专利名称：一种真空泵转子冷却结构的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种真空泵转子冷却结构，尤指一种将通气道设置于真空泵转子内部以协助转子冷却的真空泵转子冷却结构。
背景技术：
真空泵常被使用于半导体前段制程设备上，制造真空的环境，其作用方式为内部的螺旋转子利用自身的旋转将空气挤压出真空泵之外，以制造出真空的状态，故真空制造效果的好坏与转子有密切的关系，故转子亦被称为真空泵的心脏，除了影响真空泵的效能， 亦会影响其使用寿命及成本。真空泵转子在运转时会产生热能，若此时不能有效的将热能散去，则有可能会造成转子的损坏，或者转子因热膨胀在运转时发生影响的情况，一般在现有技术中，冷却转子常用的方式有两种，一种是借由在转子外部通过气体进行冷却，另一种则是以水冷的方式将转子热量移除，前者所使用的方式其效果有限，只能针对转子的外壳表面进行散热，累积在较内侧的热能则无法快速导出，后者虽然散热效果较佳，但在通入水时可能会严重影响动平衡，不仅增加制造生产成本的花费，若散热的过程不小心，亦会造成内部元件的损坏。除此之外，当真空泵在运转时，其内部亦会流通其他化学气体，由于真空泵在运转时内部会因为压力升高，使部分气体液化或颗粒化，而附着于转子上，进而造成转子的运转不顺畅甚至互相影响。有鉴于此，本实用新型的设计人依据多年研究的经验累积，并搭配自身的创意及不断的尝试下，进而研发出一种可有效改善上述现有技术中所提及的缺陷的一种真空泵转子冷却结构。
实用新型内容本实用新型的第一目的，在于提供一种真空泵转子冷却结构，通过在转子内，依转子的形状设置内部通道，在真空泵运转时通入冷却气体，以有效从转子内部进行散热。本实用新型的第二目的，通过设置一肃清入口，将用于散热后的冷却气体重新打入真空泵内，产生稀释作用，以降低制程反应物生成与沉积，例如化学气相沉积制程应用上，造成转子表面沉积物生成，在运转时发生干涉。该一种真空泵转子冷却结构包含一泵本体，具有一进气口及一排气口 ；一主动转子，设置于泵本体内部，并具有一内部通道，形成于该主动转子内部，以流通气体；一从动转子，设置于泵本体内部，并与主动转子相互配合同步转动，且具有一内部通道，形成于该从动转子内部，以流通气体；一进气通道，连接于该泵本体的一端，并连通于该内部通道； 一排气通道，连接于泵本体的另一端，并亦连通于该内部通道；一逆止阀，连接于该排气通道与泵本体连接的另一端，可避免气体回流；及一肃清入口，形成于泵本体上，并且以一管线连接于该逆止阀。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于[0010]1.通过设置通道在转子内部，并通以冷却气体，协助真空泵在运转时的同时，亦可以对转子进行散热冷却，克服了现有技术中冷却气体只能冷却转子外壳表面或者利用水冷的方式进行散热而严重影响动平衡的情况。2.本实用新型更进一步利用冷却转子后的气体，通过设置一肃清入口，打入泵本体内部，除了稀释制程气体之外，经转子加热后气体，可避免制程气体温度降低产生相变化变成固体，沉积在真空泵内部，真空泵的转子因异物造成运转的不顺畅或摩擦或运转失效。
图1为本实用新型的一种真空泵转子冷却结构的示意图；图2为本实用新型的一种真空泵转子冷却结构的内部通道的一第一较佳实施例示意图；及图3为本实用新型的一种真空泵转子冷却结构的内部通道的一第二较佳实施例示意图。图中主要元件符号说明1 泵本体11:进气口12:排气口2A:主动转子2IA 内部通道2B:从动转子2IB 内部通道3 进气通道4 排气通道5 逆止阀6:肃清入口
具体实施方式
为了能够更清楚地描述本实用新型所提出的一种真空泵转子冷却结构，以下将配合图示，详尽说明本实用新型的较佳实施例。请同时参阅图1、图2及图3，本实用新型的一种真空泵转子冷却结构的示意图、内部通道的一第一较佳实施例示意图及内部通道的一第二较佳实施例示意图，包含一泵本体1、一主动转子2A、一从动转子2B、一进气通道3、一排气通道4、一逆止阀5及一肃清入口 6。