一种用于化学抛光机的过滤装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种用于化学抛光机的过滤装置及使用所述过滤装置的过滤方法，所述过滤装置包含过滤器，过滤器设置在化学抛光机的排液口，过滤器设有多个过滤孔，过滤器呈上宽下窄的形状。采用上述技术方案后，延长了过滤孔都被完全堵塞的时间周期，增大了停机维护过滤装置的时间周期，提高了抛光机工作效率。
【专利说明】—种用于化学抛光机的过滤装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及过滤装置领域，尤其涉及一种用于化学抛光机的过滤装置。
【背景技术】
[0002]目前，化学抛光机排液口使用的过滤装置大都为带网孔的平面过滤装置，在化学抛光液和晶圆快速更新换代的趋势下，现有的平面过滤装置在过滤结晶体及过多的外来物时效果较差，排液口被堵塞的周期较短，而一旦排液口被堵塞，需取下排液口过滤装置进行冲刷，将过滤物质冲走后再安装至排液口，这一程序需要化学抛光机停机操作，由此，冲刷周期缩短造成停机次数增加，影响抛光机工作效率。
[0003]因此，需要一种新型的用于化学抛光机的过滤装置，能有效地延长排液口被过滤物质堵塞的时间。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种用于化学抛光机的过滤装置，能有效地延长排液口被过滤物质堵塞的时间。
[0005]本发明公开了一种用于化学抛光机的过滤装置，包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，过滤器设有多个过滤孔，过滤器呈上宽下窄的形状。过滤装置还包括过滤芯，过滤芯设有多个过滤芯过滤孔，所述过滤芯与过滤器连接，连接处可使用橡胶圈密封，防止抛光废液从密封连接处流入，所述过滤芯过滤孔有不同过滤等级，可使用过滤网的过滤芯，也可使用过滤条的过滤芯。同时，制作过滤器的材料为特氟龙。
[0006]本发明还公开了一种使用所述过滤器与过滤芯结合的过滤装置的过滤方法，步骤A:所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的侧面由外至里流过过滤芯过滤孔流至所述过滤芯的内部；步骤B:所述抛光废液从所述过滤芯的内部流至所述过滤器；步骤C:所述抛光废液从所述过滤孔过滤后流出。其中步骤A和步骤B间还包括:步骤D:当过滤芯过滤孔被堵塞时，化学抛光机的抛光废液从过滤芯的芯口流至过滤芯的内部；同时，过滤器与过滤芯连接处为密封连接，抛光废液无法从所述连接处流入。
[0007]采用上述技术方案后，当单独使用过滤器对抛光废液过滤时，过滤的晶体及外来物会受到重力及抛光废液冲刷力下沉至上宽下窄型过滤器下部尖处，而不会阻塞上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔，抛光废液仍可通过上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔过滤排出，延长了过滤孔都被完全堵塞的时间周期，增大了停机维护过滤装置的时间周期，提高了抛光机工作效率。同时上宽下窄型的过滤器由于斜面的设计使冲刷堵塞物时更方便、充分，缩短了维护所需要的时间与工作量。而当使用过滤芯及过滤器同时过滤时，在先使用过滤芯过滤微小的物质，并通过过滤器作过滤保险的作用防止未被过滤芯过滤的体积较大的外来物排出，明显地提高了过滤装置的过滤效果。
【专利附图】
【附图说明】[0008]图1为本发明较佳实施例的结构示意图，其中图中I过滤器，2过滤孔，3过滤器连接处；
[0009]图2为本发明较佳实施例使用过滤网的过滤芯侧视图，其中图中4过滤网，5过滤芯连接处；
[0010]图3为本发明较佳实施例使用过滤条的过滤芯结构示意图，其中图中6过滤条；
[0011]图4为本发明过滤器及过滤芯连接后过滤装置结构示意图，其中图中7橡胶密封圈；
【具体实施方式】
[0012]以下结合附图与具体实施例进一步阐述本发明的优点。
[0013]本发明用于化学抛光机的过滤装置包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，过滤器设有多个过滤孔，所述过滤器的结构呈上宽下窄的形状。
[0014]作为优选，所述过滤器I可设计成漏斗型或半圆形，作为优选，漏斗型过滤器在冲刷清洗时倾斜的内壁不存在清洗盲区，可被液体充分冲刷，而半圆形的过滤器在冲刷时不如漏斗型方便，过滤物质易滞留在内壁上。参阅图1，为本发明过滤器I结构示意图，过滤器I结构呈漏斗型，具体特征为上宽下窄的形状。
[0015]在化学抛光机排液口设置所述过滤器I后，抛光废液从排液口流至过滤器1，通过过滤孔2过滤抛光废液中的晶体或外来物，过滤物质中抛光晶体受重力影响由下至上堆积，抛光液进行化学作用后产生的粘膜类物质直接堵塞在过滤孔2。当所有过滤孔2被堵塞过滤器I无法继续工作时，取下过滤器I进行冲刷，将附着在过滤器I上的过滤物质从过滤器I上全部冲刷走，再将过滤器I放置在排液口继续工作。当进行冲刷工作时，需进行化学抛光机停机操作。
[0016]作为优选，本发明用于化学抛光机的过滤装置还包含过滤芯，参阅图2，为本发明使用过滤网的过滤芯侧视图。
[0017]作为优选，所述过滤芯还可使用过滤条，参阅图3，为本发明使用过滤条的过滤芯6结构示意图，所述过滤芯带有多个过滤条6，所述过滤条6沿过滤芯的母线方向排列。
