专利名称：隔膜型真空泵的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及隔膜型真空泵。
背景技术：
已往，作为在半导体制造工序等工序中所使用的对真空容器等的内部进行减压的真空泵，已知有例如隔膜型真空泵(例如，参照专利文献1。)。
此外，近年来，下述的商品也已经实用化，该商品将富氧膜和真空泵进行组合，构成能够将氧气浓度提高30％左右的产生富氧空气的装置，然后将该装置安装在空调等中，可以将室内的氧气浓度保持在约21％以上。在这样的空调中，富氧膜和真空泵被安装在室外机中，利用真空泵使具有使氧气选择性地扩散透过能力的富氧膜的2次侧减压，生成提高了氧气浓度的空气，利用真空泵将其加压至大气压，然后通过配管导入室内机向室内排出。
作为安装在上述空调的室外机中的真空泵，使用隔膜型真空泵。此时，对于安装在空调的室外机中的真空泵，要求其运转声音在40db(A特性1m)以下。
专利文献1特开2001-329963号公报发明内容但是，隔膜型真空泵，由于通过将隔膜压下、抬升使泵室的容积产生变化，以此进行吸引、压缩，因此泵的旋转轴旋转一圈中的转矩变动很大。因此，在电机的轴承、连杆轴承上会施加变动的载荷，如果在这些轴承的外圈与外壳、或者这些轴承的内圈与轴的嵌合部上存在微小的间隙，则这些轴承就会振动、产生噪音，运转声音会变大，此外，还容易产生轴承的外圈旋转的现象(蠕变现象)，产生在短时间内不能保持轴精度的问题。
所以，本发明的目的在于提供一种隔膜型真空泵，其可以防止运转时轴承发生振动、蠕变，能够降低运转噪音。
为了实现上述目的，本发明的隔膜型真空泵，使经由第1轴承旋转支撑于电动机的单侧或者两侧上的电机轴伸长，在上述电机轴上经由偏芯轴和第2轴承配置有连杆，在上述连杆的前端侧上安装有隔膜，通过由上述电机轴的旋转引起的上述连杆的往复运动，使上述隔膜运动、进行真空排气，其特征在于，在上述第1轴承的外圈与嵌合该第1轴承的外壳之间、上述第2轴承的外圈与上述连杆之间、上述第1轴承的内圈与上述电机轴之间、以及上述第2轴承的内圈与上述偏芯轴之间，分别涂布有粘结剂进行接合。
此外，其特征在于，在上述第1轴承的外圈与上述外壳之间、以及在上述第2轴承的外圈与上述连杆之间分别插入有软钢制造的环，并通过粘结剂接合。
根据本发明，可以防止运转时产生电机轴及连杆的轴承的振动、蠕变，并能够降低运转噪音。
图1是表示本发明的实施方式中的隔膜型真空泵的概略剖面图。
图2是表示本发明的实施方式中的隔膜型真空泵的俯视图。
具体实施例方式
下面，根据图示的实施方式对本发明进行说明。图1是表示本发明的实施方式中的隔膜型真空泵的概略剖面图，图2是其俯视图。
在图1中，1是设置在中央部的电机2的定子，其插入电机壳3的内部并固定。此外，4是电机2的转子，压入固定有电机轴(轴)5。在转子4的两侧的电机轴5上分别安装有具有轴承座的轴承6a、6b，各个轴承6a、6b分别嵌入铝合金制的外壳7a、7b中。各个外壳7a、7b分别被插入在泵外壳8a、8b中，通过螺丝(未图示)进行固定。
在电机轴5上的各个轴承6a、6b的外侧分别固定有偏芯轴9a、9b和冷却风扇10a、10b，在各个偏芯轴9a、9b上分别安装有具有轴承座的轴承11a、11b。各个偏芯轴9a、9b，偏芯形成有插入电机轴5的孔和插入各个轴承11a、11b的内圈的孔，各个偏芯轴9a、9b的偏芯量为各个隔膜12a、12b的往复运动量(行程量)。在各个轴承11a、11b上，经由铝合金制的连杆13a、13b，分别连接有隔膜12a、12b。
