专利名称：多晶硅废气淋洗系统的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅废气淋洗系统。
背景技术：
现有改良西门子法生产多晶硅的废气淋洗装置是由淋洗塔、NaOH溶液循环泵、安全液封罐、放空管、接收地槽。废气淋洗塔为湿法吸收型净化处理设备，功能为喷淋分组分级式，淋洗液是用氢氧化钠(NaOH)为吸收中和液。原本设计连续废气为两套淋洗塔对两个单独的废液接收地槽，循环泵和排污泵安装在废液接收地槽旁边，直接抽接收地槽内的淋洗液进行循环淋洗，淋洗完的淋洗液通过淋洗塔的出口回到接收地槽内。其工作原理为:废气由进气口进入淋洗塔内缓速进入第一级喷淋段，进行第一级喷淋，使气液二相得到第一次充分接触，经一级淋洗后的废气再减速进入第二级喷淋功能段，再使废气得到更充分的气液二相接触反应，经第二级处理后的废气再减速进入第三级喷淋功能段，再使废气得到更充分的气液二相接触反应，经第三级喷淋后的废气从淋洗塔的顶部进入安装在淋洗塔顶部平台上的安全液封罐内，再与安全液封罐内的淋洗液反应，达到国家废气排放二级排放标准后经放空管排入大气。然而，目前对于多晶硅废气的淋洗手段仍有待改进。
实用新型内容本实用新型是基于发明人的下列发现而完成的:发明人发现，目前采用的淋洗液是碱性溶液例如氢氧化钠溶液，由于碱性溶液例如氢氧化钠溶液极易与氯硅烷或氯化氢发生反应，因而，碱性溶液例如氢氧化钠溶液与氯硅烷或氯化氢发生反应后的淋洗液从淋洗塔的出口流入到循环池中时，会在循环池中生成大量的废渣，废渣主要成分为Na2Si03、Si02、NaCl等。这些废渣的一部分会飘浮在循环池的顶部，另一部分会沉降在循环池的底部，随着底部废渣越积越多，会导致循环泵及排污泵的进口堵塞，同时导致渣水的分离困难，池体清理困难，影响到废气的处理效率。本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种能够有效进行多晶硅废气淋洗并且能够有效进行淋洗液循环的多晶硅废气淋洗系统。在本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种多晶硅废气淋洗系统。根据本实用新型的实施例，该系统包括:第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池，所述第一淋洗液循环池分别与所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相连，用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，所述第二淋洗液循环池与所述第一淋洗液循环池连通，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；废渣阻挡部件，所述废渣阻挡部件设置在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池之间，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；第一循环泵，所述第一循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液弓I入到所述第一淋洗塔内；以及第二循环泵，所述第二循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液弓I入到所述第二淋洗塔内。由于第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液均首先进入第一淋洗液循环池中，并且在第一淋洗液循环池和第二淋洗液循环池之间设置有废渣阻挡部件，从而可以有效地减少废渣在第二淋洗液循环池中的聚集和沉积，从而可以有效地对淋洗液进行循环利用，并且能够有效地对多晶硅废气进行淋洗。根据本实用新型的实施例，该多晶硅废气淋洗系统还可以具有下列附加技术特征:在本实用新型的一个实施例，所述淋洗液为氢氧化钠溶液6重量％ 8重量％。在本实用新型的一个实施例，所述废渣阻挡部件为格栅板，所述格栅板上形成有通孔。在本实用新型的一个实施例，所述通孔为方形通孔或者圆形通孔。在本实用新型的一个实施例，所述方形通孔的边长为15 20_。在本实用新型的一个实施例，所述圆形通孔的直径为15 20_。在本实用新型的一个实施例，在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池的侧壁形成重叠区域，其中，在所述重叠区域上形成有连通口，所述废渣阻挡部件设置在所述连通口中。在本实用新型的一个实施例，在所述重叠区域上形成有多个连通口，其中，每个连通口均设置有至少一个废渣阻挡部件。在本实用新型的一个实施例，所述连通口设置在液面下至少400mm。在本实用新型的一个实施例，所述第一循环泵和第二循环泵的至少一个设置在所述第二淋洗液循环池内远离所述第一淋洗液循环池的一侧。根据本实用新型的实施例的多晶硅废气淋洗系统可以至少具有下列优点之一:1、根据本实用新型的实施例，淋洗液可在两个淋洗液循环池中实现循环流动，从而使两个单独的连续废气处理系统成为了一个大的循环处理系统，提高了淋洗液的流动性，淋洗液中的碱液得到了更好的利用，节约了生产成本。2、根据本实用新型的实施例，废渣阻挡部件可以对废渣尤其是浮渣起到过滤的作用，大大减少了循环泵及排污泵的堵塞情况，节省了大量的人力和时间去疏通管道。