专利名称：高精度光刻胶分配泵的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵，具体为一种高精 度光刻胶分配泵。
背景技术：
目前，半导体设备中使用的化学药品供应系统中的工艺泵主要采用隔S艱， 但隔膜泵对胶量无法实现高精密控制。在光刻胶成本很高的情况下，每片晶片
在涂胶的时候需要的胶量是一定的，如果每一片晶片浪费lml，就意味着半导 体制造厂商每一年要在光刻胶上增加巨大的投入。在这种情况下，就需要对光 亥帔的4顿量进行精确的控制，减少不必要的浪费，降低成本。
实用新型内容
为了达到对光刻胶进行精确控制的目的，本实用新型提供一种高精度光刻 胶分配泵，解决在对需要精确控制化学药品的量的时候，普通的药液泵无法实 现精确控制等问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是
一种高精度光刻胶分配泵，该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为 两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁 和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体 外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀； 囊体的内腔中设有可伸縮的波纹管，波纹管为一端封闭、 一端开口的结构，波 纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动 力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。
所述的高精度光刻胶分配泵，泵体内壁为可以压縮和膨胀的薄壁结构，泵 体外壁为刚性结构。
所述的高精度光刻胶分配泵，分别设置于泵体进口和出口的入口单向阀和 出口单向阀为双层密封结构。
3所述的高精度光刻胶分配泵，囊体的内腔中装有传递介质硅油，作为在波 纹管和泵体之间的体积变化的传递介质。
所述的高精度光刻胶分配泵，囊体上设置用于检测囊体的内腔压力的压力 传麟。
所述的高精度光刻胶分配泵，波纹管的波纹开，为等边三角形。 所述的高精度光刻胶分配泵，动力部分为安装于壳体内的滚珠丝杠、步进
电机、同步带轮、同步带构成，滚珠丝杠、步进电机上分别安装同步带轮，同
步带轮之间通过同步带连接。 本实用新型的有益效果是
1、 本实用新型高精度光亥贩分配泵，能准确的控帝恍亥帔的吐出量，减少 各种光刻胶尤其是昂贵的光亥帔的浪费，减少企业的SA。
2、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，具剤艮强的耐腐蚀性能，逸就使得这 种泵能适应很多需要精确控制化学药品用量的场合。
3、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，体积小，几乎没有噪音和震动，可以 使用于各种自动和半自动匀，交设备中。
4、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，采用特殊的波纹管结构，在波纹管压 縮和伸长的时候，其外围体积变化随着压縮或拉伸的距离均匀变化，并且在较 大的位移的情况下，需要使得外围体积的变化尽可能的小。在保证波纹管形状 的基础上，调整结构，使波纹管的寿命尽可能的长。
5、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，能精确的M:体积变化来抽取和吐出
光刻胶的泵体结构，采用PFA的薄壁管为内腔，PTFE为外腔的结构，把PFA 薄壁管焊接在PTFE外腔结构件上，使得泵体内腔的形状变化均匀，提高泵体 的4OT寿命和吐胶精度。
6、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，可以精确传递体积变化的介质，介质 需要使用流动性好，且压縮比小的液体，这样才能使波纹管外腔的体积变化以 接近l:l的比例传递到泵体内腔上去。由于硅油的压縮比低，热变形小，选用硅 油作为传递介质。
7、 本实用新型高精度光刻胶分配泵，使动力位移在转换成体积变化的时候 比例縮小很大，动力的每一次较大的移动，体积只有很小的变化，从而间接控 制化学药品的微量输出。本实用新型适用于化学药品粘度在100cp以下的情况，可以对化学药品的量控制在0.
5.0ml之间，精度可以控制在士0.02ml之内，吐 出量的重复精度为土0.02ml。
图1是本实用新型的原理示意图。 图2是本实用新型的结构示意图。
图中，1、入口单向阀；2、泵体外壁；3、向内变形后的泵体内壁；4、泵 体内壁；5、向外变形后的泵体内壁；6、出口单向阀；7、波纹管；8囊体；9、 压力传感器；10、波纹管连接部分；11、滚珠丝杠；12、步进电机；13、同步 带轮；14、壳体；15、同步带。
具体实駄式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
如图1所示，本实用新型高精度光刻胶分配泵的原理如下
囊体8内侧的"A腔"中注满硅油，波纹管7拉伸到最长，'这时保证泵体 内壁4在向内变形后的泵体内壁3位置。
波纹管7向下运动，在波纹管7的夕卜侧和囊体8内侧的"A腔"空间被放 大，通过硅油的传递，向内变形后的泵体内壁3变形到向外变形后的泵体内壁5 位置，泵体内壁4内侧的"B腔"中的空间也被放大，同时"B腔"放大的体 积和"A腔"放大的体积相等。这样就在"B腔"中形成低压，这时出口单向 阀6关闭，入口单向阀l打开。化学药品就通过入口进入到"B腔"，，±真满 "B腔"变形的空间，使内外压力达到一致。