其中，该泵本体1具有一进气口 11及一排气口 12;该主动转子2A设置于泵本体1 内部，并具有一内部通道21A，形成于该主动转子2A内部，以流通气体；该从动转子2B设置于泵本体1内部，并与主动转子2A相互配合同步转动，且具有一内部通道21B，形成于该从动转子2B内部，以流通气体；该进气通道3连接于该泵本体1的一端，可通入一气体(图中未示)，该气体即为冷却气体，可使用氦气、空气、氮气或氖气；该排气通道4连接于泵本体1 的一端，其用途在于排出该用于冷却后温度升高的气体，其中，进气通道3、内部通道(21A、21B)及排气通道4之间的连通方式有两种，第一种方式如图2所示，将进气通道3分别连接内部通道01A、21B)，并在分别从内部通道(21A、21B)连回排气通道4，第二种方式如图 3所示，将进气通道3依序连接内部通道21A、内部通道21B再连接排气通道4 ；该逆止阀5 连接于排气通道4与泵本体1连接的另一端，其用途在于避免气体回流；该肃清入口 6形成于泵本体1上，并且以一管线连接于该逆止阀5 ；因此，通过被转子加温后的热气体，导入回到真空泵内部，做为肃清功能的气体。上述内容已针对本实用新型的结构连接方式做一详细的说明，以下将对本实用新型的作用方式做一说明，如图1、图2及图3所示，当真空泵运转时，可将冷却气体从进气通道3通入主动转子2A及从动转子2B内部，使其在内部通道Q1A、21B)内流通，内部通道 (21A.21B)的出、入口可为两种，一种是出、入口可设置于转子的同一端(如图3所示)，另一种是出、入口可分别设置于转子的两端(如图2所示)，其中，内部通道(21A、21B)沿着主动转子2A及从动转子2B的外型设计成螺旋状，即设置于转子的螺旋当中，以增加内部通道 (21A、21B)与主动转子2A及从动转子2B内部的接触面积，以提升散热的效率。此外，由于真空泵常应用于半导体制程，在运转时，其内部流通制程气体，例如 NH3、SiH4等经化学反应后的气体，由于真空泵在运转时内部会因为气体压缩而温度上升及压力升高，而产生相变化，使气体固化，而附着于转子的螺旋上，进而影响转子的运转，故本实用新型的较佳实施例更进一步的利用该气体，当气体对转子(21A、21B)进行冷却，使转子和壳体温差减小，保持最小间隙，得到好的气体压缩效率，之后气体便从排气通道4排出，并且其温度亦会升高，此时，通过该逆止阀5的作用避免回流，并将气体藉由该肃清入口 6打入泵本体1内部，除了稀释制程气体之外，经转子加热后气体，可避免制程气体温度降低产生相变化变成固体，沉积在真空泵内部，使真空泵的主动转子21A及从动转子21B因异物造成运转的不顺畅或摩擦或运转失效。以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种真空泵转子冷却结构，其特征在于，包括 一泵本体，具有一进气口及一排气口 ；一主动转子，设置于泵本体内部，并具有一内部通道，形成于该主动转子内部，以流通气体；一从动转子，设置于泵本体内部，并与主动转子相互配合同步转动，且具有一内部通道，形成于该从动转子内部，以流通气体；一进气通道，连接于该泵本体的一端，并连通于主动转子的该内部通道及从动转子的该内部通道，用于通入一气体；一排气通道，连接于泵本体的另一端，并连通于主动转子的该内部通道及从动转子的该内部通道，用于排出该气体；一逆止阀，连接于该排气通道与泵本体连接的另一端，避免气体回流至泵本体；及一肃清入口，形成于泵本体上，并且以一管线连接于该逆止阀。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵转子冷却结构，其特征在于，其中，该气体为下列组合中的任一种的冷却气体氦气、空气、氮气及氖气。
3.根据权利要求1所述的一种真空泵转子冷却结构，其特征在于，其中，该内部通道的出、入口设置于转子的同一端。
4.根据权利要求1所述的一种真空泵转子冷却结构，其特征在于，其中，该内部通道依该主动转子及该从动转子的形状成一螺旋状。
专利摘要本实用新型为一种真空泵转子冷却结构，包括一泵本体，具有一进气口及一排气口；一主动转子，设置于泵本体内部；一从动转子，设置于泵本体内部，并与主动转子相互配合同步转动；一进气通道，连接于该泵本体的一端；一排气通道，连接于泵本体的另一端；一逆止阀，连接于该排气通道与泵本体连接的另一端；及一肃清入口，形成于泵本体上，并且以一管线连接于该逆止阀。
文档编号F04C29/04GK202203118SQ20112033728
公开日2012年4月25日 申请日期2011年9月9日 优先权日2011年9月9日
发明者刘明信, 阮天佑 申请人:汉钟精机股份有限公司