3、根据本实用新型的实施例，大量废渣沉降在了第一淋洗液循环池的底部，而第二淋洗液循环池中的废渣得到显著减少，所以，清理循环池的频率可以得到显著减少。本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是根据本实用新型一个实施例的多晶硅废气淋洗系统的结构示意图；以及图2是根据本实用新型又一个实施例的多晶硅废气淋洗系统的局部结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本实用新型中，术语“多晶硅废气”是指在多晶硅生产过程中，所产生的废气，废气组分通常是二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、氢气、氮气、氯化氢和少量固体硅颗粒。在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本实用新型提出了一种多晶硅废气淋洗系统。参考图1，根据本实用新型的实施例，该多晶娃废气淋洗系统包括:第一淋洗塔100、第二淋洗塔200、第一淋洗液循环池300、第二淋洗液循环池400、废渣阻挡部件500、第一循环泵600以及第二循环泵700。根据本实用新型的实施例，第一淋洗塔100利用淋洗液对多晶硅废气进行淋洗，第二淋洗塔200，利用淋洗液对多晶硅废气进行淋洗。根据本实用新型的实施例，第一淋洗塔100和第二淋洗塔200所采用的淋洗液相同，可以为任何已知的淋洗液，其中，优选氢氧化钠，最优选浓度为6重量％ 8重量％的氢氧化钠水溶液。发明人惊奇地发现:由此，可以满足淋洗要求，并且淋洗所产生的废渣粘稠度低，基本不粘结，废渣固体中二氧化硅含量相对较高(因进气组分变化，产生的废渣二氧化硅含量不固定)，便于格栅隔离和后期渣水分离打捞，同时产生的废渣大部分处于漂浮状态，少量下沉，有利于格栅隔离。另外，第一淋洗塔100和第二淋洗塔200可以分别独立地对不同批次的多晶硅废气进行平行淋洗，也可以对相同一批次的多晶硅废气进行连续多级淋洗，这可以根据实际需要来进行调节。根据本实用新型的实施例，第一淋洗液循环池300分别与第一淋洗塔100和第二淋洗塔200相连，用于接收来自第一淋洗塔100和第二淋洗塔200的淋洗液，第二淋洗液循环池400与第一淋洗液循环池300连通，由此，第二淋洗液循环池400可以接收来自第一淋洗液循环池300的淋洗液。另外根据本实用新型的实施例，废渣阻挡部件500设置在第一淋洗液循环池300和第二淋洗液循环池400之间，可以用于阻止废渣从第一淋洗液循环池300进入第二淋洗液循环池400。从而，在第一淋洗液循环池300中的淋洗液进入到第二淋洗液循环池400的同时，第一淋洗液循环池300中的废渣并不会进入到第二淋洗液循环池400中。由此，可以确保第二淋洗液循环池400中不会有或者很少有废渣积聚。根据本实用新型的实施例，废渣阻挡部件500的类型并不受特别限制。根据本实用新型的具体实施例，废渣阻挡部件500可以为格栅板，并且该格栅板上形成有通孔。可选的，通孔为方形通孔或者圆形通孔。另外，根据本实用新型发明人的探索，所述方形通孔的边长为15 20_或者圆形通孔的直径为15 20mm，既可以满足废渣无法进入第二淋洗液循环池400，同时还能够极大限度地提高淋洗液从第一淋洗液循环池300中进入到第二淋洗液循环池400的效率。另外，根据本实用新型的实施例，第一淋洗液循环池300和第二淋洗液循环池400的位置关系并不受特别限制，只要其可以相互连通即可。另外，参考图2，根据本实用新型具体实施例，第一淋洗液循环池300和第二淋洗液循环池400的侧壁形成重叠区域，其中，在该重叠区域上形成有连通口 800，废渣阻挡部件500即设置在该连通口 800中。根据本实用新型的实施例，连通口 800和废渣阻挡部件500的数目并不受特别限制。根据本实用新型的实施例，在重叠区域上形成有多个连通口 800，其中，每个连通口 800均设置有至少一个废渣阻挡部件500。另外，根据本实用新型的实施例，从而，既可以满足废渣无法进入第二淋洗液循环池400，同时还能够极大限度地提高淋洗液从第一淋洗液循环池300中进入到第二淋洗液循环池400的效率。另外，根据本实用新型的实施例，连通口 800可以设置在液面下至少400_。由此，能够有效地防止漂浮的废渣从第一淋洗液循环池300中进入到第二淋洗液循环池400，并且可以极大限度地提高淋洗液从第一淋洗液循环池300中进入到第二淋洗液循环池400的效率。根据本实用新型的实施例，第一循环泵600设置在第二淋洗液循环池400内，用于将第二淋洗液循环池400内的淋洗液引入到第一淋洗塔100内。第二循环泵700设置在第二淋洗液循环池400内，用于将第二淋洗液循环池400内的淋洗液引入到第二淋洗塔200内。由于第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液均首先进入第一淋洗液循环池中，并且在第一淋洗液循环池和第二淋洗液循环池之间设置有废渣阻挡部件，从而可以有效地减少废渣在第二淋洗液循环池中的聚集和沉积，从而可以有效地对淋洗液进行循环利用，并且能够有效地对多晶硅废气进行淋洗。参考图1和图2，根据本实用新型的实施例，第一循环泵600和第二循环泵700的至少一个，优选两个均设置在第二淋洗液循环池400内远离第一淋洗液循环池300的一侧。