水洗式尾气处理装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种水洗式尾气处理装置，其包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元；其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有排水口；喷水单元包括一个或多个喷嘴；过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒；除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，其中除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板；除湿单元内的波形板具有除湿效果，通过加装带有波纹板的除湿单元可以有效去除酸碱废气中含有的水分，防止腐蚀性水雾顺着气流进入风机腐蚀风机及管道，从而延长后端设备的使用寿命。
【专利说明】水洗式尾气处理装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造、化工制造、生物医药制造等生产废料处理领域，尤其涉及一种水洗式尾气处理装置。
【背景技术】
[0002]半导体生产、化工生产、生物医药制造领域中，工艺生产过程中，会产生各类有毒，刺激性的尾气，对人体及自然有害，因此，在排放尾气时需要对有毒有害气体进行相应的处理，以达到国家规定的排放标准，在排放口会加装水洗式尾气处理装置为业界普遍采用的方法。
[0003]现有的用于半导体生产或工厂排风系统等的立式水洗式尾气处理装置，如图1所示，立式水洗式尾气处理装置包括腔体11、与位于腔体11内的喷水单元14、过滤单元以及除雾网18，腔体11的顶部设有尾气排放口 17，腔体11的底部设有尾气进气口 12和排水口16，过滤单元包括位于腔体底部的过滤网15以及位于过滤网15之上的网状结构过滤层过滤颗粒13，喷水单元14位于过滤单元的上方，喷水单元14具有向下雾状喷水的喷口，喷口均匀布置于腔体的上部，除雾网18位于腔体的顶部。
[0004]现有的用于半导体生产或工厂排风系统等的卧式水洗式尾气处理装置，从图2可见，卧式水洗式尾气处理装置包括腔体21、与位于腔体21内的喷水单元24、过滤单元以及除雾网28，腔体21的一端设有尾气排放口 27，腔体21的另一端设有尾气进气口 22，下端设有排水口 26，过滤单元包括位于下方的过滤网25以及位于过滤网25之上的网状结构过滤层过滤颗粒23，喷水单元24位于过滤单元的上方，喷水单元24具有向下雾状喷水的喷口，喷口均匀布置于所述腔体的顶部，除雾网28位于腔体尾气排放口侧。
[0005]然而，由于半导体工艺机台排放有毒尾气，通过水洗方式进行尾气处理，尾气有下往上排出，而喷水是从上往下喷淋，所以处理完的废气经常带有水雾，尽管除雾层可以去除一部分水雾，还会有一部分水雾被气流带入管道，影响管道的排气。需要经常对管道做排水处理,工作效率大大降低。
[0006]工厂排风系统水淋填充式尾气处理后的气体中同样带有水雾，通过气流带入风机及管道，进而影响腐蚀风机及管道，缩短设备使用寿命。
[0007]因此，如何提供一种可以可靠去除水雾并延长装置使用寿命的尾气处理装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
[0008]本实用新型的目的在于提供一种尾气处理装置，通过设置波纹板过滤除雾装置，增加接触面积，从而提高水雾去除效率，可以减少对后端风机及管道设备腐蚀，从而提高并延长风机及管道设备的使用寿命。
[0009]为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0010]一种水洗式尾气处理装置，其中包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元，其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有的排水口，喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴，过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒，除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板。
[0011]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板平行排列。
[0012]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板的排布方向与废气流动方向垂直。
[0013]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的任意相邻两块所述波纹板的最大间隔约为5厘米。
[0014]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板由至少一个S型组成。
[0015]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板的材料为聚丙烯或不锈钢。
[0016]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的所述波纹板的厚度为I毫米至2毫米，密布小孔的孔径为8至15毫米。
[0017]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，过滤颗粒为球状体或方形体或椭球状体，底部过滤网材料为不锈钢，呈网状分布。
[0018]为了达到上述的目的，本实用新型的另一技术方案如下:
[0019]一种水洗式尾气处理装置，包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元，其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有的排水口，喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴，过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒，除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，其中除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板及波纹板固定部，多片波纹板的一端与波纹板固定部连接，另一端悬空，其投影覆盖整个除湿单
