轮分子泵，这种泵在分子的也就是在非粘性的范围内工作并适用于产生纯度非常高的真空。涡轮分子泵通常包括一个旋转单元，其由定子和可相对于定子旋转的转子组成，其中，为产生高纯度的真空通常以非常高的转速对转子进行旋转驱动。
[0003]在这种非常高的转速下，特别重要的是使转子相对于定子尽可能无摩擦地被支承。这种支承通常通过两个轴承实现，包括一个设置在吸入口也就是泵的高真空侧区域内的轴承和一个设置在排气口也就是泵的所谓初真空侧附近的轴承。因为高真空侧上所具有的轴承与所要抽真空的体积连通，所以该轴承必须尽可能无污染，以防止所要抽真空的体积或里面所含有的介质受到污染，特别是受到润滑油的污染。
[0004]为满足尽可能无摩擦和同时无污染支承的要求，公知的高真空侧上所具有的轴承为磁性轴承且特别是永磁轴承，该轴承例如可以包括