一种碳化硅分级装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及切割废液处理设备领域，尤其是一种碳化硅分级装置。
【背景技术】
[0002]硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料，硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割液对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果，在整个过程中，钢线通过线辊的引导，在线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比具有效率高，产能高，精度高等优点，因此，多线切割技术是目前最广泛的硅片切割技术。
[0003]在多线切割技术中，所使用的切割液通常是由聚乙二醇和1200目左右的碳化硅颗粒按照一定比例配制而成，切割液在切割硅棒的过程中不可避免的会与切削下来的硅粉混在一起，形成大量的切割废液，而且切割液中部分碳化硅颗粒会因切割作用而出现破损，使得部分碳化硅的目数增大，因此，切割废液无法直接重复利用。切割废液中含有很多资源，比如碳化硅、硅粉等等，如果直接排放掉，不仅造成浪费资源，同时还会污染环境，因此，对于切割废液的处理一直是光伏行业的难题。
[0004]目前，对于切割废液的处理方法通常采用以下的方式:首先，对切割废液进行固液分离，即将切割废液中的聚乙二醇液体与碳化硅颗粒、硅粉颗粒分离，得到聚乙二醇液体和混合有硅粉的碳化硅固体，分离出的聚乙二醇液体经过进一步加工后可再次作为原料配制成切割液重复利用;接着，对分离出来的混合有硅粉的碳化硅进行分级处理，去除目数大于1300目的超细碳化硅，剩余的目数较小的碳化硅可配成新的切割液继续使用，由于碳化硅和硅粉的密度相差不大，因此，不论是剩余的碳化硅还是分离出去的超细碳化硅中都含有硅粉;最后，将分离出来的数目较大的混合有硅粉的超细碳化硅经过化学处理后排放掉。现有的切割废液处理方式仅能够回收利用聚乙二醇和一部分碳化硅，对于切割废液中的超细碳化硅和硅粉一般无法进行有效的回收利用。
[0005]目前，对于混合有硅粉的碳化硅的分级处理主要采用气力分级与水力分级的方式，气力分级是利用高压气体冲刷混合有硅粉的碳化硅，由于不同目数的碳化硅颗粒重量各不相同，因此，在同样的风力作用下不同目数的碳化硅会堆积在不同位置，实现碳化硅的分级，第二种方式是水力分级的方式，现有的水力分级装置一般包括分级锥形筒，分级锥形筒的大径端朝上并且设置有进料口，所述分级锥形筒的小径端设置有可拆卸的封堵部件，所述分级锥形筒上部设置有超细碳化硅液体排出口，所述分级锥形筒下部设置有进水口，所述分级锥形筒的内壁与重力方向的夹角为15°?30°，所述进水口的入射方向与分级锥形筒的壁面相切，通过进水口将水注入分级锥形筒内，由于不同目数的碳化硅颗粒重量不同，目数较大的碳化硅颗粒重量较轻，目数较小的碳化硅颗粒重量较重，从进水口注入分级锥形筒内的水流具有一定的压力，在水流的冲击下，重量的较轻的碳化硅颗粒在被冲到分级锥形筒的上部，进而从超细碳化硅液体排出口排出，然后进行烘干处理即可得到超细碳化硅固体，目数较小的碳化硅颗粒则悬浮在分级锥形筒底部进而沉积到分级锥形筒的内壁上并逐渐蠕动下滑至分级锥形筒的底部堆积起来，等堆积到一定程度，将封堵部件拆下来，将目数较小的碳化硅从分级锥形筒的小径端排出，进而配制成切割液再重复利用，但是，现有的水力分级装置在使用过程中存在以下问题:现有的分级锥形筒内没有设置任何的水流均布装置，都是直接将水流斜向上喷入分级锥形筒内，这样分级锥形筒内同一高度的水压都不一致，会导致分级效果较差。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种分级效果较好的碳化硅分级装置。
[0007]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该碳化硅分级装置，包括分级锥形筒，分级锥形筒的大径端朝上并且设置有进料口，所述分级锥形筒的小径端设置有可拆卸的封堵部件，所述分级锥形筒上部设置有超细碳化硅液体排出口，所述分级锥形筒下部设置有进水口，所述分级锥形筒的内壁与重力方向的夹角为15°?30°，所述分级锥形筒内设置有水流均布装置，所述水流均布装置设置在分级锥形筒的下部，所述水流均布装置包括锥形外壳与锥形内壳，锥形外壳的大径端与锥形内壳的大径端均朝上，所述锥形内壳与锥形外壳之间的间隙形成水流通道，所述锥形外壳的下端连接有储水腔体，所述储水腔体与水流通道连通，储水腔体与进水口通过水管连通。
[0008]进一步的是，所述锥形外壳的内壁、锥形内壳的外壁、分级锥形筒的内壁互相平行。
[0009]进一步的是，所述分级锥形筒的内壁与重力方向的夹角为25°。
[0010]进一步的是，所述超细碳化硅液体排出口下方设置有集液池，所述进水口上连接有液管，液管另一端与集液池连通，所述液管上设置有水栗。
[0011]进一步的是，所述液管上连接有回流管，回流管的端头伸入集液池内，所述回流管上设置有截止阀。
[0012]进一步的是，所述液管上设置有压力表。
[0013]进一步的是，所述液管上设置有储液腔。
[0014]进一步的是，在分级锥形筒的小径端设置阀门形成所述的封堵部件。
[0015]本实用新型的有益效果是:该碳化硅分级装置通过在分级锥形筒内设置有水流均布装置，从进水口喷出的水流先进入储水腔体，然后再沿水流通道喷出形成一个锥形的水流，锥形的水流可以使得分级锥形筒1内同一高度的水压趋于一致，使得分级效果更好。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型碳化硅分级装置的结构示意图；
[0017]图中标记为:分级锥形筒1、进料口2、封堵部件3、超细碳化硅液体排出口 4、进水口
5、集液池9、液管10、水栗11、水流均布装置13、锥形外壳131、锥形内壳13 2、水流通道133、储水腔体134、回流管14、截止阀15、压力表16、储液腔17。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图对本实用新型进一步说明。
[0019]如图1所示，该碳化硅分级装置，包括分级锥形筒1，分级锥形筒1的大径端朝上并且设置有进料口 2，所述分级锥形筒1的小径端设置有可拆卸的封堵部件3，所述