射流真空泵的利记博彩app

文档序号:5443297阅读:249来源:国知局
专利名称:射流真空泵的利记博彩app
本项发明属于真空泵,而更准确地说,涉及射流真空泵。
已知一种三级油汽高真空泵,该泵含有圆柱形壳体,蒸汽导管,以及位于吸汽级喷嘴之上的挡油器〔A.E蔡物林,“蒸汽喷射泵”,1965,动力出版社,列宁格勒,第265页〕。
在这种泵里,来自被抽容积的气体被由蒸汽导管的第一级超声速喷嘴扩散出的真空液蒸汽的超声速射流所俘获,而气体又进一步地被输往予真空蒸汽导管。
已知这样的射流真空泵,该泵含有带吸气管和予真空排气管的空心壳体,吸气管将壳体空腔与被抽容积连通,该泵还含有蒸汽导管,该蒸汽导管沿泵的几何轴线装在壳体空腔内,并且包含几个具有超声速喷嘴的被抽气体的压缩级,喷嘴超声部分的外形呈圆环形状,在泵的壳体内放置有真空液的蒸发器,在蒸发器内产生真空液蒸汽,该蒸汽沿蒸汽导管向上流至超声速喷嘴,蒸汽从喷嘴扩散,俘获被抽气体,传递给被抽气体运动脉冲,而该运动脉冲转变为进入排气管的被抽气体的升高压。为了蒸发器的隔热,在壳体的空腔门由周围介质到蒸发器区域设置一个罩与排气导管相通(波兰A,105863)。
分析上述已知的泵,都存在着主要的缺点,情况是基本上穿过壳体进入泵周围空间的能量大多损失了。此外,由于真空液激烈的沸腾在散热表面产生真空液的分解和因为这种真空的恶化也产生同样情况或大能量消耗。
本项发明的基本任务是要研制一种射流真空泵,在该泵内借助于改变散热条件得以保证蒸发器的真空隔热。
这项任务是这样解决的,在射流真空泵内含有空心壳体,蒸汽导管和蒸发器,该空心壳体具有吸气管和予真空排气管,吸气管与被轴容积连通,蒸汽导管沿泵的几何轴线放置在空心壳体内,并且在至少一个被抽气体压缩级处具有超声速喷嘴,蒸发器含有真空液的容积和加热器,在蒸发器内产生蒸汽,该蒸汽沿蒸汽导管向上流入每一压缩级的超声速喷嘴,而从第一压缩级超声速喷嘴扩散出的蒸汽俘获住被抽气体,并且传递给被抽气体运动脉冲,该运动脉冲转变为进入预真空排气管的被抽气体的升高压,并进入设置在蒸发区间的空心壳体与空主壳体空腔形成的外壳里,以保证蒸发器与周围介质隔热,根据本发明,空腔由外壳和与空心壳体空腔连通的空心壳体形成。
在蒸汽管的内部,使空心壳体的进口区域与外壳和空心壳体形成的空腔相连通是合适的。
同样,由外壳和空心壳体形成的空腔,它用管子或在空心壳体里的环形口与空心壳体空腔的予真空区域相通也是适当的。
蒸发器的加热器所具有的热交换表面积,要比泵的进口孔的面积大并且均匀地把它配置在真空液的容积内,而在真空液的容积内设置冷却真空液的装置是适当的。
下面用本发明的实施例和附图进一步阐述说明,在这些附图中

图1,根据本发明,表示出射流真空泵的总剖面图;
图2,根据本发明,表示出这一种泵的蒸发器剖面图;
图3,根据本发明,表示另一种蒸发器的制作方案剖视图。
图4,根据本发明,表示出再一种蒸发器的制作方案剖视图。
图5,根据本发明,表示带有冷却装置的这种蒸发器的剖视图。
图6,根据本发明,表示由真空液引出带有加热器的蒸发器剖面图。
射流真空泵含有壳体1(图1),壳体上具有连通被抽容积的吸气管2和予真空排气管3。在壳体1的空腔4内,沿泵的几何轴线设置有蒸汽导管5,该蒸汽导管含有一个,二个或若干个与轴对称的被抽气体压缩级,每一压缩级都具有超声速喷嘴6。