波纹管7向上运动，在波纹管7的夕卜侧和囊体8内侧的"A腔"空间被压 縮，通过硅油的传递，向外变形后的泵体内壁5变形到向内变形后的泵体内壁3 位置，泵体内壁4内侧的"B腔"中的空间也被压縮，同时"B腔"压縮的体 积和"A腔"压縮的体积相等。这样就在"B腔"中形成高压，这时入口单向 阀1关闭，出口单向阀6打开。化学药品就通过出口吐出，吐出的化学药品的 量刚好是泵体内壁4从向外变形后的泵体内壁5位置变形到向内变形后的泵体 内壁3位置时"B腔"的体积变化。泵体内壁4的变形大小通过波纹管7的上 下移动的距离控制。
如图2所示，本实用新型高精度光刻胶分配泵的结构如下
本实用新型高精度光刻胶分配泵主要包括泵体、囊体和动力部分等，泵体为两端开口的一段圆形腔体，泵体设有泵体外壁2和可向内、外变形的泵体内 壁4 (薄壁管)，泵体结构为有内、夕卜两个腔的结构，泵体内壁4以内为泵体的 内腔(B腔)，泵体的内腔为化学药品室(如光刻胶等)，泵体内壁4与泵体外 壁2之间的空腔为泵体的外腔，泵体内壁4为可以压縮和膨胀的薄壁结构，泵 体外壁2为刚性结构，泵体两端开口处设有入口单向阀1和出口单向阀6。囊体 8的内腔(A腔)中设有可伸縮变形的波纹管7，波纹管7为一端封闭、 一端开 口的结构，波纹形状可为等iiH角形，波纹管7的伸縮可以使囊体8的内腔空 间压縮和释放。波纹管连接部分10—端安装于波纹管7开口端内壁，波纹管连 接部分10的另一端连接动力部分，囊体8的内腔与泵体的外腔相通，囊体8的 内腔中装有传递介质硅油，作为在波纹管和泵体之间的体积变化的传递介质。 动力部分为安装于壳体14内的滚珠丝杠11、步进电机12、同步带轮13、同步 带15构成，滚珠丝杠11、步进电机12上分别安装同步带轮13，同步带轮13 之间通过同步带15连接。从而，动力部分可以带动波纹管7的伸縮，通过传递 介质硅油调整囊体8和泵体的外腔之间体积变化，并进一步调整泵体的内腔体 积。
动力部分的，电机12通过同歩带轮13和同步带15传动到滚珠丝杠11， 使滚珠丝杠11旋转，在频电机12到滚珠丝杠11之间设置减速。滚珠丝杠11 带动波纹管连接部分10上下运动，由于波纹管连接部分10和波纹管7连接在 一起，波纹管7上下运动，其它部分的工作原理按照图1所示原理工作。
入口单向阀1和出口单向阀6可采用双层密封结构，提高可靠性。囊体8 上可设置压力传離9，用于检观攮体8的内腔压力，防止空腔内硅油的泄漏， 一旦发生泄漏，压力传感器9检测至膀常，泵即停止工作，防止因为硅油的泄 漏对光刻胶造成的污染，也方便故障排除。
实施例表明，本实用新型的高精度光亥帔分配泵，采用波纹管的变形特征, 波纹管收縮的时候，波纹管外部的波纹部分的空间会释放出来，然后利用这个 空间的微小变^il过硅油的传递，可以使泵体部分吸入相应体积变化的光刻胶。 当波纹管伸长的时候，波纹管外部的波纹部分的空间会被压縮，推动泵体可以 吐出相应体积的光刻胶。波纹管的变化靠步进电机驱动滚珠丝杆来实现，使需 要吐出光刻胶的量由波纹管的变形量准确控制。而对步进电机的准确控制则可 以精确的控制波纹管的变形量，从而实现对光刻胶胶量的精确控制。
权利要求1、一种高精度光刻胶分配泵，其特征在于该分配泵设有泵体、囊体和动力部分，泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构，泵体设有泵体外壁和可向内、外变形的泵体内壁，泵体内壁以内为泵体的内腔，泵体内壁与泵体外壁之间的空腔为泵体的外腔，泵体两端开口处设有入口单向阀和出口单向阀；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管为一端封闭、一端开口的结构，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。
2、 按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于泵体内壁为 可以压縮和膨胀的薄壁结构，泵体外壁为刚性结构。
3、 按照权利要求1 ^f述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于分别设置于 泵体进口和出口的入口单向阀和出口单向阀为双层密封结构。
4、 按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于囊体的内腔 中装有传递介质硅油，作为在波纹管和泵体之间的体积变化的传递介质。
5、 按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于囊体上设置 用于检测囊体的内腔压力的压力传感器。
6、 按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其特征在于波纹管的波纹开别犬为等iiH角形。
7、 按照权利要求1所述的高精度光刻胶分配泵，其,寺征在于动力部分为 安装于壳体内的滚珠丝杠、步进电机、同步带轮、同步带构成，滚珠丝杠、步 进电机上分别安装同步带轮，同步带轮之间通过同步带连接。
专利摘要本实用新型涉及匀胶设备化学药品供应系统中的计量泵，具体为一种高精度光刻胶分配泵，解决在对需要精确控制化学药品的量的时候，普通的药液泵无法实现精确控制等问题。该分配泵的泵体为两端开口的圆形腔体，泵体结构为有内、外两个腔的结构；囊体的内腔中设有可伸缩的波纹管，波纹管连接部分一端安装于波纹管开口端内壁，波纹管连接部分的另一端连接动力部分，囊体的内腔与泵体的外腔相通。采用本实用新型使动力位移在转换成体积变化的时候比例缩小很大，动力的每一次较大的移动，体积只有很小的变化，从而间接控制化学药品的微量输出，适用于化学药品粘度在100cp以下的情况，对化学药品的量控制在0.1～5.0ml之间，精度可以控制在±0.02ml之内，重复精度为±0.02ml。
文档编号F04B43/12GK201262145SQ200820015388
公开日2009年6月24日 申请日期2008年9月3日 优先权日2008年9月3日
发明者冲 王 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司