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[0020]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板平行排列。
[0021]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板的排布方向与废气流动方向垂直。
[0022]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的任意相邻两块所述波纹板的最大间隔约为5厘米。
[0023]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板由至少一个S型组成。
[0024]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板的材料为聚丙烯或不锈钢。
[0025]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的所述波纹板的厚度为I毫米至2毫米，密布小孔的孔径为8至15毫米。
[0026]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，过滤颗粒为球状体或方形体或椭球状体，底部过滤网材料为不锈钢，呈网状分布。
[0027]为了达到上述的目的，本实用新型的另一技术方案如下:
[0028]一种水洗式尾气处理装置，包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元，其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有的排水口，喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴，过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒，除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，其中除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板及波纹板固定部，多片波纹板的两端与所述波纹板固定部连接，其投影覆盖整个除湿单元。
[0029]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板平行排列。
[0030]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板的排布方向与废气流动方向垂直。
[0031]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的任意相邻两块所述波纹板的最大间隔约为5厘米。
[0032]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板由至少一个S型组成。
[0033]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板的材料为聚丙烯或不锈钢。
[0034]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的所述波纹板的厚度为I毫米至2毫米，密布小孔的孔径为8至15毫米。
[0035]优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，过滤颗粒为球状体或方形体或椭球状体，底部过滤网材料为不锈钢，呈网状分布。
[0036]本实用新型提供的尾气处理装置，结构简单，使用方便，通过设置波纹板过滤除雾装置，一方面不会增加风道阻力，影响气流的通过效率；另一方面，通过均匀布置的曲板可以有效地去除湿气，避免大量的水雾进入管道及风机设备，从而有效地提高尾气处理装置的使用期限，降低后端设备停机进行大型保养的频率，从而提高生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0037]图1为现有技术中立式水淋填充式尾气装置的结构示意图
[0038]图2为现有技术中卧式水淋填充式尾气装置的结构示意图
[0039]图3为本实用新型的立式水洗式尾气处理装置实施例示意图
[0040]图3a及图3b为本实用新型图3实施例的除湿单元示意图
[0041]图4为本实用新型的卧式水洗式尾气处理装置实施例示意图
[0042]图4a为本实用新型图4实施例的除湿单元示意图
【具体实施方式】
[0043]以下将对本实用新型的尾气处理装置的特征与优点作进一步的详细描述。应理解的是本实用新型能够在不同的示例上具有各种的变化，其皆不脱离本实用新型的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本实用新型。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0044]上述及其它技术特征和有益效果，将结合实施例及附图3及图4对本发明的水洗尾气处理装置进行详细说明。其中图3为立式水洗尾气处理装置的实施例，图4为卧式水洗尾气处理装置的实施例。
[0045]请参阅图3，图3是本实用新型一立式尾气处理装置实施例的结构示意图。如图3所示，上述立式尾气处理装置，包括腔体31、以及位于腔体内的喷水单元34、过滤单元以及除雾单元，腔体31的顶部设有尾气排放口 37，底部设有尾气进气口 32和排水口 36，过滤装置包含位于下部的过滤网35以及位于过滤网35上面的过滤颗粒33，喷水装置34位于过滤装置上方，喷水装置34具有一个或多个向下雾状喷水的喷口，喷口均匀分布于腔体的上部，本实施例中喷口的数量为4个，可以实现对过滤单元全面、均匀的清洗，过滤单元的内部填充过滤单元为网状结构过滤层，过滤颗粒的外径比过滤网35的孔径大。过滤网35采用不锈钢制成，呈网状分布，过滤网35的孔径是1.5?2厘米。过滤颗粒是可以球状体或方形体或椭球状体。本实施例中，过滤颗粒采用球状体，俗称过滤球，过滤颗粒的材质是塑料，过滤颗粒的直径是2.5?4厘米。经多次实验证明，采用直径范围是2.5?4厘米的过滤球，对尾气的处理效果较好，处理效率较高。波纹板过滤除雾装置位于腔体的顶部，波纹板过滤除雾装置包括多片带有细微小孔的聚丙烯波纹板391以及位于装置内壁的固定部392，如图3a所示，除雾装置39形状为矩形，深色部分为固定部392，五片波纹板391的一端与波纹板固定部392相连，另一端悬空，其波纹板391的厚度为I毫米，如图3b所示，波纹板391的厚度为空心实线部分，波纹范围为虚线部分，固定部392被波纹板391遮盖，波纹板延伸方向为纸面向外，气体通过方向为纸面向内，任意相邻两块波纹板391为平行排布且间距为5厘米，波纹板391上均匀密布的小孔直径约8至15毫米，如图3b中所示，其投影(图中实线及虚线部分)并未覆盖整个除湿单元，有部分气体未经处理进入排气孔，可根据除湿需要，增大或者减小波纹范围，也可将波纹板与废气流动方向成一定角度排布(非90°垂直排布)，迫使废气与波纹板更好的接触，以获得更好的除湿效果，然而抽风机的功率以及能耗也会随之增加。通过设置波纹板过滤除雾装置可以有效去除酸碱废气中带有的水分，防止水雾顺着气流进入风机，进而腐蚀风机及管道，从而延长后端设备的使用寿命。