各个隔膜12a、12b的中心一侧分别通过金属固定零件14a、14b进行固定，各个隔膜12a、12b的外周部分别通过泵压头15a、15b进行固定。在各个泵压头15a、15b上，分别安装有吸气阀16a、16b和排气阀17a、17b，其结构为，若通过隔膜12a、12b和泵压头15a、15b分别形成的泵室内的压力低于大气压，则吸气阀16a、16b打开；若上述泵室内的压力高于大气压，则排气阀17a、17b打开。在泵压头15a、15b的上部，以位于各个吸气阀16a、16b和各个排气阀17a、17b的上方的方式，分别安装有泵压头盖18a、18b。
上述的隔膜型真空泵是在各个泵壳8a、8b中分别具有隔膜12a、12b的双水头泵，各个隔膜12a、12b的往复运动的相位错开180度，利用各个连接配管19a、19b并列连接。此外，在一方的泵压头15a的侧面上，分别连接有吸气口20和排气口21。
如此，若驱动电机2，则该电机轴5将旋转，通过各个偏芯轴9a、9b旋转，各个连杆13a、13b会往复运动。通过各个连杆13a、13b的往复运动，相连接的各个连杆13a、13b分别错开180度的相位地上下运动，由此反复进行吸气、排气，进行真空排气。
但是，在运转上述隔膜型真空泵、进行真空排气时，从可动部分会产生振动音或工作音，这些声音将成为运转噪音。其中，噪音等级特别高的情况可以列举下述的(a)～(d)。
(a)在轴承6a、6b的外圈与外壳7a、7b之间的嵌合部位的微小间隙部分上，由轴承6a、6b的外圈振动而产生的噪音。
(b)在轴承11a、11b的外圈与连杆13a、13b之间的嵌合部位的微小间隙部分上，由轴承11a、11b的外圈振动而产生的噪音。
(c)在轴承6a、6b的内圈与电机轴5之间的嵌合部位上产生间隙的情况下，由轴承6a、6b的内圈振动而产生的噪音。
(d)在轴承11a、11b的内圈与偏芯轴9a、9b之间的嵌合部位上产生间隙的情况下，由轴承11a、11b的内圈振动而产生的噪音。
在上述本发明的隔膜型真空泵中，在铝合金制的各个外壳7a、7b的用于插入钢制的各个轴承6a、6b的外圈的部分上，分别铸入有软钢制成的环22a、22b。铸入该环22a、22b的原因在于该隔膜型真空泵能在-10℃～70℃左右的环境中使用。
即，在70℃左右的环境中，运转过程中的轴承6a、6b附近的温度将达到100℃左右。铝合金(外壳7a、7b)的热膨胀率比钢(轴承6a、6b)大大约2.2倍。因此，由于由钢材制造的轴承6a、6b比铝合金制的外壳7a、7b的嵌合部分的间隙大0.013mm左右，所以轴承6a、6b的外圈会发生旋转蠕变现象，导致不能保证旋转精度，而且，在轴承6a、6b的外圈上会产生振动，噪音等级变高。
所以，在本发明中，为了抑制上述(a)造成的噪音，如上所述，在铝合金制的各个外壳7a、7b的插入有钢制的各个轴承6a、6b的外圈的部分上，分别铸入有软钢制成的环22a、22b，在该环22a、22b的内部薄薄地涂布有粘结剂，在插入轴承6a、6b的外圈后进行接合。如此，通过设置与轴承6a、6b的轴承钢的热膨胀系数接近的软钢制成的环22a、22b，可以抑制由热膨胀引起的轴承6a、6b与外壳7a、7b的嵌合部分的间隙扩大，即使在高温时，也可以保持由粘结剂粘结的轴承6a、6b的外圈与外壳7a、7b的接合强度。
由此，可以抑制轴承6a、6b外圈的振动、噪音变小，而且，可以抑制轴承6a、6b的外圈旋转的蠕变现象。
此外，为了抑制由上述(b)引起的噪音，根据同样的理由，在插入有各个连杆13a、13b的各个轴承11a、11b的外圈的部分上，也分别铸入有软钢制造的环23a、23b，在该环23a、23b的内部薄薄地涂敷有粘结剂，在插入轴承11a、11b的外圈后，进行接合。如此，通过设置与轴承11a、11b的轴承钢的热膨胀系数接近的软钢制成的环23a、23b，可以抑制由热膨胀引起的轴承11a、11b与连杆13a、13b的嵌合部分的间隙扩大，即使在高温时，也可以保持由粘结剂粘结的轴承11a、11b的外圈与连杆13a、13b的接合强度。
