阴极挡板装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种阴极挡板装置，包括支撑框架，遮挡组件，锁紧调节机构及待加工件；所述待加工件固定于所述支撑框架，所述遮挡组件包括上遮挡件和下遮挡件，所述上遮挡件和所述下遮挡件均通过所述锁紧调节机构可滑动地固定于所述支撑框架上，所述待加工件包括待加工面，所述上遮挡件和所述下遮挡件均覆设于所述待加工面。通过所述锁紧调节机构有效地调节所述上遮挡件和所述下遮挡件遮盖所述待加工件的面积，进而定量的遮蔽所述待加工件的电力线，使得受手加工区域的电力线变稀疏，达到电镀时降低板边铜厚的目的，从而极大地提升VCP电镀线的均匀性，且该阴极挡板装置简单，操作方便，制造成本低。
【专利说明】
阴极挡板装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及VCP电镀装置技术领域，特别是一种阴极挡板装置。
【背景技术】
[0002]IC载板是内部布有线路并用于导通芯片和PCB之间信号的零部件，主要用于承载芯片中。其制造流程与PCB产品类似，但线路精密度远胜PCB，因而IC载板对电镀铜的均匀性提出了极高的要求。普通VCP电镀线因电镀过程中不可避免的边缘效应，导致板边镀层厚度较厚，不利于后续工序的制程能力提升。现有VCP电镀线阴极挡板存在以下问题:阴极挡板不可简易地定量移动上下挡板位置，结构固定，不可拆卸，挡板调节困难等，以上情况造成了普通VCP电镀线不能有效定量地调节阴极挡板，电镀均匀性提升有限。
【发明内容】
[0003]基于此，本实用新型在于克服现有技术的缺陷，提供一种可以有效调节阴极挡板位置，电镀均匀性好，且结构简单的阴极挡板装置。
[0004]其技术方案如下:
[0005]—种阴极挡板装置，包括支撑框架，遮挡组件，锁紧调节机构及待加工件；
[0006]所述待加工件固定于所述支撑框架，所述遮挡组件包括上遮挡件和下遮挡件，所述上遮挡件和所述下遮挡件均通过所述锁紧调节机构可滑动地固定于所述支撑框架上，所述待加工件包括待加工面，所述上遮挡件和所述下遮挡件均覆设于所述待加工面。
[0007]在其中一个实施例中，所述支撑框架上设有至少两个第一长槽，所述上遮挡件设有与两个所述第一长槽位置相对应地两个第一安装孔，所述锁紧调节机构包括至少两个第一锁紧调节组件，所述第一锁紧调节组件穿设于所述第一长槽和所述第一安装孔、并固定连接所述上遮挡件和所述支撑框架。
[0008]在其中一个实施例中，还包括设置于所述支撑框架上的第一刻度标识部，所述第一刻度标识部沿所述第一长槽的延伸方向设置、并位于靠近所述第一调节组件的位置。
[0009]在其中一个实施例中，所述支撑框架上还设有至少两个第二长槽，所述下遮挡件设有与两个所述第二长槽位置相对应地两个第二安装孔，所述锁紧调节机构包括至少两个第二锁紧调节组件，所述第二锁紧调节组件穿设于所述第二长槽和所述第二安装孔、并固定连接所述下遮挡件和所述支撑框架。
[0010]在其中一个实施例中，还包括设置于所述支撑框架上的第二刻度标识部，所述第二刻度标识部沿所述第二长槽的延伸方向设置、并位于靠近所述第二调节组件的位置。
[0011 ]在其中一个实施例中，还包括支撑底座，所述下遮挡件包括多段遮挡件单元件，多段所述遮挡件单元件依次连接并均设置于所述支撑底座上。
[0012]在其中一个实施例中，所述上遮挡件和所述下遮挡件的材料均为绝缘材料。
[0013]本实用新型的有益效果在于:
[0014]上述阴极挡板装置通过在固定于所述支撑框架上的所述待加工面的上方覆设所述遮挡组件，并保证所述遮挡组件的所述上遮挡件和所述下遮挡件均可滑动地固定于所述支撑框架，从而通过所述锁紧调节机构有效地调节所述上遮挡件和所述下遮挡件遮盖所述待加工件的面积，进而定量的遮蔽所述待加工件的电力线，使得受加工区域的电力线变稀疏，达到电镀时降低板边铜厚的目的，从而极大地提升VCP电镀线的均匀性，且该阴极挡板装置简单，操作方便，制造成本低。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型实施例所述的阴极挡板装置的结构示意图。
[0016]附图标记说明:
[0017]100、支撑框架，200、遮挡组件，220、上遮挡件，222、第一刻度标识部，224、第一安装孔，240、下遮挡件，242、第二刻度标识部，244、遮挡件单元件，246、第二安装孔，300、锁紧调节机构，320、第一锁紧调节组件，340、第二锁紧调节组件，400、待加工件，420、待加工面，500、第一长槽，600、第二长槽，700、支撑底座。