[0018]作为优选，上述过滤器I与上述两种过滤芯中任一种可配合使用，过滤器I上部无过滤孔处设置一过滤器连接处3，形状呈圆形，过滤芯中过滤网或过滤条下方设置一过滤芯连接处5，形状呈圆形，所述过滤器连接处3比所述过滤芯连接处5直径略大，两者可拼装连接，所述过滤器连接处3包裹所述过滤芯连接处5，连接完成后，参阅图4，所述过滤条过滤芯与所述过滤器I密封贴合，组装成一过滤装置。作为优选，可采用橡胶密封圈7密封过滤芯I与过滤器的连接处，防止抛光废液不经过过滤芯直接从连接处流入流至过滤器I。
[0019]为延长过滤装置被堵塞的时间周期，及达到更好的冲洗晶体和外来物的效果，优选地可采用特氟龙作为制作上述过滤器I的材料。在抛光机抛光过程中，抛光废液会产生黏膜类物质，在对抛光废液过滤时，所述黏膜类物质会附着在过滤器的过滤孔上，影响过滤器效果，利用特氟龙的不粘性，过滤的物质及黏膜类物质受到重力或抛光废液冲刷力的影响在特氟龙材料上更容易滑落到底部过滤孔上，即流出过滤器I中上部过滤孔进行过滤，相较于现有技术中使用的普通材料，一旦过滤物质被过滤后，便堵塞过滤孔，降低过滤效果。而当停机维护时，由于特氟龙的滑动性，更容易将过滤物质从过滤器冲刷出，减少了停机维护的时间，增加了化学抛光机的工作效率。
[0020]本发明使用过滤器和过滤芯结合的过滤装置的过滤方法如下:步骤A:所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的侧面由外至里流过过滤芯过滤孔流至所述过滤芯的内部，先通过上述过滤芯的过滤网或过滤条进行过滤，过滤后进入过滤芯，过滤网或过滤条的过滤等级根据抛光物料的不同可选择不同的过滤等级；步骤B:所述抛光废液从所述过滤芯的内部流至所述过滤器；步骤C:所述抛光废液从所述过滤孔过滤后流出，当过滤器下部的过滤孔被堵塞时，抛光废液将从过滤器中上部的过滤孔流出进行过滤，直至过滤器中所有过滤孔均被堵塞。此时使用者进行停机维护操作，取出过滤装置将过滤物质冲刷出过滤孔，冲刷完成后，化学抛光机可恢复工作。
[0021]作为优选，步骤A和步骤B间还包括步骤D:当所述过滤芯过滤孔被堵塞时，所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的芯口流至所述过滤芯的内部。
[0022]作为优选，上述方法中需将过滤器及过滤芯连接处密封连接，可采用橡胶圈将连接处密封。
[0023]采用上述技术方案后，当单独使用过滤器对抛光废液过滤时，过滤的晶体及外来物会下沉至上宽下窄型过滤器下部尖处，而不会阻塞上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔，抛光废液仍可通过上宽下窄型过滤器中部及上部的过滤孔过滤排出，延长了过滤孔都被完全堵塞的时间周期，增大了停机维护过滤装置的时间周期，提高了抛光机工作效率。同时上宽下窄型的过滤器由于斜面的设计使冲刷堵塞物时更方便、充分，缩短了维护所需要的时间与工作量。而当使用过滤芯及过滤器同时过滤时，在先使用过滤芯过滤微小的物质，并通过过滤器作过滤保险的作用防止未被过滤芯过滤的体积较大的外来物排出，明显地提高了过滤装置的过滤效果。
[0024]应当注意的是，本发明的实施例有较佳的实施性，且并非对本发明作任何形式的限制，任何熟悉该领域的技术人员可能利用上述揭示的技术内容变更或修饰为等同的有效实施例，但凡未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何修改或等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种用于化学抛光机的过滤装置，包含过滤器，所述过滤器设置在所述化学抛光机的排液口，所述过滤器设有多个过滤孔，其特征在于:所述过滤器呈上宽下窄的形状。
2.如权利要求1所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于:所述过滤装置包括过滤芯，与所述过滤器连接，所述过滤芯设有多个过滤芯过滤孔。
3.如权利要求2所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于:所述过滤芯与所述过滤器连接处使用橡胶圈密封连接，防止抛光废液从所述连接处流入。
4.如权利要求2或3所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于:所述过滤芯为过滤网。
5.如权利要求2或3所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于:所述过滤芯为过滤条。
6.如权利要求2所述的用于化学抛光机的过滤装置，其特征在于:制作所述过滤器的材料为特氟龙。
7.一种使用如权利要求2所述的过滤装置的过滤方法，其特征在于: 包括以下步骤: 步骤A:所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的侧面由外至里流过过滤芯过滤孔流至所述过滤芯的内部； 步骤B:所述抛光废液从所述过滤芯的内部流至所述过滤器； 步骤C:所述抛光废液从所述过滤孔过滤后流出。
8.如权利要求7所述的过滤方法，其特征在于:所述步骤A和步骤B间还包括:步骤D:当所述过滤芯过滤孔被堵塞时，所述化学抛光机的抛光废液从所述过滤芯的芯口流至所述过滤芯的内部。
9.如权利要求7所述的过滤方法，其特征在于:所述过滤器与所述过滤芯连接处为密封连接，所述抛光废液无法从所述连接处流入。
【文档编号】B01D35/02GK104029128SQ201310068906
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2013年3月5日 优先权日:2013年3月5日
【发明者】陈 光, 王徐承, 王雨春 申请人:安集微电子（上海）有限公司