第一压缩级喷嘴6由挡帽7和蒸汽导管5的管体8组成。它的外部轮廓呈圆环形。
最后的压缩级具有相似的超声速喷嘴6,由蒸汽导管5的壳体8所形成的,在壳体1的空腔4,蒸汽导管5的最后一压缩级形成予真空区域9,它与排出管3相连通。
本真空泵具有真空液蒸发器和加热器12,该蒸发器作为真空液10的容积,呈槽11的形式在壳体1的下部,而加热器系螺旋形的,它沉入在真空液10里,在蒸汽导管5下部的槽11里。
在壳体1的那个部分,放置在外壳13里形成加热器的槽11是做成密封的。
壳体1的外壳13之间形成空腔14,它与壳体1空腔4的进口区15的导管16相连通,槽11的底端有底17密封联接,其上端与喷嘴6的挡帽7密封联接,导管16设在蒸汽导管5的内部。
在许多情况下工艺性更好的是连通空腔14和4,例如,(图2)支管的一端是与槽11相联结,而另一端在予真空区里是自由打开的,其另一个方案是空腔14和4是通过环形缝隙19相通的(图3),在壳体1内形成蒸发器的槽11和空腔14相通。
最适当的是如图1-3所示,加热器12是均匀地放在槽11的真空液10内。
在这种方案里加热器是做成散热元件20形式(图4),该元件均匀地充填在整个真空液10的容积里,散热元件20的热交换表面总面积较接纳管子2的进口孔21(图1)的面积大,当蒸发器的加热器12(图1)加热真空液10的时候,保持上述面积这样的相互比例,可以使真空液免除沸腾,这显然可以改善形成真空的条件。
真空液蒸发器具有冷却蒸空液的装置,该装置乃是安置在槽11里的导管22(图5),为了要与大气连通以便迅速冷却真空液10,该导管做成穿过壳体1封闭地引出。
加热器12(图6)也安装在空腔14内,在这种情况下槽11的底17有较大投影面积被真空液弄湿。
射流真空泵按下述方式进行工作。
在泵的空腔内形成不比20帕更差的予真空之后,接通蒸发器的加热装置12(20),真空液10被加热,并且激烈地进行蒸发。蒸气导管5被真空液10的蒸汽加热,并且真空液10的蒸汽通过超声速喷嘴6开始流出至空腔4和空腔9,真空液10的蒸汽落在冷却壳体1的内表面,在此内表面上进行凝结,凝结的冷凝液薄膜流入蒸发器。进入吸进管2的被抽气体,环绕着第一级喷嘴6的挡帽7进行流动,扩散至第一级真空液10蒸汽的射流内,从真空液10的蒸汽获得运动脉冲,并且从空腔4转移至空腔9,而排气管3与空腔9和空腔4连通,并通过排气管实现抽气。
因为蒸发器的槽11的周围被抽真空的腔14所包围,在任一方案里这个被抽真空的腔14与泵的内腔4连通,可以保证蒸发器的槽11具有良好的真空或真空屏蔽的隔热作用。在上述结构里从蒸发器槽11的热量扩散比在先有的结构热量扩散要小些,而导向由金属铸成的壳体1的热量至少比其它已知的泵要小一倍。
由于散热元件20处在充填真空液10的容积的槽11里,保证了真空液10容积加热的方法,从而得以减小通过蒸发器槽11扩散的热量,改善形成蒸汽的过程,减弱沸腾的激烈性,以及以后把蒸汽由初始状态转变到蒸发状态,并完全消除沸腾。
由于蒸发器槽11的隔热好,因而蒸气导管5排除了在蒸发器里、在蒸汽导管5的壁上迅速冷却真空液10的可能性,并且也排除了泵迅速停机的可能性。为了快速的停泵,利用导管21来冷却真空液10,沿着该导管必然有流动着的冷却液或者从四周吹来致冷的气体。
