磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液及其去毛刺方法
【专利摘要】本发明公开了一种磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液及其去毛刺方法，它由下列原料组成：硝酸：400mL/L~450 mL/L、氢氟酸：160mL/L~180 mL/L、磷酸：70mL/L~90mL/L、丙三醇：10mL/L~15 mL/L、十二烷基硫酸钠：0.3g/L~0.4g/L。本发明根据磁控管钽箔材料一次发射体的厚度仅为10μm-20μm的结构特点，通过大量实验筛选电解液的组成和浓度，该电解液能很好的去除磁控管用的钽箔材料一次发射体边缘及表面的毛刺和氧化层，可以满足高精度阴极发射体的装配要求，具有重要的应用价值，可解决现有技术的缺陷。
【专利说明】磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液 及其去毛刺方法
【技术领域】
[0001] 本发明设计一种电解液，具体涉及一种磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛 刺及氧化层溶液及其使用方法。
【背景技术】
[0002] 一次发射体是磁控管的重要组成部件，磁控管用的钽箔材料一次发射体在线切割 制备过程中，在发射体的边缘容易产生氧化层和线切割过程中出现的毛刺，由于磁控管用 的钽箔材料一次发射体的厚度仅为20 μ m-30 μ m，直径仅为Φ 3, 一般的电解工艺无法电解 去除该尺寸发射体的边缘毛刺和氧化层，容易导致发射体本身过渡腐蚀，降低发射体的精 度，从而导致发射不能满足高精度高性能的工作要求。
[0003] 因此，本发明在现有技术无法解决该技术问题的基础上，通过大量实验筛选电解 液和电解工艺，使能满足去除厚度仅为20 μ m-30 μ m，直径仅为Φ 3的磁控管用的钽箔材料 一次发射体边缘毛刺和表明氧化层的方法，具有重要的应用价值。
【发明内容】
[0004] 发明目的：本发明的目的是为了解决现有技术的不足，提供一种组分配比科学合 理，电解去毛刺效果优的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液。本发 明另外一个目的是提供电解去除磁控管用的钽箔材料一次发射体毛刺及氧化层的方法。
[0005] 技术方案：为了实现以上目的，本发明采取的技术方案为：
[0006] 一种磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液，它由下列浓度的 原料组成：
[0007] 硝酸：400mL/L ?450mL/L
[0008] 氢氟酸：160mL/L ?180mL/L
[0009] 磷酸：7〇mL/L ?9〇mL/L
[0010] 丙三醇：10mL/L ?15mL/L
[0011] 十二烷基硫酸钠：0. 3g/L?0. 4g/L ;
[0012] 溶剂为水。
[0013] 作为优选方案，以上所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层 溶液，它由下列浓度的原料组成：
[0014] 硝酸：400mL/L、氢氟酸：160mL/L、磷酸：80mL/L、丙三醇：15mL/L
[0015] 十二烷基硫酸钠：0· 3g/L ;溶剂为水。。
[0016] 本发明提供的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层的方法，包括 以下步骤：
[0017] (1)按浓度配制好电解去毛刺及氧化层的溶液，然后将溶液倒入石墨容器内，并将 石墨容器与整流器的正极相连；
[0018] (2)用铜丝把磁控管用的钽箔材料一次发射体穿起并固定住；
[0019] (3)接通整流器电源，打开启动开关，拨向稳压状态，旋动旋钮，设定所需的电压 1?5V，关闭启动开关；
[0020] (4)打开计时器开关，调节设定电解时间为5?25s，关闭计时器；
[0021] (5)把穿好铜丝的磁控管用的钽箔材料一次发射体连接到整流器的输出正极，并 全部浸入到步骤（1)配置好的电解去毛刺及氧化层的溶液中，控制电解去毛刺及氧化层溶 液的温度为20?50 °C ;
[0022] (6)打开计时器开关和整流器启动开关，对磁控管用的钽箔材料一次发射体进行 电解去毛刺和氧化层处理，电解结束时，关闭计时器开关和整流器启动开关；
[0023] (7)取出磁控管用的钽箔材料一次发射体，用自来水冲洗干净，然后用纯水清洗 5?30秒后用乙醇脱水，烘干。
[0024] 作为优选方案，以上所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层 的方法，步骤（3)设定的电压为2?3V。
[0025] 作为优选方案，以上所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层 的方法，步骤（4)电解时间为10?15s。
[0026] 作为优选方案，以上所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层 的方法，步骤（5)所述的电解去毛刺及氧化层溶液的温度为为20°C?40°C。
[0027] 电解去毛刺和去氧化层溶液配方寄工艺筛选试验：
[0028] 本发明通过大量的工艺试验筛选确定磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛 刺及氧化层的溶液配方：优化配方及工艺条件，如下：
[0029] (1)硝酸成分含量的确定
[0030] 其它成分和工艺条件取中间值且保持不变，改变硝酸的浓度为300mL/L，350mL/L， 400mL/L，450mL/L，500mL/L时进行试验，试验结果如下：
[0031] 表1不同硝酸浓度下一次发射体表面状况
[0032]
【权利要求】
1. 一种磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液，其特征在于，它由 下列浓度的原料组成： 硝酸：400mL/L~450 mL/L 氢氟酸：160mL/L~180 mL/L 磷酸：70mL/L~90mL/L 丙三醇：10mL/L~15 mL/L 十二烷基硫酸钠：0. 3g/L~0. 4g/L ; 溶剂为水。
2. 根据权利要求1所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层溶液， 其特征在于，它由下列浓度的原料组成： 硝酸：400mL/L、氢氟酸：160mL/L、磷酸：80mL/L、丙三醇：15 mL/L 十>烧基硫酸纳：0. 3g/L ; 溶剂为水。
3. 磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层的方法，其特征在于，包括以 下步骤： (1) 按权利要求1或2所述的浓度配制好电解去毛刺及氧化层的溶液，然后将溶液倒入 石墨容器内，并将石墨容器与整流器的正极相连； (2) 用铜丝把磁控管用的钽箔材料一次发射体穿起并固定住； (3) 接通整流器电源，打开启动开关，拨向稳压状态，旋动旋钮，设定所需的电压1~5V， 关闭启动开关； (4) 打开计时器开关，调节设定电解时间为5~25s，关闭计时器； (5) 把穿好铜丝的磁控管用的钽箔材料一次发射体连接到整流器的输出正极，并全部 浸入到步骤（1)配置好的电解去毛刺及氧化层的溶液中，控制电解去毛刺及氧化层溶液的 温度为20~50°C ; (6) 打开计时器开关和整流器启动开关，对磁控管用的钽箔材料一次发射体进行电解 去毛刺和氧化层处理，电解结束时，关闭计时器开关和整流器启动开关； (7) 取出磁控管用的钽箔材料一次发射体，用自来水冲洗干净，然后用纯水清洗5~30 秒后用乙醇脱水，烘干。
4. 根据权利要求3所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层的方 法，其特征在于，步骤（3)设定的电压为2~3V。
5. 根据权利要求3所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层的方 法，其特征在于，步骤（4)电解时间为10~15s。
6. 根据权利要求3所述的磁控管用的钽箔材料一次发射体电解去毛刺及氧化层的方 法，其特征在于，步骤（5)所述的电解去毛刺及氧化层溶液的温度为为20°C~40°C。
【文档编号】C25F3/26GK104480522SQ201410727008
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年12月3日 优先权日:2014年12月3日
【发明者】刘洋, 梁中鼎, 王玉春, 梁田, 吴亚琴, 金宇, 杨磊, 任重, 李春月 申请人:南京三乐电子信息产业集团有限公司