【具体实施方式】
[0018]下面对本实用新型的实施例进行详细说明:
[0019]如图1所示，一种阴极挡板装置，包括支撑框架100，遮挡组件200，锁紧调节机构300及待加工件400;
[0020]所述待加工件400固定于所述支撑框架100，所述遮挡组件200包括相互连接的上遮挡件220和下遮挡件240，所述上遮挡件220和所述下遮挡件240均通过所述锁紧调节机构300可滑动地固定于所述支撑框架100上，所述待加工件400包括待加工面420，所述上遮挡件220和所述下遮挡件240均覆设于所述待加工面420。
[0021]其中，所述支撑框架100优选为矩形框架结构，矩形框架结构的中部镂空区域即为装夹区域以及加工区域，所述待交工件400为受镀板，所述待加工面为受镀板的板面，受镀板即安装于上述装夹区域，上述阴极挡板装置用于VCP电镀线的加工装置中，旨在改变受镀板的依次电流分布。从而达到提升电镀均匀性的目的，具体为通过在固定于所述支撑框架100上的所述待加工件400的上方覆设所述遮挡组件200，其中所述遮挡组件200遮挡受镀板的区域在电镀加工时并不会发生相应的化学沉积反应，即减少参与电镀加工的电力线的数量。此外，保证所述遮挡组件200的所述上遮挡件220和所述下遮挡件240均可滑动地固定于所述支撑框架100，从而通过所述锁紧调节机构300有效地调节所述上遮挡件220和所述下遮挡件240遮盖所述待加工件400的面积，进而定量的遮蔽所述待加工件400的电力线，使得受加工区域的电力线变稀疏，达到电镀时降低板边铜厚的目的，从而极大地提升VCP电镀线的均匀性，且该阴极挡板装置简单，操作方便，制造成本低。
[0022]所述上遮挡件220和所述下遮挡件240的材料均为绝缘材料。其中，所述上遮挡件220和所述下遮挡件240均为绝缘材料制作的板件，绝缘材料可以是PP、PVE等，上述覆设的含义为优选的绝缘板件紧密贴覆于受镀板的表面，避免电镀液与受遮蔽处的受镀板之间发生化学反应，以保证加工效果良好。
[0023]所述支撑框架100上设有至少两个第一长槽500，所述上遮挡件220设有与两个所述第一长槽500位置相对应地两个第一安装孔224，所述锁紧调节机构300包括至少两个第一锁紧调节组件320，所述第一锁紧调节组件320穿设于所述第一长槽500和所述第一安装孔244、并固定连接所述上遮挡件220和所述支撑框架100。
[0024]在一个优选地实施例中，两个所述第一锁紧调节组件320均包括相互配合连接的螺栓和螺母，采用至少两个所述第一锁紧调节组件320可以保证所述上遮挡件220的安装稳固，其中，螺栓穿设于所述上遮挡件220和所述支撑框架100上开设的位置相对应的所述第一安装孔244和所述第一长槽500，之后通过螺母旋紧固定，当需要进行调整改变所述上遮挡件220的位置时，通过同时旋动两个螺栓的头部，就可以实现螺栓连通上遮挡件220—起相对于受镀板的移动，从而改变上遮挡件220遮蔽受镀板的区域大小，从而有效地改变一次电流分布，以提升电镀的均匀性。在另一个实施例中，也可以先调整其中一个螺杆改变一边的位置，再调整另一个螺杆改变另一边的位置的操作方式。另外，上述第一锁紧调节组件320也可以是三个或以上的数量。
[0025]上述阴极挡板装置还包括设置于所述支撑框架100上的第一刻度标识部222，所述第一刻度标识部222沿所述第一长槽500的延伸方向设置、并位于靠近所述第一调节组件320的位置。
[0026]其中，所述第一刻度标识部222为单位长度0.5mm的刻度尺，中间刻度值为0，并向上正递增以及向下负递增，此外，上述螺杆的头部中心点位与所述刻度尺平齐，从而可以较为准确的示出移动的距离，同时通过在所述第一长槽500旁边的位置设置所述第一刻度标识部222，可以为操作人员提供非常直观、准确的位移数据，提高工作效率的同时还可以提高装置的可用度。
[0027]所述支撑框架100上还设有至少两个第二长槽600，所述下遮挡件240设有与两个所述第二长槽600位置相对应地两个第二安装孔246，所述锁紧调节机构300包括至少两个第二锁紧调节组件340，所述第二锁紧调节组件340穿设于所述第二长槽600和所述第二安装孔246、并固定连接所述下遮挡件240和所述支撑框架100。