本发明提出的泵具有下述优点电能损耗至少缩减1倍,冷却液损耗至少缩减4至9倍,泵的启动时间缩短2至4倍,泵的停机时间至少缩短9到14倍,泵的壳体可由介廉的铝合金制造,此外,泵在低功率工作时不用水冷却。
本项发明可以用来制取真空,使用在下列场合;例如,电子显象管和其它电子真空设备的生产线,真空冶金,真空焊接,用于喷涂覆盖层的真空工艺装备,微电子技术,宇航工艺过程,以及其它与真空有关的业务部门。
权利要求
1.射流真空泵含有空心壳体(1),蒸汽导管(5),蒸发器,加热器(12)和外壳(13),空心壳体上设置有吸气管(2)和予真空排气管(3),吸气管与被抽容积连通,蒸汽导管沿泵的几何轴线安放在空心壳体(1)的空腔(4)内,并且在至少一个被抽气体压缩级处具有超声速喷嘴(6),蒸发器含有容纳真空液(10)和加热器的容积,在加热器内产生蒸汽,该蒸汽沿蒸汽导管(5)向上进入每一压缩级的超声喷嘴(6),而从第一压缩级超声速喷嘴(6)扩散出的蒸汽俘获住被抽气体,并且传递给被抽气体运动脉冲,该运动脉冲转变为进入予真空排气管(3)的被抽气体的升高压,外壳(13)罩在蒸发器部分的空心壳体(1)上并与空心壳体形成空腔(14),以保证蒸发器隔热隔开周围介质,本射流真空泵的特点是;空心壳体(1)和外壳(13)所形成的空腔(14)是与空心壳体(1)的空腔(4)相连通的。
2.根据权利要求1,本射流真空泵的特点是;蒸汽导管(16)被设置在蒸汽导管(5)的内部,空心壳体(1)的空腔(14)的进口区(15)与外壳(13)和空心壳体(1)形成的空腔(14)相连通。
3.根据权利要求1,本射流真空泵的特点是;外壳(13)和空心壳体(1)形成的空腔(14)与空心壳体(1)的空腔(4)予真空区(9)相连通。
4.根据权利要求1,本射流真空泵的特点是;外壳(13)和空心壳体(1)形成的空腔(14)与空心壳体(1)的空腔(4)的予真空区(9)在空心壳体(1)内的环形处相连通。
5.根据权利要求1或2或3,本射流真空泵的特点是;蒸发器的加热器(20),其热交换的表面积大于泵的进口孔(21)的面积,并且是均匀地分布在真空液(10)的容积内。
6.根据权利要求5,本射流真空泵的特点是;作为真空液(10)的容积(11)里,设置有为冷却真空液(10)的装置。
全文摘要
射流真空泵包含带有吸气管(2)和预真空排气管(3)的空心壳体(1)和蒸汽导管(5),该蒸汽导管在被抽气体的每一压缩级上都具有超声速喷嘴(16),蒸发器含有储放真空液(10)和加热器(12)的容积(11),外壳(13)被安置在壳体(1)上的蒸发器部分上,并且与壳体(1)形成空腔(14),该空腔保证了蒸发器与壳体(1)空腔(4)连通的周围介质的隔热。
文档编号F04F9/00GK1074980SQ9210068
公开日1993年8月4日 申请日期1992年1月28日 优先权日1992年1月28日
发明者亚里山·K·雷博尔夫, 威拉迪莫尔·V·罗诺夫, 埃文·G·威利加诺夫, 彼特·A·斯考沃雷德, 瑟吉·F·彻马夫, 戴维德·K·萨丹施蒂恩, 艾万·F·施麦利夫, 夫拉迪朱尔·I·厄莫洛夫, 彼特尔·L·库普里恩科, 肯纳迪·F·尼科拉夫, 朱里·E·门切尔 申请人:俄罗斯科学院西伯利亚分院热物理研究所
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