[0046]请参阅图4，图4是本实用新型一卧式尾气处理装置实施例的结构示意图。如图4所示，上述卧式尾气处理装置，包括腔体41、以及位于腔体内的喷水单元44、过滤单元以及除雾单元，腔体41的一端设有尾气排放口 47，另一端设有尾气进气口 42，底部设有排水口46，过滤装置包含位于下部的过滤网45以及位于过滤网45上面的过滤颗粒43，喷水装置44位于过滤装置上方，喷水装置44具有一个或多个向下雾状喷水的喷口，喷口均匀分布于腔体的上部，本实施例中喷口的数量为4个，可以实现对过滤单元全面、均匀的清洗，过滤单元的内部填充过滤单元为网状结构过滤层，过滤颗粒的外径比过滤网45的孔径大。过滤网45采用不锈钢制成，呈网状分布，过滤网45的孔径是1.5?2厘米。过滤颗粒是可以球状体或方形体或椭球状体。本实施例中，过滤颗粒采用椭球体，过滤颗粒的材质是塑料，过滤颗粒的直径是2.5?4厘米。经多次实验证明，采用直径范围是2.5?4厘米的过滤球，对尾气的处理效果较好，处理效率较高。除雾装置49位于尾气排放口 47临近处，将尾气排放口与其他单元相隔离，以使尾气通过除湿单元后从所述尾气排放口 47排放出去，除雾装置49包括多片带有细微小孔的不锈钢波纹板491以及位于装置内壁的固定部492，如图4a所示，除雾装置49形状为圆形，六片波纹板491的两端均与位于内壁上的固定部492相连，其波纹板的长度为圆形除雾装置直径，且厚度为2毫米，波纹板的排布方向与废气流动方向垂直，任意相邻两块波纹板的间距最宽处为5厘米，波纹板上均匀密布的小孔直径约8至15毫米，其投影(图中实线及虚线部分)覆盖整个除湿单元，其中部由于波纹板设置较密，所以除湿效果相对于外围附近较好，通过设置波纹板过滤除雾装置可以有效去除酸碱废气中带有的水分，防止水雾顺着气流进入风机，进而腐蚀风机及管道，从而延长后端设备的使用寿命。
[0047]本实用新型的尾气处理装置的使用方法如下，以图3实施例为例，图4实施例使用方法与图3类似:
[0048]从半导体制造设备排放出来的有毒尾气，经尾气处理装置的腔体31底部的尾气进气口 32，进入尾气处理装置的腔体31内，尾气向上进入过滤装置内，当喷水装置34喷洒水雾后，尾气的有毒成份会被过滤单元过滤掉，而含有水雾的废气在经过波形板除雾装置时，会除去大部分水雾，最后通过尾气排放口 37进入厂务排风系统。由于尾气在经过波形板除雾装置时增大了水雾与波形板的接触面积，同时波形班上密布的小孔不会增加气体阻力，从而提高了除雾效率，相比现有技术中尾气除雾网上的除雾效果有明显的提升，水雾的去除，减少了对后端风机及管道设备的腐蚀，从而提高了风机及管路的使用寿命。
[0049]以上所述的仅为本实用新型的实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种水洗式尾气处理装置，其特征在于，包括腔体、以及位于所述腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元；所述腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有排水口 ；所述喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴；所述过滤单元设置于所述喷水单元下方，包括位于底部的过滤网以及设于所述过滤网上的若干过滤颗粒，所述除湿单元设于所述尾气排放口临近处，将所述尾气排放口与其他所述单元相隔离，以使尾气通过所述除湿单元后从所述尾气排放口排放出去，所述除湿单元内包含多片带有小孔的波纹板。
2.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述除湿单元包括波纹板固定部，多片所述波纹板的一端与所述波纹板固定部连接，另一端悬空，其投影覆盖整个除湿单元。
3.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述除湿单元包括波纹板固定部，多片所述波纹板的两端与所述波纹板固定部连接，其投影覆盖整个除湿单元。
4.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述多片波纹板平行排列。
5.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述多片波纹板的排布方向与废气流动方向垂直。
6.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述除湿单元内的任意相邻两块所述波纹板的最大间隔约为5厘米。
7.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述波纹板由至少一个S型组成。
8.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述波纹板的材料为聚丙烯或不锈钢。
9.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述除湿单元内的所述波纹板的厚度为I毫米至2毫米，所述密布小孔的孔径为8至15毫米。
10.根据权利要求1至3所述的任意一个水洗式尾气处理装置，其特征在于，所述过滤颗粒为球状体或方形体或椭球状体，所述底部过滤网材料为不锈钢，呈网状分布。
【文档编号】B01D53/00GK203379775SQ201320499549
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年8月15日 优先权日:2013年8月15日
【发明者】钱刚 申请人:上海集成电路研发中心有限公司