专利名称：复合分子泵的牵引抽气盘的利记博彩app
技术领域：
本实用新型与用于复合分子泵的牵引抽气盘有关。
技术背景分子泵是一种工艺要求高、高速旋转的精密机械，从结构上分为两大类普通涡轮分子泵和复合分子泵，前者的泵芯部分全部由涡轮叶片动静相间匹配组成，后者的泵芯部 分则由涡轮级合理串接分子牵引级组成，而牵引级又分为筒式牵引级(柱拖泵)和盘式牵 引级(盘拖泵)；目前盘拖泵或串接有盘式牵引结构的复合分子泵中的抽气盘盘面上的抽 气沟槽通常由若干个均布的同类型沟槽组成，其沟槽槽壁型线为阿基米德螺旋线、渐开线、 圆弧线或直线几种，这几种型线的抽气通道由于是若干个抽气槽均布组成，槽壁的首尾两 端分别位于环形抽气圆盘的内外圆周上，对每一级来说，这些均布的每一个抽气槽对气体 的牵引拖动效果是等同的，这样一来，抽气槽的当量通道长度较短，抽气性能不佳，而且阿 基米德螺旋线和渐开线槽壁的加工工艺复杂，制造麻烦，不易实现
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单，制造容易，成本低，抽气性能良好的复合 分子泵的牵引抽气盘。本实用新型是这样实现的本实用新型复合分子泵的牵引抽气盘，圆环形盘体的上面或/和下面有环形抽气 槽1，抽气槽的底壁有通孔2，有隔片3将环形抽气槽截断，至少一条抽气槽隔断，隔片3的 一侧的抽气槽外壁侧有缺口 4。圆环形盘体的上面和下面均有环形抽气槽1，上面的抽气槽1的外壁上有隔片3和 环形台阶5，下面的抽气槽有隔片3和缺口 4。圆形盘体的上面和下面均有环形抽气槽1，上面的抽气槽1的外壁上有环形台阶 5，上、下面的抽气槽均有隔片3和缺口 4，缺口的外壁距轴心距离大于台阶5外壁距轴心距罔。圆环形盘体的上面有抽气槽1，抽气槽1的外壁上有环形台阶5、隔片3和缺口 4， 缺口的外壁距轴心距离大于台阶5外壁距离心距离，圆环形盘体的下面为光面。上、下面环形抽气槽的缺口错位，上、下面环形槽气槽的深度相等或不相等。通孔或/和缺口为扇形或矩形或弧形，环形抽气槽的截面为矩形或半圆形或三角 形或阶梯形。通孔、缺口和环形抽气槽的棱角为倒圆角。本实用新型由于采用了上述技术方案，所涉及的牵引盘结构比较简单、工艺性良 好、便于加工制造、造价低，由于抽气槽为环形，抽气槽的当量通道长度长，抽气通道错开， 具有增强对气体分子的拖动效果、压缩比高、气体泄漏量小、反流量低等优点
图1为本实用新型用作过渡级(涡轮级过渡到牵引级)时的结构示意图。图2为图1的右视图。图3为图1的左视图。图4为本实用新型的结构示意图。图5为图4的右视图。图6为图4的左视图。图7为本实用新型用作牵引级最后级时的结构示意图。图8为图7的右视图。
具体实施方式
实施例1
以下结合附图本实用新型进一步的说明图1为本实用新型用作过渡级(涡轮级过渡到牵引级)时的结构示意图，其上侧 面抽气槽不开缺口，有隔片，下侧面抽气槽开有缺口，有隔片本，实施例中为扇形缺口，供气 体从本级抽气通道流到下级抽气通道用；抽气槽上开有通孔，本实施例中为扇形通孔；本 实施例中的每一侧抽气槽深度为同一深度，其值均为5mm。实施例2 图4为本实用新型牵引级抽气盘结构示意图，其上下两侧面抽气槽开有缺口，本 实施例中为扇形缺口，供气体从上级抽气通道引入到本级抽气通道或供气体从本级抽气通 道流到下级抽气通道用；抽气槽上开有通孔，本实施例中为扇形通孔；本实施例中的每一 侧抽气槽深度为同一深度，其值均为4mm。实施例3 图7为本实用新型用作牵引级最后抽气盘的结构示意图，其下侧为光平面，不开 抽气槽及缺口，上侧开有抽气槽和缺口，有隔片。本实施例中为扇形缺口，供气体从上级抽 气通道引入到本级抽气通道用；抽气槽上开有通孔，作为牵引级最终排气孔，本实施例中为 扇形通孔；本实施例中的抽气槽深度为同一深度，其值为3mm。
权利要求复合分子泵的牵引抽气盘，其特征在于圆环形盘体的上面或/和下面有环形抽气槽(1)，抽气槽的底壁有通孔(2)，有隔片(3)将环形抽气槽截断，至少一条抽气槽的隔片(3)的一侧的抽气槽外侧壁有缺口(4)。
2.根据权利要求1所述的抽气盘，其特征在于圆环形盘体的上面和下面均有环形抽气 槽(1)，上面的抽气槽(1)的外壁上有环形台阶(5)，有隔片(3)，下面的抽气槽有隔片(3) 和缺口(4)。
3.根据权利要求1所述的抽气盘，其特征在于圆形盘体的上面和下面均有环形抽气槽 (1)，上面的抽气槽(1)的外壁上有环形台阶(5)，上、下面的抽气槽均有隔片(3)和缺口 (4)，缺口的外壁距轴心距离大于台阶(5)外壁距轴心距离。
4.根据权利要求1所述的抽气盘，其特征在于圆环形盘体的上面有抽气槽(1)，抽气槽 (1)的外壁上有环形台阶(5)，有隔片(3)和缺口(4)，缺口的外壁距轴心距离大于台阶(5) 外壁距离心距离，圆环形盘体的下面为光面。
5.根据权利要求1所述的抽气盘，其特征在于上、下面环形抽气槽的缺口错位，上、下 面环形槽气槽的深度相等或不相等。
6.根据权利要求1所述的抽气盘，其特征在于通孔或/和缺口为扇形或矩形或弧形，环 形抽气槽的截面为矩形或半圆形或三角形或阶梯形。
7.根据权利要求6所述的抽气盘，其特征在于通孔、缺口和环形抽气槽的棱角为倒圆
专利摘要本实用新型为复合分子泵的牵引抽气盘，解决已有抽气盘抽气槽形状复杂，加工困难，抽气槽当量通道长度短，抽气性能差的问题。圆环形盘体的上面或/和下面有环形抽气槽(1)，抽气槽的底壁有通孔(2)，有隔片(3)将环形抽气槽截断，至少一条抽气槽隔断，隔片(3)的一侧的抽气槽外壁侧有缺口(4)。
文档编号F04D29/00GK201615077SQ20092029851
公开日2010年10月27日 申请日期2009年12月25日 优先权日2009年12月25日
发明者刘安良, 唐洪, 李金鑫, 范林东, 靳毅 申请人:成都南光机器有限公司