由此，可以抑制轴承11a、11b的外圈的振动，降低噪音，而且，可以抑制轴承11a、11b的外圈旋转的蠕变现象。
而且，根据本发明的发明者的实验，在高温时，软钢制成的环22a、22b(及环23a、23b)与铝合金制成的外壳7a、7b(及连杆13a、13b)，即使在高温下也不会由于热膨胀率的不同而分离，能够保持坚固的结合。
此外，在本发明中，为了抑制由上述(c)引起的噪音，在电机2的电机轴5的表面上设置有粘结剂积存槽(未图示)，在轴承6a、6b内圈的内表面与插入有该内圈的电机轴5上薄薄地涂布有厌氧性粘结剂，将各个轴承6a、6b压入电机轴5中进行固定。而且，在插入有轴承6a、6b的外圈的外壳7a、7b的内表面与该轴承6a、6b的外圈外表面上涂布有粘结剂，并在各个外壳7a、7b的轴孔中分别插入有各个轴承6a、6b，通过螺栓(未图示)将各个外壳7a、7b固定在电机壳3上。而且，此时，利用波状弹簧24向轴承6a的外圈施加预负荷，消除轴承6a的轴方向的间隙，进行接合固定。
由此，可以防止轴承6a、6b的内圈与电机轴5之间产生间隙，抑制轴承6a、6b的内圈的振动，减小噪音。
此外，在本发明中，为了抑制由上述(d)引起的噪音，在轴承11a、11b的外圈与环23a、23b之间以及轴承11a、11b的内圈与偏芯轴9a、9b之间薄薄地涂布有厌氧性粘结剂，进行接合固定。即使在这种情况下，在电机2的电机轴5的表面上也设置有粘结剂积存槽(未图示)，在轴承11a、11b的内圈内表面与插入有该内圈的电机轴5上薄薄地涂布有厌氧性粘结剂，然后将各个轴承11a、11b压入电机轴5中进行固定。此外，在环23a、23b上也设置有粘结剂积存槽(未图示)。
由此，可以防止轴承11a、11b的内圈与偏芯轴9a、9b之间产生间隙，抑制轴承11a、11b的内圈的振动，减小噪音。
对于如上述实施了降低噪音措施的本发明的隔膜型真空泵的噪音等级进行测定的结果，距离该隔膜型真空泵1m的距离的噪音等级为39db(A特性)。另一方面，对于如上述未实施降低噪音措施的已往的隔膜型真空泵，进行了同样的噪音等级测定，其结果，距离该隔膜型真空泵1m的距离的噪音等级为47db(A特性)。根据该结果，可以证明如上述实施了降低噪音措施的本发明的隔膜型真空泵可以大幅度地降低噪音等级。
权利要求
1.一种隔膜型真空泵，使经由第1轴承旋转支撑于电动机的单侧或者两侧上的电机轴伸长，在上述电机轴上经由偏芯轴和第2轴承配置有连杆，在上述连杆的前端侧上安装有隔膜，通过由上述电机轴的旋转引起的上述连杆的往复运动，使上述隔膜运动、进行真空排气，其特征在于，在上述第1轴承的外圈与嵌合该第1轴承的外壳之间、上述第2轴承的外圈与上述连杆之间、上述第1轴承的内圈与上述电机轴之间、以及上述第2轴承的内圈与上述偏芯轴之间，分别涂布有粘结剂进行接合。
2.如权利要求1所述的隔膜型真空泵，其特征在于，在上述第1轴承的外圈与上述外壳之间、以及在上述第2轴承的外圈与上述连杆之间分别插入有软钢制造的环，并通过粘结剂接合。
全文摘要
本发明提供一种隔膜型真空泵，其可以防止运转时发生轴承振动、蠕变，能够降低运转噪音。在电机轴(5)的轴承(6a、6b)的外圈与嵌合该轴承(6a、6b)的外壳(7a、7b)之间、连杆(13a、13b)的轴承(11a、11b)与连杆(13a、13b)之间、电机轴(5)的轴承(6a、6b)的内圈与电机轴(5)之间、以及连杆(13a、13b)的轴承(11a、11b)的内圈与偏芯轴(9a、9b)之间分别涂布有粘结剂，进行接合。
文档编号F04B45/04GK1740566SQ200510091600
公开日2006年3月1日 申请日期2005年8月26日 优先权日2004年8月26日
发明者相川纯一, 大坂常男, 大坂泰介, 山中秋广 申请人:Ulvac机工株式会社