由此，可以提高第一淋洗液循环池300和第二淋洗液循环池400之间的流动性。进一步提高利用该系统进行淋洗的效率。根据本实用新型的实施例的多晶硅废气淋洗系统可以至少具有下列优点之一:1、根据本实用新型的实施例，淋洗液可在两个淋洗液循环池中实现循环流动，从而使两个单独的连续废气处理系统成为了一个大的循环处理系统，提高了淋洗液的流动性，淋洗液中的碱液得到了更好的利用，节约了生产成本。2、根据本实用新型的实施例，废渣阻挡部件可以对废渣尤其是浮渣起到过滤的作用，大大减少了循环泵及排污泵的堵塞情况，节省了大量的人力和时间去疏通管道。3、根据本实用新型的实施例，大量废渣沉降在了第一淋洗液循环池的底部，而第二淋洗液循环池中的废渣得到显著减少，所以，清理循环池的频率可以得到显著减少。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
权利要求1.一种多晶娃废气淋洗系统,其特征在于,包括: 第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗； 第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗； 第一淋洗液循环池，所述第一淋洗液循环池分别与所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相连，用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液； 第二淋洗液循环池，所述第二淋洗液循环池与所述第一淋洗液循环池连通，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液； 废渣阻挡部件，所述废渣阻挡部件设置在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池之间，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池； 第一循环泵，所述第一循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内；以及 第二循环泵，所述第二循环泵设置在所述第二淋洗液循环池内，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液弓I入到所述第二淋洗塔内。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述淋洗液为氢氧化钠溶液6重量％ 8重量％。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述废渣阻挡部件为格栅板，所述格栅板上形成有通孔。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述通孔为方形通孔或者圆形通孔。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述方形通孔的边长为15 20_。
6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述圆形通孔的直径为15 20mm。
7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，在所述第一淋洗液循环池和所述第二淋洗液循环池的侧壁形成重叠区域， 其中，在所述重叠区域上形成有连通口，所述废渣阻挡部件设置在所述连通口中。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，在所述重叠区域上形成有多个连通口，其中，每个连通口均设置有至少一个废渣阻挡部件。
9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述连通口设置在液面下至少400_。
10.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一循环泵和第二循环泵的至少一个设置在所述第二淋洗液循环池内远离所述第一淋洗液循环池的一侧。
专利摘要本实用新型提出了一种多晶硅废气淋洗系统。该系统包括第一淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第二淋洗塔，利用淋洗液对所述多晶硅废气进行淋洗；第一淋洗液循环池用于接收来自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；第二淋洗液循环池，用于接收来自所述第一淋洗液循环池的淋洗液；废渣阻挡部件，用于阻止废渣从所述第一淋洗液循环池进入所述第二淋洗液循环池；第一循环泵，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第一淋洗塔内，第二循环泵，用于将所述第二淋洗液循环池内的淋洗液引入到所述第二淋洗塔内。利用该系统，能够有效地对多晶硅废气进行淋洗。
文档编号B01D53/96GK203061051SQ20132004400
公开日2013年7月17日 申请日期2013年1月25日 优先权日2013年1月25日
发明者沈宗喜, 丁丙恒, 章华, 邓亮, 韩金国, 唐金锐, 余中炜, 杨洁 申请人:昆明冶研新材料股份有限公司