[0028]在一个优选地实施例中，两个所述第二锁紧调节组件340均包括相互配合连接的螺栓和螺母，采用至少两个所述第二锁紧调节组件340可以保证所述下遮挡件240的安装稳固，其中，螺栓穿设于所述下遮挡件240和所述支撑框架100上开设的位置相对应的所述第二安装孔246和所述第二长槽600，之后通过螺母旋紧固定，当需要进行调整改变所述下遮挡件240的位置时，通过同时旋动两个螺栓的头部，就可以实现螺栓连同所述下遮挡件240一起相对于受镀板的移动，从而改变下遮挡件240遮蔽受镀板的区域大小，从而有效地改变一次电流分布，以提升电镀的均匀性。在另一个实施例中，也可以先调整其中一个螺杆改变一边的位置，再调整另一个螺杆改变另一边的位置的操作方式。另外，上述第二锁紧调节组件340也可以是三个或以上的数量。
[0029]上述阴极挡板装置还包括设置于所述支撑框架100上的第二刻度标识部242，所述第二刻度标识部242沿所述第二长槽600的延伸方向设置、并位于靠近所述第二调节组件340的位置。
[0030]其中，所述第二刻度标识部242为单位为0.5mm的刻度尺，上述螺杆的头部中心点位与所述刻度尺平齐，从而可以较为准确的示出移动的距离，同时通过在所述第二长槽600旁边的位置设置所述第二刻度标识部242，可以为操作人员提供非常直观、准确的位移数据，提高工作效率的同时还可以提高装置的可用度。
[0031]此外，上述阴极挡板装置还包括支撑底座700，所述下遮挡件240包括多段遮挡件单元件244，多段所述遮挡件单元件244依次连接并均设置于所述支撑底座700上。
[0032]为了方便进行安装，所述下遮挡件240优选为若干块挡板组合拼接的结构形式，其中所述支撑底座700可以直接卡接安装在电镀装置底部的喷灌管道上进行定位，之后上述若干块挡板件依次放置于所述支撑底座700上完成拼装，如此，可以确保若干块挡板件拼接后整齐、紧凑，处于同一条直线上，从而确保后续受镀板的安装精度高，以及电镀质量好。
[0033]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0034]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种阴极挡板装置，其特征在于，包括支撑框架，遮挡组件，锁紧调节机构及待加工件； 所述待加工件固定于所述支撑框架，所述遮挡组件包括上遮挡件和下遮挡件，所述上遮挡件和所述下遮挡件均通过所述锁紧调节机构可滑动地固定于所述支撑框架上，所述待加工件包括待加工面，所述上遮挡件和所述下遮挡件均覆设于所述待加工面。2.根据权利要求1所述的阴极挡板装置，其特征在于，所述支撑框架上设有至少两个第一长槽，所述上遮挡件设有与两个所述第一长槽位置相对应地两个第一安装孔，所述锁紧调节机构包括至少两个第一锁紧调节组件，所述第一锁紧调节组件穿设于所述第一长槽和所述第一安装孔、并固定连接所述上遮挡件和所述支撑框架。3.根据权利要求2所述的阴极挡板装置，其特征在于，还包括设置于所述支撑框架上的第一刻度标识部，所述第一刻度标识部沿所述第一长槽的延伸方向设置、并位于靠近所述第一调节组件的位置。4.根据权利要求1所述的阴极挡板装置，其特征在于，所述支撑框架上还设有至少两个第二长槽，所述下遮挡件设有与两个所述第二长槽位置相对应地两个第二安装孔，所述锁紧调节机构包括至少两个第二锁紧调节组件，所述第二锁紧调节组件穿设于所述第二长槽和所述第二安装孔、并固定连接所述下遮挡件和所述支撑框架。5.根据权利要求4所述的阴极挡板装置，其特征在于，还包括设置于所述支撑框架上的第二刻度标识部，所述第二刻度标识部沿所述第二长槽的延伸方向设置、并位于靠近所述第二调节组件的位置。6.根据权利要求1所述的阴极挡板装置，其特征在于，还包括支撑底座，所述下遮挡件包括多段遮挡件单元件，多段所述遮挡件单元件依次连接并均设置于所述支撑底座上。7.根据权利要求1所述的阴极挡板装置，其特征在于，所述上遮挡件和所述下遮挡件的材料均为绝缘材料。
【文档编号】C25D7/00GK205474065SQ201620116207
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】黄海阳, 李志东, 谢添华
【申请人】广州兴森快捷电路科技有限公司, 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司, 广州市兴森电子有限公司